[發明專利]一種干式真空泵的防卡死裝置及防卡死方法

有效

• 申請號: 201810208477.7
• 申請日: 2018-03-14
• 公開（公告）號: CN108302040B
• 公開（公告）日: 2023-05-09
• 發明（設計）人: 李嘯;林培英;黃洪福;朱佰喜
• 申請（專利權）人: 深圳市志橙半導體材料有限公司
• 主分類號: F04C23/02
• 分類號: F04C23/02;F04C28/28;F04C18/16;F04C25/02
• 代理公司: 北京中和立達知識產權代理有限公司 11756
• 代理人: 祝妍

1.一種干式真空泵的防卡死方法，其特征在于，

當干式真空泵停止工作后，利用附加的自動驅動裝置，帶動干式真空泵中的螺桿按設定的速度繼續轉動，防止螺桿卡死；

所述自動驅動裝置采用電機作為動力源，電機的動力輸出軸與螺桿之間設置聯軸器實現動力傳遞；

實現所述干式真空泵的防卡死方法的干式真空泵的防卡死裝置包括：

機架和設在機架上的電機，所述電機的動力輸出軸與干式真空泵的螺桿連接；

所述機架為可移動的工作臺，所述工作臺的底部設有行走輪，所述電機安裝在工作臺上，所述電機能夠與干式真空泵進行連接或分離；

溫度傳感器和控制系統，其中，所述溫度傳感器設置于干式真空泵上，該溫度傳感器與控制系統的信號輸入端連接，所述控制系統的信號輸出端與電機連接；當溫度傳感器檢測到的溫度參數低于所設定的數值時，提高電機的轉速；當溫度傳感器檢測到的溫度參數高于所設定的另一數值時，降低電機的轉速；

在所述電機的動力輸出軸和干式真空泵的螺桿之間設有減速器，該減速器的輸入軸與電機的動力輸出軸連接，該減速器的輸出軸與所述螺桿連接；

在所述減速器和螺桿之間設有扭矩傳感器，該扭矩傳感器一端與減速器的輸出軸連接，另一端與所述螺桿連接；所述扭矩傳感器與控制系統的信號輸入端連接；

所述控制系統的信號輸出端與顯示終端的信號輸入端連接，通過顯示終端監控所述扭矩傳感器檢測到扭矩和轉速；

在干式真空泵與扭矩傳感器之間設有傳動軸，該傳動軸由連接在一起的第一連接軸和第二連接軸構成；所述第一連接軸為圓桿，所述第二連接軸為截面形狀為六邊形的裝配桿；所述干式真空泵的螺桿上設有裝配孔，所述第一連接軸安裝在裝配孔上，所述第二連接軸與扭矩傳感器連接；

在干式真空泵的螺桿與傳動軸之間的連接處設有密封件。