[發(fā)明專利]緩沖器結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810207305.8
• 申請(qǐng)日: 2018-03-14
• 公開（公告）號(hào): CN110277337B
• 公開（公告）日: 2022-10-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 段睿纮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 段睿纮
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673
• 代理公司: 上海浦一知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31211
• 代理人: 戴廣志

1.一種緩沖器結(jié)構(gòu)，適于連接一晶圓盒，其特征在于，包含：

至少一混凝膠；

一上殼部，用以連接該晶圓盒，該上殼部包含一上殼連接端及至少一泄氣孔；

一下殼部，包含一下殼連接端；以及

至少二緩沖環(huán)部，能夠彈抵該上殼部與該下殼部且位于該上殼部與下殼部之間，并具有一連接該上殼連接端的上導(dǎo)引段、一連接該下殼連接端的下導(dǎo)引段、及一位于該上導(dǎo)引段與該下導(dǎo)引段之間的變形段；

其中，該緩沖器結(jié)構(gòu)上下不對(duì)稱，該緩沖環(huán)部、該上殼部及該下殼部所圍繞成連通該泄氣孔的一緩沖氣室，該緩沖環(huán)部的內(nèi)表面圍繞成的空間為該緩沖氣室的一部分，該緩沖氣室容納該至少一混凝膠，該至少一混凝膠抵靠位于該緩沖氣室內(nèi)的該下殼部，當(dāng)該變形段受一外力擠壓變形時(shí)，該上導(dǎo)引段與該下導(dǎo)引段相互靠近，該緩沖氣室內(nèi)的氣體通過該泄氣孔排出。

2.如權(quán)利要求1所述的緩沖器結(jié)構(gòu)，其特征在于，該上導(dǎo)引段與該上殼連接端之間形成一呈90度的第一夾角。

3.如權(quán)利要求1所述的緩沖器結(jié)構(gòu)，其特征在于，該下導(dǎo)引段與該下殼連接端之間形成一呈90度的第二夾角。

4.如權(quán)利要求1所述的緩沖器結(jié)構(gòu)，其特征在于，該緩沖環(huán)部的外徑大于該上殼部與該下殼部的外徑。

5.如權(quán)利要求1所述的緩沖器結(jié)構(gòu)，其特征在于，還包含兩螺絲，該上殼部還包含兩能夠與該兩螺絲螺接的螺合孔，當(dāng)該變形段受該外力擠壓變形，且該上導(dǎo)引段與該下導(dǎo)引段在縱向上相互靠近時(shí)，各該螺絲在橫向上的投影未重疊于該至少一緩沖環(huán)部。