[發(fā)明專利]熱式空氣流量計

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810190200.6
• 申請日: 2013-12-13
• 公開（公告）號: CN108458762B
• 公開（公告）日: 2020-05-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 緒方公俊;石塚典男;松本昌大
• 申請（專利權(quán)）人: 日立汽車系統(tǒng)株式會社
• 主分類號: G01F1/68
• 分類號: G01F1/68
• 代理公司: 北京尚誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

為了提供測量精度高的熱式流量計，采用以下結(jié)構(gòu)：具有流量檢測部、用于配置上述流量檢測部的副通路和被輸入從上述流量檢測部得到的信號且向外部輸出信號的LSI，上述副通路的側(cè)壁配置在上述流量檢測部與上述LSI之間或者配置在上述LSI上，設(shè)置在上述LSI的內(nèi)部的擴散電阻的長度方向與單晶硅的100軸平行。

本申請是申請?zhí)枮?01380074118.2、申請日為2013年12月13日的同名專利申請的分案申請

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及熱式空氣流量計。

背景技術(shù)

測量空氣的流量的熱式空氣流量計具有用于測量空氣流量的流量檢測部，通過在上述流量檢測部和作為測量對象的上述氣體之間進行熱傳遞，測量上述氣體的空氣流量。熱式空氣流量計所測量的空氣流量作為各種裝置的重要的控制參數(shù)廣泛使用。熱式空氣流量計的特征在于與其它方式的流量計相比能夠以相對高的精度測量空氣的流量。

但是，期待進一步提高空氣流量的測量精度。例如，在搭載有內(nèi)燃機的車輛中，節(jié)省燃料的要求和排氣凈化的要求都非常高。為了實現(xiàn)這些要求，需要以較高的精度測量作為內(nèi)燃機的主要參數(shù)的吸入空氣量。測量被導(dǎo)入內(nèi)燃機的吸入空氣量的熱式空氣流量計包括取入吸入空氣量的一部分的副通路和配置在上述副通路的流量檢測部，上述流量檢測部在其與被測量氣體之間進行熱傳遞，由此測量流過上述副通路的被測量氣體的狀態(tài)，輸出表示被導(dǎo)入上述內(nèi)燃機的吸入空氣量的電信號。這樣的技術(shù)例如公開于日本特開2011-252796號公報(專利文獻1)中。

現(xiàn)有技術(shù)文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2011-252796號公報

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的技術(shù)問題

為了利用熱式空氣流量計以較高精度測量空氣的流量，要求在設(shè)置于用于測量流過主通路的空氣流量的熱式空氣流量計的副通路，以較高精度將流量檢測部定位且固定，正確地測量由流量檢測部檢測出的流量。專利文獻1記載的技術(shù)中，用樹脂預(yù)先制造具有成形有用于嵌入流量檢測部的孔的副通路的箱體，除了該箱體之外，制造具有流量檢測部的傳感器組件，然后在將上述流量檢測部插入到上述副通路的孔的狀態(tài)下，將上述傳感器組件固定于箱體。在上述副通路的孔與流量檢測部之間的間隙和傳感器組件向箱體的嵌入部分的間隙中，填充有彈性粘接劑，利用接合劑的彈性力吸收彼此的線膨脹差。

在這樣的結(jié)構(gòu)中，難以將包含流量檢測部的傳感器組件正確地設(shè)定并固定于包含副通路的箱體。即，存在傳感器組件和設(shè)置于箱體的副通路的位置和角度因粘接劑的狀態(tài)等的不同而簡單地變化的問題。因此，在現(xiàn)有的熱式空氣流量計中，難以進一步提高流量的檢測精度。

為了將流量檢測部相對于副通路正確地定位，將包含流量檢測部的傳感器組件在箱體形成的同時進行固定是有效的。但是，在該情況下，與使用粘接材料的情況相比，由傳感器組件與箱體部件的線膨脹系數(shù)差導(dǎo)致的熱應(yīng)力較高地產(chǎn)生，配置在傳感器組件內(nèi)的LSI的輸出(主要是電阻因熱應(yīng)力而發(fā)生變化)發(fā)生變動，存在熱式空氣流量計的測量精度降低的問題。

本發(fā)明的目的在于提供一種測量精度高的熱式空氣流量計。

用于解決技術(shù)課題的技術(shù)方案

為了達成上述目的，本發(fā)明的熱式空氣流量計包括：流量檢測部；用于配置上述流量檢測部的副通路；和被輸入從上述流量檢測部獲得的信號，且向外部輸出信號的LSI，上述副通路的側(cè)壁配置在上述流量檢測部與上述LSI之間或者配置在上述LSI上，設(shè)置在上述LSI的內(nèi)部的擴散電阻的長度方向與單晶硅的100軸平行。

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明，能夠提供測量精度高的熱式空氣流量計。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的第1實施例中的傳感器組件平面圖。