[發(fā)明專利]硬掩模用組合物

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810201666.1
• 申請日: 2018-03-12
• 公開（公告）號: CN108663905A
• 公開（公告）日: 2018-10-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 梁敦植;崔漢永
• 申請（專利權(quán)）人: 東友精細化工有限公司
• 主分類號: G03F7/11
• 分類號: G03F7/11
• 代理公司: 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 鐘晶;鐘海勝

1.一種硬掩模用組合物，其包含：

含有咔唑單元、聯(lián)苯單元、和來源于甲醛或其合成等價物或者下述化學式3所表示的化合物中的至少一種的連接單元的縮聚物；及

溶劑，

化學式3

化學式3中，R₂為碳原子數(shù)6～20的芳香族烴基，R₃和R₄各自獨立地為氫、或碳原子數(shù)1～4的烷基。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硬掩模用組合物，所述咔唑單元由下述化學式1表示：

化學式1

化學式1中，R₁為氫、碳原子數(shù)1～10的烷基、碳原子數(shù)2～10的烯基、或碳原子數(shù)6～30的芳基。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硬掩模用組合物，R₁為乙基、乙烯基或苯基。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硬掩模用組合物，所述聯(lián)苯單元來源于羥基聯(lián)苯或二羥基聯(lián)苯。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的硬掩模用組合物，所述聯(lián)苯單元包含下述化學式2-1～2-3所表示的結(jié)構(gòu)中的至少一種：

化學式2-1

化學式2-2

化學式2-3

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硬掩模用組合物，所述化學式3所表示的化合物包含二芐醇。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硬掩模用組合物，組合物總重量中，包含所述縮聚物5～30重量％、及所述溶劑70～95重量％。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硬掩模用組合物，其進一步包含交聯(lián)劑、催化劑和表面活性劑中的至少一種。