[發明專利]熱式空氣流量計有效
| 申請號： | 201810190200.6 | 申請日： | 2013-12-13 |
| 公開（公告）號： | CN108458762B | 公開（公告）日： | 2020-05-15 |
| 發明（設計）人： | 緒方公俊;石塚典男;松本昌大 | 申請（專利權）人： | 日立汽車系統株式會社 |
| 主分類號： | G01F1/68 | 分類號： | G01F1/68 |
| 代理公司： | 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322 | 代理人： | 龍淳 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 空氣 流量計 | ||
【權利要求書】：
1.一種熱式空氣流量計，其特征在于，包括：
流量檢測部；用于配置所述流量檢測部的副通路；和被輸入從所述流量檢測部得到的信號，且向外部輸出信號的LSI，
所述副通路的側壁配置在所述流量檢測部與所述LSI之間或者配置在所述LSI上，
設置在所述LSI的內部的擴散電阻的一部分或全部，由壓電電阻系數被平均化的多晶硅膜形成。
2.如權利要求1所述的熱式空氣流量計，其特征在于，
設置在所述LSI的內部的擴散電阻，是構成A/D轉換電路的多個電阻，
該多個電阻配置在從所述副通路的側壁起一定距離的位置。
3.如權利要求1或2所述的熱式空氣流量計，其特征在于：
所述流量檢測部和所述LSI被樹脂覆蓋。
4.如權利要求3所述的熱式空氣流量計，其特征在于：
所述樹脂為熱固化性樹脂。
5.如權利要求1或2所述的熱式空氣流量計，其特征在于：
所述副通路由熱可塑性樹脂成形。
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