[發明專利]用于測量的光學裝置及其測量方法

有效

• 申請號: 201810188477.5
• 申請日: 2018-03-07
• 公開（公告）號: CN110243573B
• 公開（公告）日: 2022-12-20
• 發明（設計）人: 黃健庭;李嘉樟
• 申請（專利權）人: 揚明光學股份有限公司
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 上海弼興律師事務所 31283
• 代理人: 薛琦

1.一種用于測量的光學裝置，其特征在于，包括：

一入射面，設于一光束的傳遞路徑上；

一第一反射面，設于所述光束的傳遞路徑上；

一第二反射面，設于所述第一反射面的光路下游；以及

一反射鏡組，包括一第一反射鏡與一第二反射鏡，所述第一反射鏡包括一第三反射面，所述第二反射鏡包括一第四反射面，所述第三反射面并面對所述第四反射面，所述反射鏡組設于所述光束的傳遞路徑上；

一分光器，設置于所述光束的傳遞路徑上，所述分光器包括所述入射面及所述第一反射面，所述光束經由所述分光器投射至待測量物體，其中所述待測量物體包括一鏡頭座、一棱鏡及一反射式元件，所述鏡頭座設置于所述光束的傳遞路徑上，所述鏡頭座包括一透光孔，所述透光孔讓所述分光器投射至的所述光束穿透，所述棱鏡包括一棱鏡反射面，所述光束穿透所述鏡頭座后入射所述棱鏡，所述棱鏡的所述棱鏡反射面反射入射的所述光束至所述反射式元件；其中，所述光束的傳遞路徑如下：(1)經由所述第一反射面到達一待測量物體后，再反射穿透所述入射面后，依序傳遞至所述第二反射面、所述第三反射面及所述第四反射面，且所述光束可經由所述第三反射面與所述第四反射面之間反射一次以上后，到達一觀測面；或(2)所述光束穿透所述入射面到達所述待測量物體后再反射至所述第一反射面，所述第一反射面反射所述光束，并依序傳遞至所述第二反射面、所述第三反射面及所述第四反射面，且所述光束可經由所述第三反射面與所述第四反射面之間反射一次以上后，到達所述觀測面。

2.根據權利要求1所述的用于測量的光學裝置，其特征在于，所述的用于測量的光學裝置還包括：

一檢測光源，適于提供所述光束；以及

一檢測器，設置于所述觀測面上，所述反射式元件反射入射的所述光束，并將所述光束依序經由所述棱鏡、所述鏡頭座傳遞至所述分光器，所述分光器并將所述光束經由所述第二反射面、所述第三反射面及所述第四反射面投射至所述檢測器。

3.根據權利要求2所述的用于測量的光學裝置，其特征在于，所述反射式元件將所述光束依序經由所述棱鏡、所述鏡頭座傳遞至所述分光器后，所述分光器將所述光束投射至所述第一反射鏡的所述第三反射面，所述第三反射面并將所述光束反射至所述第四反射面，所述光束可經由所述第三反射面與所述第四反射面多次反射后投射至所述觀測面。

4.一種用于測量的光學裝置，其特征在于，包括：

一檢測光源，適于提供一光束；

一分光器，設置于所述光束的傳遞路徑上；

一待測量物體，所述光束經由所述分光器投射至所述待測量物體，所述待測量物體包括：

一鏡頭座，設置于所述光束的傳遞路徑上，所述鏡頭座包括一透光孔，所述透光孔讓所述分光器投射至的所述光束穿透；

一棱鏡，包括一棱鏡反射面，所述光束穿透所述鏡頭座后入射所述棱鏡；以及

一反射式元件，所述棱鏡的所述棱鏡反射面反射入射的所述光束至所述反射式元件；

一反射鏡組，包括一第一反射鏡與一第二反射鏡，所述第一反射鏡包括一第三反射面，所述第二反射鏡包括一第四反射面，所述第三反射面并面對所述第四反射面，所述反射鏡組設于所述光束的傳遞路徑上；以及

一觀測面，所述反射式元件反射入射的所述光束，并將所述光束依序經由所述棱鏡、所述鏡頭座傳遞至所述分光器，所述分光器并將所述光束經由一第二反射面、所述第三反射面及所述第四反射面，且所述光束可經由所述第三反射面與所述第四反射面之間反射一次以上后，投射至所述觀測面。

5.根據權利要求2或4所述的用于測量的光學裝置，其特征在于，所述的用于測量的光學裝置還包括一校正鏡片，所述鏡頭座還包括一接環，所述透光孔并位于所述接環內，所述接環適于以一接觸面與一鏡頭連接，所述校正鏡片適于設置在所述鏡頭座上，所述校正鏡片的一校正反射面并與所述接觸面平行，當所述校正鏡片設置在所述鏡頭座上時，所述校正鏡片的所述校正反射面反射所述分光器投射至的所述光束，以使所述光束經由所述分光器投射至所述檢測光源。