[發(fā)明專利]真空閥系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810190352.6
• 申請日: 2018-03-08
• 公開（公告）號: CN108571600B
• 公開（公告）日: 2021-08-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: A·霍弗;C·博姆;A·施恩莫塞爾
• 申請（專利權(quán)）人: VAT控股公司
• 主分類號: F16K3/06
• 分類號: F16K3/06;F16K3/02;F16K31/04;F16K37/00;F16K51/02
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 呂俊剛;楊薇

1.一種真空閥系統(tǒng)，該真空閥系統(tǒng)包括真空閥(40、40'、40、40')，所述真空閥(40、40'、40、40')用于控制體積流或質(zhì)量流和/或用于氣密密封處理容積，其中，所述真空閥(40、40'、40、40')具有：

閥座，所述閥座繞限定開口軸(14)的閥開口(12、42)延伸；

閥封閉件(13、41)，所述閥封閉件(13、41)用于按大致氣密方式關(guān)閉所述閥開口(12、42)；以及

至少兩個(gè)密封面(15、18、45、48)，其中，所述至少兩個(gè)密封面中的第一密封面(15、45)由所述閥座提供并且繞所述閥開口(12、42)延伸，并且所述至少兩個(gè)密封面中的第二密封面(18、48)由所述閥封閉件(13、41)提供并且與所述第一密封面(15、45)相對應(yīng)地形成；

驅(qū)動單元(16)，所述驅(qū)動單元(16)被聯(lián)接至所述閥封閉件(13、41)，所述驅(qū)動單元按這樣的方式來設(shè)計(jì)，即，所述閥封閉件(13、41)能夠按限定的方式進(jìn)行改變和調(diào)節(jié)，以便提供相應(yīng)閥打開狀態(tài)，并且能夠從打開位置(O)移動到關(guān)閉位置并返回，在所述打開位置，所述閥封閉件(13、41)至少部分地釋放所述閥開口(12、42)，而在所述關(guān)閉位置，所述第二密封面(18、48)沿所述第一密封面(15、45)的方向壓緊并且所述閥開口(12、42)按大致氣密方式關(guān)閉，

其特征在于，

所述真空閥系統(tǒng)具有光學(xué)傳感器單元(20、30、50、60、70、80)，其中，所述光學(xué)傳感器單元(20、30、50、60、70、80)被設(shè)計(jì)成檢測光學(xué)測量信號，并且按這樣的方式布置，并且所述光學(xué)傳感器單元(20、30、50、60、70、80)的光學(xué)檢測軸按這樣方式取向，即，能夠檢測關(guān)于所述至少兩個(gè)密封面(15、18、45、48)中的一個(gè)的至少一部分的所述光學(xué)測量信號，

其中，所述光學(xué)測量信號能夠在所述閥封閉件(13、41)的測試位置生成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空閥系統(tǒng)，

其特征在于，

關(guān)于所述至少兩個(gè)密封面(15、18、45、48)中的一個(gè)的至少一部分的所述光學(xué)測量信號能夠僅在所述閥封閉件(13、41)的特定測試位置生成。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的真空閥系統(tǒng)，

其特征在于，

所述真空閥(40、40'、40、40')限定與外部環(huán)境隔離的真空區(qū)域。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空閥系統(tǒng)，

其特征在于，

所述光學(xué)傳感器單元(20、30、50、60、70、80)被至少部分地布置在所述真空區(qū)域內(nèi)，并且

所述檢測軸沿所述閥座的方向取向，以檢測針對所述第二密封面(18、48)的所述光學(xué)測量信號。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空閥系統(tǒng)，

其特征在于，

所述真空閥(40、40'、40、40')具有至少能透過所述光學(xué)測量信號的透射窗口(22、62)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空閥系統(tǒng)，

其特征在于，

所述光學(xué)傳感器單元(20、30、50、60、70、80)按這樣的方式布置在外部環(huán)境中，即，能夠借助于所述光學(xué)傳感器單元(20、30、50、60、70、80)經(jīng)由所述透射窗口(22、62)來檢測所述光學(xué)測量信號，其中，所述檢測軸位于所述透射窗口(22、62)內(nèi)。

7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的真空閥系統(tǒng)，

其特征在于，

所述透射窗口(22、62)形成所述至少兩個(gè)密封面(15、18、45、48)中的一個(gè)的至少一部分。

8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空閥系統(tǒng)，

其特征在于，

所述光學(xué)傳感器單元(20、30、50、60、70、80)包括用于檢測和引導(dǎo)所述光學(xué)測量信號的光纖(31、51、81、82)。