[發(fā)明專(zhuān)利]緩沖器結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810207305.8
• 申請(qǐng)日: 2018-03-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110277337B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-10-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 段睿纮
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 段睿纮
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/673
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/673
• 代理公司: 上海浦一知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31211
• 代理人: 戴廣志

本發(fā)明提供一種緩沖器結(jié)構(gòu)，其主要是由一上殼部、一下殼部、至少一緩沖環(huán)部、以及一緩沖氣室所組成，通過(guò)緩沖環(huán)部彈抵上殼部與下殼部，使緩沖環(huán)部的變形段受外力擠壓變形且上導(dǎo)引段與下導(dǎo)引段相互靠近時(shí)，所產(chǎn)生的抵抗變形力，有效分擔(dān)晶圓盒所承受的碰撞力，并達(dá)到緩沖、保護(hù)作用的功效。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明關(guān)于一種緩沖器結(jié)構(gòu)，特別是一種應(yīng)用在晶圓盒上的緩沖器結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

在晶圓廠中，晶圓盒扮演著相當(dāng)重要的角色，用以將至少二片晶圓儲(chǔ)存及在半導(dǎo)體各工藝間傳輸?shù)墓δ埽瑫r(shí)提供晶圓的高潔凈置放環(huán)境，以確保制造過(guò)程中的晶圓不受外在環(huán)境的微粒污染。由于晶圓本身厚度極薄，因此在搬運(yùn)過(guò)程中必須十分小心，避免因碰撞而造成晶圓損毀。

參閱圖1所示，現(xiàn)有技術(shù)的晶圓盒100大多都采用至少二個(gè)緩沖器10鎖固在晶圓盒100的底端，以降低晶圓盒100碰撞的機(jī)率，但是現(xiàn)有技術(shù)的緩沖器10僅具有一外殼部11，因此提供的防振效果相當(dāng)有限，以致晶圓盒100在傳送時(shí)，造成的振蕩而使晶圓盒100損壞或使晶圓盒100的微粒掉落至晶圓表面而造成晶圓合格率下降的問(wèn)題，無(wú)法充分達(dá)到保護(hù)晶圓的功效；另外，在運(yùn)送晶圓盒100過(guò)程中，由于動(dòng)作路徑上的高地起伏，可能使得晶圓盒100產(chǎn)生傾斜等情形，而此情形可能使所搬運(yùn)的晶圓造成碰撞，容易產(chǎn)生晶圓損傷的問(wèn)題，因而造成晶圓破片等情況發(fā)生。

因此，業(yè)內(nèi)需要一種在典型運(yùn)輸條件下能提供更強(qiáng)的抗振動(dòng)性能的緩沖器結(jié)構(gòu)，即為本發(fā)明欲研究改善的方向所在。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，因此，本發(fā)明提供一種緩沖器結(jié)構(gòu)，其主要在于分擔(dān)晶圓盒所承受的碰撞力，并達(dá)到緩沖、保護(hù)作用的功效。

為達(dá)前述目的，本發(fā)明提供一種緩沖器結(jié)構(gòu)，包含：

一上殼部，包含一上殼連接端、及至少一泄氣孔。

一下殼部，包含一下殼連接端。

至少一緩沖環(huán)部，能夠彈抵該上殼部與該下殼部且位于該上殼部與下殼部之間，并具有一連接該上殼連接端的上導(dǎo)引段、一連接該下殼連接端的下導(dǎo)引段、及一位于該上導(dǎo)引段與該下導(dǎo)引段之間的變形段。

一緩沖氣室，由該緩沖環(huán)部、該上殼部及該下殼部所圍繞而成，并且連通該泄氣孔，當(dāng)該變形段受一外力擠壓變形時(shí)，該上導(dǎo)引段與該下導(dǎo)引段相互靠近，該緩沖氣室內(nèi)的氣體通過(guò)該泄氣孔排出。

在一較佳實(shí)施例中，其中該上導(dǎo)引段與該上殼連接端之間形成一呈90度的第一夾角。

在一較佳實(shí)施例中，其中該下導(dǎo)引段與該下殼連接端之間形成一呈90度的第二夾角。

在一較佳實(shí)施例中，其中該緩沖環(huán)部的外徑大于該上殼部與該下殼部的外徑。

在一較佳實(shí)施例中，其中還包含兩螺絲，該上殼部具有兩能夠與該兩螺絲螺接的螺合孔。

在一較佳實(shí)施例中，其中還包含至少一混凝膠，該混凝膠容設(shè)在該緩沖氣室內(nèi)。

據(jù)此，本發(fā)明所提供的一種緩沖器結(jié)構(gòu)，其主要是由一上殼部、一下殼部、至少一緩沖環(huán)部及一緩沖氣室所組成，通過(guò)緩沖環(huán)部彈抵上殼部與下殼部，使緩沖環(huán)部的變形段受外力擠壓變形且上導(dǎo)引段與下導(dǎo)引段相互靠近時(shí)，所產(chǎn)生的抵抗變形力，有效分擔(dān)晶圓盒所承受的碰撞力，并達(dá)到緩沖、保護(hù)作用的功效。

附圖說(shuō)明

圖1是現(xiàn)有技術(shù)緩沖器結(jié)構(gòu)的立體圖；

圖2是本發(fā)明第一實(shí)施例的立體圖；

圖3A是本發(fā)明第一實(shí)施例的局部放大圖，顯示緩沖環(huán)部未壓縮的狀態(tài)；

圖3B是本發(fā)明第一實(shí)施例的局部放大圖，顯示緩沖環(huán)部壓縮后的狀態(tài)；

圖4是本發(fā)明第一實(shí)施例的剖視圖，顯示本發(fā)明鎖固晶圓盒的狀態(tài)；