[發明專利]壓力傳感器

有效

• 申請號: 201810191413.0
• 申請日: 2018-03-08
• 公開（公告）號: CN108572046B
• 公開（公告）日: 2020-04-24
• 發明（設計）人: 關根正志;石原卓也;添田將;栃木偉伸
• 申請（專利權）人: 阿自倍爾株式會社
• 主分類號: G01L9/12
• 分類號: G01L9/12
• 代理公司: 上海華誠知識產權代理有限公司 31300
• 代理人: 肖華

1.一種壓力傳感器，其特征在于，具備：

檢測設備，其具備受到來自測定對象的壓力而進行位移的隔膜，將所述隔膜的位移變換成靜電電容的變化；

壓力值輸出部，其構成為將由所述隔膜的位移引起的所述靜電電容的變化變換成壓力值并輸出；

內側容器，其收容所述檢測設備；

外側容器，其收容所述內側容器；

壓力導入管，其連接到所述內側容器，用于將測定對象的壓力導入到所述內側容器的內部；

隔壁，其設置于所述內側容器的內部，將所述內側容器的內部空間分離成所述測定對象的壓力經由所述壓力導入管而被導入的壓力檢測側的空間、以及作為與所述壓力檢測側的空間相反的一側的空間的配置有所述檢測設備的元件配置側的空間，并且在所述元件配置側的面接合有所述檢測設備，所述隔壁具有將所述壓力檢測側的壓力引導到所述檢測設備的所述隔膜的壓力導入孔；

第1溫度測定機構，其設置于所述內側容器的所述元件配置側的外側壁面；

加熱機構，其設置于所述外側容器的外側壁面，用于對所述外側容器的內部進行加熱；

溫度控制部，其構成為控制所述加熱機構的動作，使由所述第1溫度測定機構測定出的第1溫度值接近于設定溫度；

第2溫度測定機構，其測定所述加熱機構的溫度；

溫度差計算部，其構成為求出所述第1溫度測定機構測定出的第1溫度值與第2溫度測定機構測定出的第2溫度值的溫度差；以及

警報輸出部，其構成為在所述溫度差計算部計算出的溫度差偏離設定范圍的情況下發出警報。

2.根據權利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，

所述檢測設備具有：

基座，其與所述隔膜間隔開地支承所述隔膜；

第1電極，其設置于所述隔膜；以及

第2電極，其設置于所述基座，與所述第1電極相面對，

所述壓力值輸出部將由所述隔膜的位移引起的所述第1電極與所述第2電極之間的電容變化變換成所述壓力值并輸出。

3.根據權利要求1或者2所述的壓力傳感器，其特征在于，

在所述隔膜的與受到來自測定對象的壓力的受壓部相反的一側，具備設為真空的電容室。