[發明專利]一種鈍化進光層的局域發射極晶體硅雙面太陽電池結構

在審

• 申請號: 201810198997.4
• 申請日: 2018-03-12
• 公開（公告）號: CN108447935A
• 公開（公告）日: 2018-08-24
• 發明（設計）人: 高超;周浪;黃海賓;袁吉仁;岳之浩
• 申請（專利權）人: 南昌大學
• 主分類號: H01L31/068
• 分類號: H01L31/068;H01L31/0216
• 代理公司: 南昌新天下專利商標代理有限公司 36115
• 代理人: 施秀瑾

一種鈍化進光層的局域發射極晶體硅雙面太陽電池結構，以n型晶體硅片作為基底，其發射極面分為發射極?導電區域和鈍化?進光區域：發射極?導電區域由基底向外依次由本征非晶硅鈍化層、重摻雜p型非晶硅層、金屬柵線I構成，鈍化?進光區域由基底向外依次由TiO₂鈍化層I、鈍化減反射層I構成；背電場面分為鈍化?進光區域和背電場?導電區域：鈍化?進光區域由基底向外依次為重摻雜n型晶體硅層II、鈍化減反射層II；背電場?導電區域由基底向外依次為重摻雜n型晶體硅層II、金屬柵線II。本發明在保持晶體硅太陽電池雙面進光的特性前提下，同時獲得高開路電壓和高短路電流的特性，最大程度的提高晶體硅太陽電池的發電能力。

技術領域

本發明屬于太陽電池和半導體器件領域。涉及太陽電池的制備技術。

背景技術

對于地面用太陽電池，雙面進光的結構實際發電量高于同等標稱功率的單面進光太陽電池的認識已經被行業普遍接受。目前主流的雙面進光太陽電池均是以n型晶體硅片為基底的。一種是基于pn同質結結構的n-PERT結構，特點是短路電流大，開路電壓低；另一類是以基于pn異質結結構的，以HIT結構為代表，特點是短路電流小，開路電壓高。如何提高前者的開路電壓和提高后者的短路電流一直是業內的難點，也是努力的方向。如能結合二者的特點，發明一種新的結構，同時獲得高短路電流、高開路電壓的優點，有望進一步提高雙面晶體硅太陽電池的性能。南昌大學以前的一項發明是在此方向上的一個進步（中國發明專利，No. 201510776929.8），其結構稱為HAC-D結構，意思是該結構結合了HAC（heterojunction of amorphous silicon and crystalline silicon）異質結和擴散制備的同質結(Diffused homojunction of crystalline silicon)。相比于HIT結構可獲得更高的短路電流，并可保證HIT結構高開路電壓的特點。但該結構仍有進步空間，本發明就是對HAC-D結構的進一步改進。相比于HAC-D結構可進一步提高太陽電池的電流和開路電壓，降低串聯電阻，并減少貴重的透明導電氧化物（TCO）的用量。

發明內容

本發明的主要目的是提出一種鈍化進光層的局域發射極晶體硅雙面太陽電池結構，結合pn同質結高短路電流和pn異質結高開路電壓的優點，合理配置器件構成，以進一步提高晶體硅雙面太陽電池（雙面進光）的發電效率，減少貴重原材料的消耗。

本發明是通過以下技術方案實現的。

本發明所述的一種鈍化進光層的局域發射極晶體硅雙面太陽電池結構，以n型晶體硅片（6）作為基底，其發射極面分為發射極-導電區域和鈍化-進光區域：發射極-導電區域由基底向外依次由本征非晶硅鈍化層（3）、重摻雜p型非晶硅層（2）、金屬柵線I（1）構成，鈍化-進光區域由基底向外依次由TiO₂鈍化層I（5）、鈍化減反射層I（4）構成。這兩個區域交叉分布且不重疊。

為提高金屬柵線I（1）與重摻雜p型非晶硅層（2）之間的接觸導電性，優選在二者之間插入一過渡TCO層。

本發明所述的鈍化減反射層I（4）優選氮化硅。

本發明所述的發射極與TiO₂鈍化層I（5）之間優選進行絕緣處理。

進一步地，為提高器件的性能，所述的TiO₂鈍化層I（5）的厚度優選1-300nm。

所述的一種鈍化進光層的局域發射極晶體硅雙面太陽電池結構，背電場面分為鈍化-進光區域和背電場-導電區域：鈍化-進光區域由基底向外依次為重摻雜n型晶體硅層II（7）、鈍化減反射層II（8）；背電場-導電區域由基底向外依次為重摻雜n型晶體硅層II（7）、金屬柵線II（9）。這兩個區域交叉分布且不重疊。

其中，鈍化減反射層II（8）優選氮化硅。