[發(fā)明專利]一種智能在線均勻性調(diào)節(jié)系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810187708.0
• 申請日: 2018-03-07
• 公開（公告）號: CN108342704A
• 公開（公告）日: 2018-07-31
• 發(fā)明（設計）人: 楊宏斌;冷慶吉;齊麗婧;郭仙;柳麗麗;李忠祥
• 申請（專利權）人: 河北物華天寶鍍膜科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/54
• 代理公司: 北京挺立專利事務所(普通合伙) 11265
• 代理人: 倪鉅芳

1.一種智能在線均勻性調(diào)節(jié)系統(tǒng)，包括：WinCC監(jiān)控計算機(1)、均勻性對比計算機(3)、在線檢測機構(2)及反應氣體控制機構(4)，WinCC監(jiān)控計算機(1)，用于監(jiān)控系統(tǒng)在鍍膜玻璃(5)進行鍍膜過程中整體運行及信號的傳遞情況；均勻性對比計算機(3)，輸送調(diào)控指令；在線檢測機構(2)，測量從工藝腔體出來的大板面鍍膜玻璃(5)的橫向均勻性；反應氣體控制機構(4)，控制反應氣體進氣速度及進氣量，其特征在于：WinCC監(jiān)控計算機(1)、均勻性對比計算機(3)、在線檢測機構(2)及反應氣體控制機構(4)相互之間通過無線連接；

在線檢測機構(2)有檢測儀、傳動輥及傳動電機，檢測儀包括檢測探頭，檢測探頭檢測鍍膜玻璃(5)鍍膜面橫向均勻量，傳動輥表面設有傳動帶，傳動帶表面設有47個監(jiān)測點，每個監(jiān)測點的間距為50mm，在鍍膜玻璃(5)運行至檢測探頭下方時，傳動電機帶動檢測探頭橫向定點測量；

WinCC監(jiān)控計算機(1)包括監(jiān)控器、信號傳輸器及控制器，在線檢測機構(2)通過無線傳輸?shù)姆绞綄⒃诰€檢測機構(2)中47個點的可見光透過率傳遞至WinCC監(jiān)控計算機(1)，WinCC監(jiān)控計算機(1)將47個點的可見光透過率連在一起，得到整張鍍膜玻璃(5)板面鍍膜的橫向均勻性的在線數(shù)據(jù)，并將得到的在線數(shù)據(jù)傳輸至均勻性對比計算機(3)與背景數(shù)據(jù)進行對比并得出最優(yōu)方案。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種智能在線均勻性調(diào)節(jié)系統(tǒng)，其特征在于：反應氣體控制機構(4)包括進氣口及可調(diào)節(jié)陰極擋板，可調(diào)節(jié)陰極擋板設有檢測光柵及伸縮機構，反應氣體均勻性每相差1％，反應氣體控制機構(4)對應調(diào)節(jié)100SCCM流量的反應氣體。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種智能在線均勻性調(diào)節(jié)系統(tǒng)，其特征在于：均勻性對比計算機(3)內(nèi)建立坐標系，其中橫坐標是鍍膜玻璃(5)的水平位置，縱坐標是鍍膜玻璃(5)的厚度，副坐標是鍍膜玻璃(5)厚度差的百分比。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種智能在線均勻性調(diào)節(jié)系統(tǒng)，其特征在于：背景數(shù)據(jù)為優(yōu)化數(shù)據(jù)集合組。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種智能在線均勻性調(diào)節(jié)系統(tǒng)，其特征在于：在線檢測機構(2)將檢測數(shù)據(jù)傳送給均勻性對比計算機(3)，通過均勻性對比計算機(3)輸送調(diào)控指令至反應氣體控制機構(4)，調(diào)節(jié)可調(diào)節(jié)陰極擋板。