[發(fā)明專利]水循環(huán)裝置及研磨裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810198225.0
• 申請日: 2018-03-09
• 公開（公告）號: CN108188921B
• 公開（公告）日: 2020-04-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王仲康;王家鵬;趙歲花;張文斌;趙婉云;李遠航;孫莉莉
• 申請（專利權(quán)）人: 北京半導(dǎo)體專用設(shè)備研究所（中國電子科技集團公司第四十五研究所）
• 主分類號: B24B37/10
• 分類號: B24B37/10;B24B37/34;B24B55/03
• 代理公司: 北京超凡志成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11371
• 代理人: 黃彩榮

1.一種水循環(huán)裝置，其特征在于，包括中心軸(1)和冷卻盤(2)，所述中心軸(1)的內(nèi)部沿其軸向設(shè)有通孔，所述冷卻盤(2)可拆卸式固設(shè)于所述中心軸(1)的頂端，且與所述中心軸(1)共軸設(shè)置，所述冷卻盤(2)上設(shè)有第二進水孔(21)和第二出水孔(22)，所述第二進水孔(21)和所述第二出水孔(22)均貫通所述冷卻盤(2)的頂面和底面；

所述中心軸(1)的底端滑動連接有調(diào)節(jié)塊(3)，所述調(diào)節(jié)塊(3)能夠沿所述中心軸(1)的軸向滑動調(diào)節(jié)，所述調(diào)節(jié)塊(3)上設(shè)有第一進水孔(31)和第一出水孔(32)，所述中心軸(1)的通孔內(nèi)穿設(shè)有進水管和出水管，所述進水管連通于所述第一進水孔(31)和所述第二進水孔(21)之間，所述出水管連通于所述第一出水孔(32)和所述第二出水孔(22)之間；

所述水循環(huán)裝置還包括鎖緊裝置，所述中心軸(1)的底端端部沿其軸向固設(shè)有導(dǎo)向柱(11)，所述調(diào)節(jié)塊(3)上設(shè)有導(dǎo)向孔(33)，所述導(dǎo)向柱(11)滑動插接于所述導(dǎo)向孔(33)內(nèi)，所述鎖緊裝置用于對所述導(dǎo)向柱(11)插入所述導(dǎo)向孔(33)內(nèi)的深度進行鎖緊固定。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的水循環(huán)裝置，其特征在于，所述導(dǎo)向柱(11)為三個，三個所述導(dǎo)向柱(11)沿所述中心軸(1)的周向均勻排布，所述導(dǎo)向孔(33)與所述導(dǎo)向柱(11)相應(yīng)也為三個。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的水循環(huán)裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)塊(3)的底部固接有旋轉(zhuǎn)接頭(4)，所述旋轉(zhuǎn)接頭(4)包括連接部和轉(zhuǎn)動部，所述連接部固接于所述調(diào)節(jié)塊(3)的底部，所述轉(zhuǎn)動部樞接于所述連接部的底部，所述轉(zhuǎn)動部上設(shè)有第三進水孔和第三出水孔，所述第三進水孔與所述第一進水孔(31)連通，所述第三出水孔與所述第一出水孔(32)連通。

4.一種研磨裝置，其特征在于，包括研磨平臺(5)、驅(qū)動裝置(6)和權(quán)利要求1－3中任一項所述的水循環(huán)裝置，所述水循環(huán)裝置冷卻盤(2)的頂面上設(shè)有冷卻水槽(23)，所述冷卻水槽(23)的一端與所述第二進水孔(21)連通，另一端與所述第二出水孔(22)連通，所述研磨平臺(5)可拆卸式固設(shè)于所述冷卻盤(2)的頂部，所述冷卻水槽(23)內(nèi)的冷卻水對所述研磨平臺(5)進行冷卻降溫；所述驅(qū)動裝置(6)用于驅(qū)動所述中心軸(1)沿其軸心自轉(zhuǎn)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的研磨裝置，其特征在于，所述冷卻水槽(23)包括阿基米德螺線槽，所述阿基米德螺線槽的進口端與所述冷卻盤(2)上的第二進水孔(21)連通，出口端與所述冷卻盤(2)上的第二出水孔(22)連通，且所述第二進水孔(21)位于所述冷卻盤(2)的軸線處，所述第二出水孔(22)位于所述冷卻盤(2)靠近邊緣的位置。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的研磨裝置，其特征在于，所述阿基米德螺線槽包括第一螺線槽(231)和第二螺線槽(232)，所述第一螺線槽(231)的進口端與所述冷卻盤(2)上的第二進水孔(21)通過直線槽(233)連通，所述第一螺線槽(231)與所述第二進水孔(21)之間形成第一環(huán)形安裝區(qū)(24)；所述第二螺線槽(232)的出口端與所述冷卻盤(2)上的第二出水孔(22)連通，所述第一螺線槽(231)的出口端與所述第二螺線槽(232)的進口端也通過直線槽(233)連通，所述第一螺線槽(231)與所述第二螺線槽(232)之間形成第二環(huán)形安裝區(qū)(25)。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的研磨裝置，其特征在于，所述冷卻盤(2)的底部設(shè)有凹槽(26)，所述凹槽(26)設(shè)于所述第二進水孔(21)和所述第二出水孔(22)之間，所述第二出水孔(22)和所述第二進水孔(21)之間的一段所述出水管鑲嵌于所述凹槽(26)內(nèi)。

8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的研磨裝置，其特征在于，所述冷卻盤(2)與所述研磨平臺(5)之間通過螺紋緊固件可拆卸式固接，所述冷卻盤(2)和所述研磨平臺(5)上設(shè)有相對應(yīng)的螺紋孔，所述冷卻盤(2)或所述研磨平臺(5)上還設(shè)有環(huán)形的密封槽，所述密封槽與所述螺紋孔同心設(shè)置，且所述密封槽內(nèi)鑲嵌有密封件。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的研磨裝置，其特征在于，所述冷卻盤(2)外罩設(shè)有筒狀的防水罩(7)。