[發(fā)明專利]液體去除裝置及液體去除方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810190176.6 | 申請日： | 2018-03-08 |
| 公開（公告）號： | CN108626970B | 公開（公告）日： | 2020-10-27 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 岡田直忠 | 申請（專利權(quán)）人： | 株式會社東芝 |
| 主分類號： | F26B3/00 | 分類號： | F26B3/00;F26B23/00 |
| 代理公司： | 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002 | 代理人： | 劉英華 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 液體 去除 裝置 方法 | ||
1.一種液體去除裝置，是能夠?qū)Ω街诓考谋砻娴囊后w照射激光而將所述液體去除的液體去除裝置，其特征在于，所述液體去除裝置具有：
激光光源；以及
能量控制構(gòu)件，將從所述激光光源射出的激光分割為多個激光，在所述液體所附著的照射位置，將所分割出的所述多個激光的一部分同時重疊照射，從而能夠使照射面中的能量強度不均勻，
所述能量控制構(gòu)件具有：
掩模，具有多個透射部；
透鏡陣列，設(shè)置于所述掩模的所述激光的射出側(cè)，具有多個透鏡元件；以及
聚光透鏡，設(shè)置于所述透鏡陣列的所述激光的射出側(cè)，
俯視時，所述多個透射部中的至少一個透射部的中心位于從對應(yīng)的透鏡元件的中心偏移的位置。
2.一種液體去除裝置，是能夠?qū)Ω街诓考谋砻娴囊后w照射激光而將所述液體去除的液體去除裝置，其特征在于，所述液體去除裝置具有：
多個激光光源；以及
能量控制構(gòu)件，在所述液體所附著的照射位置，將從所述多個激光光源射出的多個激光的一部分同時重疊照射，從而能夠使照射面中的能量強度不均勻，
所述能量控制構(gòu)件具有：
掩模，具有多個透射部；
透鏡陣列，設(shè)置于所述掩模的所述激光的射出側(cè)，具有多個透鏡元件；以及
聚光透鏡，設(shè)置于所述透鏡陣列的所述激光的射出側(cè)，
俯視時，所述多個透射部中的至少一個透射部的中心位于從對應(yīng)的透鏡元件的中心偏移的位置。
3.如權(quán)利要求1或2所述的液體去除裝置，其特征在于，還具備：
回收部，能夠回收從所述部件的表面浮起的所述液體。
4.如權(quán)利要求1或2所述的液體去除裝置，其特征在于，
所述透鏡元件的數(shù)量與所述透射部的數(shù)量相同。
5.一種液體去除方法，對附著于部件的表面的液體照射激光而將所述液體去除，其特征在于，所述液體去除方法具備如下步驟：
將激光分割為多個激光，在所述液體所附著的照射位置，將所分割出的所述多個激光的一部分同時重疊照射，從而使照射面中的能量強度不均勻，
所述能量強度的不均勻是利用能量控制構(gòu)件進行的，
所述能量控制構(gòu)件具有：
掩模，具有多個透射部；
透鏡陣列，設(shè)置于所述掩模的所述激光的射出側(cè)，具有多個透鏡元件；以及
聚光透鏡，設(shè)置于所述透鏡陣列的所述激光的射出側(cè)，
俯視時，所述多個透射部中的至少一個透射部的中心位于從對應(yīng)的透鏡元件的中心偏移的位置。
6.一種液體去除方法，對附著于部件的表面的液體照射激光而將所述液體去除，其特征在于，所述液體去除方法具備如下步驟：
在所述液體所附著的照射位置，將從多個激光光源射出的多個激光的一部分同時重疊照射，從而使照射面中的能量強度不均勻，
所述能量強度的不均勻是利用能量控制構(gòu)件進行的，
所述能量控制構(gòu)件具有：
掩模，具有多個透射部；
透鏡陣列，設(shè)置于所述掩模的所述激光的射出側(cè)，具有多個透鏡元件；以及
聚光透鏡，設(shè)置于所述透鏡陣列的所述激光的射出側(cè)，
俯視時，所述多個透射部中的至少一個透射部的中心位于從對應(yīng)的透鏡元件的中心偏移的位置。
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