[發明專利]磁盤用基板

有效

• 申請號: 201810192927.8
• 申請日: 2013-09-30
• 公開（公告）號: CN108428460B
• 公開（公告）日: 2020-02-21
• 發明（設計）人: 板谷旬展;越阪部基延
• 申請（專利權）人: HOYA株式會社
• 主分類號: G11B5/73
• 分類號: G11B5/73
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;朱麗娟

提供一種磁盤用基板。本發明的磁盤用基板具有一對主表面，主表面中的波段為100～500μm的粗糙度即微觀波紋度為0.5nm以下，主表面上沒有圓周方向的紋理，關于主表面的表面，10～50nm的波長成分的算術平均粗糙度Ra在0.15nm以下。

本申請基于專利法實施細則第42條提出，是申請日為2013年9月30日、申請號為201380044382.1的發明專利申請“磁盤用玻璃基板、磁盤”的分案申請。

技術領域

本發明涉及磁盤用基板。

背景技術

如今，在個人計算機或DVD(Digital Versatile Disc)記錄裝置等中內置有用于記錄數據的硬盤裝置(HDD：Hard Disk Drive)。特別是在筆記本型個人計算機等以移動性為前提的設備中使用的硬盤裝置中，使用在玻璃基板上設置有磁記錄層的磁盤，利用在磁盤的面上方略微懸浮的磁頭對磁記錄層記錄或讀取磁記錄信息。作為該磁盤的基板，由于具有比金屬基板(鋁基板)等更難以發生塑性變形的性質，因而優選使用玻璃基板。

另外，應增大硬盤裝置中存儲容量的要求，尋求磁記錄的高密度化。例如使用垂直磁記錄方式進行磁記錄信息區域(記錄位(bit))的微細化，在垂直磁記錄方式中，使磁記錄層中的磁化方向相對于基板的面為垂直方向。垂直磁記錄方式的磁盤在金屬基板或玻璃基板上依次成膜有例如附著層、軟磁性層(SUL：Soft Under Layer)、基底層、磁記錄層、保護層、潤滑層等。通過采取垂直磁記錄方式，可以增大1張盤片基板中的存儲容量。進一步，為了進一步增大存儲容量，還進行通過使磁頭的記錄再現元件部更加突出，從而極大地縮短其與磁記錄層之間的距離，進一步提高信息的記錄再現精度(提高S/N比)。另外，這種磁頭的記錄再現元件部的控制被稱作DFH(Dynamic Flying Height：動態飛行高度)控制機構，配備該控制機構的磁頭被稱作DFH頭。與這種DFH頭組合用于HDD的磁盤用玻璃基板為了避免與磁頭或從磁頭進一步突出的記錄再現元件部之間的碰撞和接觸，按照使基板的表面凹凸極小的方式進行制作。

另一方面，已知有，磁盤用玻璃基板的表面形狀對在基板上成膜的磁記錄層中的磁性粒的特定的晶面，例如Co(002)面或Ru(002)面的晶體取向方差(Δθ50；晶體相對于垂直方向的偏差)產生影響。Δθ50被計算為如下情況中的峰值的半值寬度，即，使用X-射線衍射裝置進行θ/2θ的測定，從磁記錄層的晶面的峰值頂起測定2θ值，將2θ固定并進行了θ掃描。該晶體取向方差Δθ50是表示易磁化軸的方差的指標，該值越小越優選。通過改善Δθ50(使其接近零)，能夠使磁特性良好，并提高信噪比(SNR)，因此，能夠進一步提高記錄密度。

關于晶體取向方差(Δθ50)，在對比文件1中記載了如下的磁盤用玻璃基板：以提高磁記錄層的晶體取向方差(Δθ50)以及提高SNR為目的，并不是以表面粗糙度Ra為基準，而是使方均根傾斜角的值成為規定值以下(例如為5度以下，更優選為3度以下)。

此外，在對比文件2中記載了設表面粗糙度Ra滿足Ra≤0.15nm，并且使平均傾斜角為2度以下的磁盤用玻璃基板。通過采用該基板，能夠降低Δθ50從而降低介質噪聲(使用130Gbpsi相當的TMR頭，按照825kbpi的線記錄密度來評價)。另外，在線記錄密度為825kbpi的情況下，記錄位長度(以下，表示基于線記錄密度的計算值)在30nm程度。

現有技術文獻

專利文獻

【專利文獻1】日本特開2009-140584號

【專利文獻2】日本特開2008-293552號

發明內容

發明所要解決的問題