[發(fā)明專利]一種智能在線均勻性調(diào)節(jié)系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810187708.0
• 申請日: 2018-03-07
• 公開（公告）號(hào): CN108342704A
• 公開（公告）日: 2018-07-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊宏斌;冷慶吉;齊麗婧;郭仙;柳麗麗;李忠祥
• 申請（專利權(quán)）人: 河北物華天寶鍍膜科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/35
• 分類號(hào): C23C14/35;C23C14/54
• 代理公司: 北京挺立專利事務(wù)所(普通合伙) 11265
• 代理人: 倪鉅芳

本發(fā)明公開了一種智能在線均勻性調(diào)節(jié)系統(tǒng)，包括：WinCC監(jiān)控計(jì)算機(jī)、均勻性對(duì)比計(jì)算機(jī)、在線檢測機(jī)構(gòu)及反應(yīng)氣體控制機(jī)構(gòu)，反應(yīng)氣體控制機(jī)構(gòu)，控制反應(yīng)氣體進(jìn)氣速度及進(jìn)氣量，WinCC監(jiān)控計(jì)算機(jī)、均勻性對(duì)比計(jì)算機(jī)、在線檢測機(jī)構(gòu)及反應(yīng)氣體控制機(jī)構(gòu)相互之間通過無線連接，本發(fā)明一種智能在線均勻性調(diào)節(jié)系統(tǒng)，確保實(shí)時(shí)準(zhǔn)確地進(jìn)行調(diào)控真空磁控濺射氣體分配量，并通過背景數(shù)據(jù)完全實(shí)現(xiàn)在線自動(dòng)調(diào)節(jié)，不僅能有效控制鍍膜玻璃表面鍍膜的均勻性，還能降低人工操作量，在保證高質(zhì)量鍍膜的同時(shí)節(jié)約人工投資，提高了玻璃鍍膜的速率，增加了生產(chǎn)量，本發(fā)明廣泛適用于自動(dòng)化生產(chǎn)加工行業(yè)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及真空磁控濺射人工智能領(lǐng)域，更加具體的，是一種智能在線均勻性調(diào)節(jié)系統(tǒng)。

背景技術(shù)

磁控濺射需要在高本低真空下通入反應(yīng)氣體與工作氣體，環(huán)境壓力在10-3mbar的條件下形成輝光。工藝氣體進(jìn)入工藝腔室后會(huì)內(nèi)均勻分布，每個(gè)工藝腔室內(nèi)配置有5－9段可調(diào)節(jié)的輔助氣體裝置。由于大面積平板玻璃鍍膜橫向均勻性是產(chǎn)品的重要指標(biāo)，影響鍍膜玻璃橫向均勻性的因素包括靶材、靶基距、氣體隔離、磁場分布等因素。

而目前磁控濺射鍍膜玻璃的均勻性大多都是人為干預(yù)調(diào)節(jié)的，不僅耗時(shí)耗工而且反應(yīng)速度慢，產(chǎn)品質(zhì)量不一。

因此，亟需一種能夠自動(dòng)化不間斷調(diào)節(jié)真空磁控濺射氣體分配量并能通過背景數(shù)據(jù)完全實(shí)現(xiàn)在線自動(dòng)調(diào)節(jié)的一種智能在線均勻性調(diào)節(jié)系統(tǒng)。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種智能在線均勻性調(diào)節(jié)系統(tǒng)，集成陰極蓋板所有的外來連接，安裝簡易明了，面板控制安全。

本發(fā)明的技術(shù)方案如下：

一種智能在線均勻性調(diào)節(jié)系統(tǒng)，包括：WinCC監(jiān)控計(jì)算機(jī)、均勻性對(duì)比計(jì)算機(jī)、在線檢測機(jī)構(gòu)及反應(yīng)氣體控制機(jī)構(gòu)，WinCC監(jiān)控計(jì)算機(jī)，用于監(jiān)控系統(tǒng)在鍍膜玻璃進(jìn)行鍍膜過程中整體運(yùn)行及信號(hào)的傳遞情況；均勻性對(duì)比計(jì)算機(jī)，輸送調(diào)控指令；在線檢測機(jī)構(gòu)，測量從工藝腔體出來的大板面鍍膜玻璃的橫向均勻性；反應(yīng)氣體控制機(jī)構(gòu)，控制反應(yīng)氣體進(jìn)氣速度及進(jìn)氣量，WinCC監(jiān)控計(jì)算機(jī)、均勻性對(duì)比計(jì)算機(jī)、在線檢測機(jī)構(gòu)及反應(yīng)氣體控制機(jī)構(gòu)相互之間通過無線連接。

在線檢測機(jī)構(gòu)有檢測儀、傳動(dòng)輥及傳動(dòng)電機(jī)，檢測儀包括檢測探頭，檢測探頭檢測鍍膜玻璃鍍膜面橫向均勻量，傳動(dòng)輥表面設(shè)有傳動(dòng)帶，傳動(dòng)帶表面設(shè)有47個(gè)監(jiān)測點(diǎn)，每個(gè)監(jiān)測點(diǎn)的間距為50mm，在鍍膜玻璃運(yùn)行至檢測探頭下方時(shí)，傳動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)檢測探頭橫向定點(diǎn)測量。

WinCC監(jiān)控計(jì)算機(jī)包括監(jiān)控器、信號(hào)傳輸器及控制器，在線檢測機(jī)構(gòu)通過無線傳輸?shù)姆绞綄⒃诰€檢測機(jī)構(gòu)中47個(gè)點(diǎn)的可見光透過率傳遞至WinCC監(jiān)控計(jì)算機(jī)，WinCC監(jiān)控計(jì)算機(jī)將47個(gè)點(diǎn)的可見光透過率連在一起，得到整張鍍膜玻璃板面鍍膜的橫向均勻性的在線數(shù)據(jù)，并將得到的在線數(shù)據(jù)傳輸至均勻性對(duì)比計(jì)算機(jī)與背景數(shù)據(jù)進(jìn)行對(duì)比并得出最優(yōu)方案。

反應(yīng)氣體控制機(jī)構(gòu)包括進(jìn)氣口及可調(diào)節(jié)陰極擋板，可調(diào)節(jié)陰極擋板設(shè)有檢測光柵及伸縮機(jī)構(gòu)，反應(yīng)氣體均勻性每相差1％，反應(yīng)氣體控制機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)調(diào)節(jié)100SCCM流量的反應(yīng)氣體。

均勻性對(duì)比計(jì)算機(jī)內(nèi)建立坐標(biāo)系，其中橫坐標(biāo)是鍍膜玻璃的水平位置，縱坐標(biāo)是鍍膜玻璃的厚度，副坐標(biāo)是鍍膜玻璃厚度差的百分比。

背景數(shù)據(jù)為優(yōu)化數(shù)據(jù)集合組。

作為優(yōu)化，在線檢測機(jī)構(gòu)將檢測數(shù)據(jù)傳送給均勻性對(duì)比計(jì)算機(jī)，通過均勻性對(duì)比計(jì)算機(jī)輸送調(diào)控指令至反應(yīng)氣體控制機(jī)構(gòu)，調(diào)節(jié)可調(diào)節(jié)陰極擋板。

本發(fā)明公開的系統(tǒng)的有益效果是：