[發(fā)明專利]半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu)和基板結(jié)構(gòu)在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810189557.2 | 申請日: | 2018-03-08 |
| 公開(公告)號: | CN108630615A | 公開(公告)日: | 2018-10-09 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 林子閎;張嘉誠;彭逸軒;劉乃瑋 | 申請(專利權(quán))人: | 聯(lián)發(fā)科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L23/00 | 分類號: | H01L23/00;H05K1/02 |
| 代理公司: | 深圳市威世博知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 李慶波 |
| 地址: | 中國臺灣新竹市*** | 國省代碼: | 中國臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 基板 半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu) 半導(dǎo)體晶粒 第一表面 布線結(jié)構(gòu) 第二表面 電耦合 熱膨脹系數(shù) 基板結(jié)構(gòu) 模制材料 電連接 形變 分隔 翹曲 匹配 | ||
本發(fā)明公開一種半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu),包括:基板,具有第一表面和與所述第一表面相對的第二表面,其中所述基板包括布線結(jié)構(gòu);第一半導(dǎo)體晶粒,設(shè)置在所述基板的第一表面上,并電耦合至所述布線結(jié)構(gòu);第二半導(dǎo)體晶粒,設(shè)置在所述基板的第一表面上,并電耦合至所述布線結(jié)構(gòu),其中所述第一半導(dǎo)體晶粒和所述第二半導(dǎo)體晶粒之間設(shè)有模制材料分隔;以及第一孔和第二孔,形成在所述基板的第二表面上。形成在基板中的孔可以給基板的形變留出空間,解決由熱膨脹系數(shù)不匹配引起的翹曲或開裂的問題。因此,將降低半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu)內(nèi)部的電連接損壞的可能性,并且可以提高半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu)的可靠性和壽命。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu)和基板結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)
半導(dǎo)體封裝不僅可以為半導(dǎo)體晶粒提供環(huán)境污染物的保護,而且還可以提供半導(dǎo)體封裝所封裝的半導(dǎo)體晶粒與基板(例如印刷電路板(PCB,printed circuit board))之間的電連接。例如,半導(dǎo)體晶粒可以封裝在封裝材料(encapsulating material)中,并且以跡線(trace)電連接到基板。
然而,這樣的半導(dǎo)體封裝的問題在于在封裝過程中半導(dǎo)體封裝經(jīng)受了不同的溫度。由于各種基板和半導(dǎo)體晶粒材料的不同熱膨脹系數(shù)(CTE,coefficients of thermalexpansion),半導(dǎo)體封裝可能會承受很高地應(yīng)力。結(jié)果,半導(dǎo)體封裝可能會出現(xiàn)翹曲(warping)或破裂(cracking),從而可能損壞半導(dǎo)體晶粒和基板之間的電連接,并且可能降低半導(dǎo)體封裝的可靠性。
在相對較大的封裝,例如50mm×50mm或更大的封裝的情況中,這種問題更加嚴重。因此,希望有一種新型的半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu)。
發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此,本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu)和基板結(jié)構(gòu),以降低半導(dǎo)體封裝出現(xiàn)翹曲或破裂的問題的可能性,提高半導(dǎo)體封裝的可靠性。
根據(jù)本發(fā)明的第一方面,公開一種半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu),包括:
基板,具有第一表面和與所述第一表面相對的第二表面,其中所述基板包括布線結(jié)構(gòu);
第一半導(dǎo)體晶粒,設(shè)置在所述基板的第一表面上,并電耦合至所述布線結(jié)構(gòu);
第二半導(dǎo)體晶粒,設(shè)置在所述基板的第一表面上,并電耦合至所述布線結(jié)構(gòu),其中所述第一半導(dǎo)體晶粒和所述第二半導(dǎo)體晶粒之間設(shè)有模制材料分隔;以及
第一孔和第二孔,形成在所述基板的第二表面上。
根據(jù)本發(fā)明的第二個方面,公開一種半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu),包括:
基板,具有布線結(jié)構(gòu);
第一半導(dǎo)體晶粒,設(shè)置在所述基板上,并電耦合至所述布線結(jié)構(gòu);
第二半導(dǎo)體晶粒,設(shè)置在所述基板之上,并電耦合至所述布線結(jié)構(gòu),其中,所述第一半導(dǎo)體晶粒和所述第二半導(dǎo)體晶粒并排布置;以及
多個孔,形成在所述基板的表面上,其中所述孔位于所述基板上的所述第一半導(dǎo)體晶粒和所述第二半導(dǎo)體晶粒的投影內(nèi)。
根據(jù)本發(fā)明的第三個方面,公開一種基板結(jié)構(gòu),包括:
布線結(jié)構(gòu),布置在基板中,其中所述布線結(jié)構(gòu)耦合到布置在所述基板上方的多個半導(dǎo)體晶粒;以及
多個孔,形成在所述基板的表面上,其中所述孔位于所述基板上的所述半導(dǎo)體晶粒的投影內(nèi)。
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