[發明專利]一種干式真空泵的防卡死裝置及防卡死方法

有效

• 申請號: 201810208477.7
• 申請日: 2018-03-14
• 公開（公告）號: CN108302040B
• 公開（公告）日: 2023-05-09
• 發明（設計）人: 李嘯;林培英;黃洪福;朱佰喜
• 申請（專利權）人: 深圳市志橙半導體材料有限公司
• 主分類號: F04C23/02
• 分類號: F04C23/02;F04C28/28;F04C18/16;F04C25/02
• 代理公司: 北京中和立達知識產權代理有限公司 11756
• 代理人: 祝妍

本發明公開一種干式真空泵的防卡死方法，當干式真空泵停止工作后，利用附加的自動驅動裝置，帶動干式真空泵中的螺桿按設定的速度繼續轉動，防止螺桿卡死；本發明還公開一種用于實現所述干式真空泵的防卡死方法的干式真空泵的防卡死裝置，包括機架和設在機架上的電機，所述電機的動力輸出軸與干式真空泵的螺桿連接。本發明能夠讓停止作業后的干式真空泵的螺桿繼續保持轉動，從而保證干式真空泵內的溫度不會過低，避免泵內的顆粒凝結，確保干式真空泵的螺桿不會被卡死；另外，還能夠減少能耗，節省人力。

技術領域

本發明涉及一種干式真空泵，具體涉及一種干式真空泵的防卡死裝置及防卡死方法。

背景技術

干式真空泵是一種能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內無油或其他工作介質，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵；由于泵腔內沒有其他工作介質，減少工藝污染，并且具有一定的耐腐蝕性，因此，干式真空泵在半導體以及化工等行業中是經常用到的一種高端真空泵；而這種真空泵在我國目前主要以進口為主，價格昂貴，維修的成本高。

由于干式真空泵抽氣的氣體中會有粉塵以及其他顆粒，同時，干式真空泵工作時，會有大量的氣體吹掃，并且干式真空泵內具有一定的溫度，因此，如果真空泵停止工作，泵內的溫度就會逐漸下降，導致泵內殘留的粉塵以及其他顆粒凝結在真空泵螺桿上，停止時間過長就會妨礙螺桿轉動，最終造成螺桿卡死；而為了不讓螺桿卡死，常用的做法是保持真空泵一直運行，保證干式真空泵內的溫度不下降，從而使得螺桿能夠正常轉動，但是這樣會直接導致制氮、加熱以及冷卻等輔助設備也要不停地運行，造成其他設備的性能下降，壽命縮短；同時，管道、閥門及輔助設備保養時干式真空泵必須停機，而經過一段時間后，干式真空泵的螺桿同樣會存在被卡死的可能。另一種常用的做法就是干式真空泵停止后手動搖動真空泵的螺桿，使得螺桿保持轉動的狀態，但此方法只能短時間內保證螺桿的轉動，無法使得干式真空泵的螺桿一直連續轉動，同樣會出現螺桿卡死的現象，不僅影響到設備的壽命，也浪費人力、物力，提高企業生產成本，影響企業經濟效益。由此可見，現有的方法都無法很好解決干式真空泵的螺桿卡死的問題。

發明內容

本發明目的在于克服現有技術的不足，提供一種干式真空泵的防卡死方法，該防卡死方法能夠在干式真空泵停機時使得螺桿保持轉動，保證螺桿不被卡死，且能夠降低能耗，減少成本。

本發明的另一個目的在于提供一種用于實現上述干式真空泵的防卡死方法的干式真空泵的防卡死裝置。

本發明的目的通過以下技術方案實現：

一種干式真空泵的防卡死方法，其特征在于，當干式真空泵停止工作后，利用附加的自動驅動裝置，帶動干式真空泵中的螺桿按設定的速度繼續轉動，防止螺桿卡死。

本發明的防卡死方法的一個優選方案，所述自動驅動裝置采用電機作為動力源，電機的動力輸出軸與螺桿之間設置聯軸器實現動力傳遞。采用電機作為動力源，便于控制，成本低。

本發明的防卡死方法的一個優選方案，電機的轉速根據干式真空泵內的溫度來進行調整，當干式真空泵內的溫度下降到設定的溫度時，提高電機的轉速，當干式真空泵內的溫度上升到設定的溫度時，降低電機的轉速。干式真空泵的卡死與溫度相關，這是由于當溫度過低時，泵內殘留的粉塵以及其他顆粒凝結在螺桿上，從而容易導致螺桿卡死；而干式真空泵內的溫度與螺桿的轉速相關，轉速越高溫度越高，反之亦然，因此通過控制螺桿的轉速可讓干式真空泵處于一個不易卡死的溫度環境，具體是通過對電機轉速的控制來實現對螺桿轉速的控制，因此以干式真空泵內的溫度作為控制電機轉速的依據，當干式真空泵內的溫度下降到設定的溫度時，提高電機的轉速，當干式真空泵內的溫度上升到設定的溫度時，降低電機的轉速(以降低能耗)，即可讓干式真空泵內的溫度處于合理的范圍內。

一種用于實現上述干式真空泵的防卡死方法的干式真空泵的防卡死裝置，其特征在于，包括機架和設在機架上的電機，所述電機的動力輸出軸與干式真空泵的螺桿連接。

上述干式真空泵的防卡死裝置的工作原理：