[發(fā)明專利]磁控濺射卷繞鍍膜機(jī)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810185267.0
• 申請(qǐng)日: 2018-03-06
• 公開（公告）號(hào): CN108165949A
• 公開（公告）日: 2018-06-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王軍生
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣東中鈦節(jié)能科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/56
• 分類號(hào): C23C14/56;C23C14/35
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 舒丁

本發(fā)明涉及一種磁控濺射卷繞鍍膜機(jī)，配合軌道車使用，其包括：真空箱、安裝于真空箱內(nèi)的卷繞裝置及兩個(gè)鍍膜裝置、安裝于真空箱外的若干抽氣裝置。卷繞裝置包括滑動(dòng)安裝于真空箱上的支撐框架、安裝于支撐框架上的放卷輥、第一張力測(cè)量輥、第二張力測(cè)量輥、跟蹤機(jī)構(gòu)、收卷輥、若干導(dǎo)向輥及展平輥，第一張力測(cè)量輥與放卷輥相對(duì)設(shè)置，第二張力測(cè)量輥位于跟蹤機(jī)構(gòu)的一側(cè)，收卷輥位于跟蹤機(jī)構(gòu)的另一側(cè)。鍍膜裝置包括主框體、局部位于主框體內(nèi)的鍍膜鼓、設(shè)于主框體內(nèi)且與鍍膜鼓相對(duì)設(shè)置的若干鍍膜腔室、夾設(shè)于相鄰鍍膜腔室之間的若干隔離組件、安裝于鍍膜腔室內(nèi)的濺射靶。該磁控濺射卷繞鍍膜機(jī)的空間占用小、鍍膜質(zhì)量高、便于使用及維護(hù)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及柔性卷繞真空鍍膜設(shè)備領(lǐng)域，特別是涉及一種磁控濺射卷繞鍍膜機(jī)。

背景技術(shù)

磁控濺射是真空鍍膜的重要方法之一，其具有膜層控制精度高，鍍膜均勻性好，成膜溫度低等優(yōu)點(diǎn)，尤其適用受溫升限制的金屬產(chǎn)品和非金屬如塑料、紙張等產(chǎn)品的表面改性鍍膜。磁控濺射卷繞鍍膜是采用磁控濺射鍍膜工藝，以卷對(duì)卷的生產(chǎn)方式，對(duì)柔性基材如紙張、PET、PI、BOPP等材料進(jìn)行表面改性的鍍膜方法，其制造的產(chǎn)品涉及光學(xué)、電子學(xué)、電磁學(xué)等多個(gè)領(lǐng)域，現(xiàn)有產(chǎn)品如建筑及汽車窗膜、防偽包裝膜、電磁屏蔽膜、透明導(dǎo)電膜等已經(jīng)得到廣泛的應(yīng)用。

進(jìn)年來(lái)隨著產(chǎn)品和技術(shù)的進(jìn)步，柔性基材表面鍍膜的膜系結(jié)構(gòu)更加復(fù)雜，要求磁控濺射卷繞設(shè)備需要配置更多的濺射靶來(lái)滿足復(fù)雜膜系工藝的需求。濺射靶一般布置在鍍膜鼓的周圍。通常一個(gè)鍍膜鼓配置濺射靶位在六個(gè)以下，更多的濺射靶就需要鍍膜機(jī)配置二個(gè)鍍膜鼓。現(xiàn)有磁控濺射卷繞鍍膜機(jī)的設(shè)計(jì)通常采用多真空室單元的串聯(lián)方式。如裝有放卷基材的真空室為放卷室單元，裝有鍍膜鼓及周圍布置濺射靶的為鍍膜室單元，裝有收卷基材的為收卷室單元。如雙鍍膜鼓的磁控濺射卷繞鍍膜機(jī)由放卷室單元、第一鍍膜室單元、第二鍍膜室單元和收卷室單元組成，上述四個(gè)單元之間通過(guò)矩形管道依次連接。采用真空室單元的串聯(lián)方式的磁控濺射卷繞鍍膜機(jī)設(shè)備占地面積大，對(duì)設(shè)備場(chǎng)地基礎(chǔ)要求高。由于柔性基材不同于鋼帶、玻璃等硬質(zhì)材料，設(shè)備安裝后各單元室之間的位置偏差，容易出現(xiàn)卷繞系統(tǒng)運(yùn)行路徑平行度變差，基材容易出現(xiàn)變形起皺的問題。同時(shí)采用真空室單元串聯(lián)方式的設(shè)計(jì)，磁控濺射卷繞鍍膜機(jī)的卷繞系統(tǒng)同樣被分為多個(gè)單元模塊，安置于各個(gè)真空室單元中。使得基材走膜路徑變復(fù)雜，基材牽引和卷繞系統(tǒng)各部件的檢修維護(hù)難度增加。

發(fā)明內(nèi)容

基于此，有必要針對(duì)磁控濺射卷繞鍍膜機(jī)問題，提供一種空間占用小、鍍膜質(zhì)量高、便于使用及維護(hù)的磁控濺射卷繞鍍膜機(jī)。

一種磁控濺射卷繞鍍膜機(jī)，配合軌道車使用，所述磁控濺射卷繞鍍膜機(jī)包括：真空箱、安裝于所述真空箱內(nèi)的卷繞裝置及兩個(gè)鍍膜裝置、安裝于所述真空箱外的若干抽氣裝置；所述卷繞裝置包括滑動(dòng)安裝于所述真空箱上的支撐框架、安裝于所述支撐框架上的放卷輥、第一張力測(cè)量輥、第二張力測(cè)量輥、跟蹤機(jī)構(gòu)、收卷輥、若干導(dǎo)向輥及展平輥，所述第一張力測(cè)量輥與所述放卷輥相對(duì)設(shè)置，所述第二張力測(cè)量輥位于所述跟蹤機(jī)構(gòu)的一側(cè)，所述收卷輥位于所述跟蹤機(jī)構(gòu)的另一側(cè)；所述鍍膜裝置包括主框體、局部位于所述主框體內(nèi)的鍍膜鼓、設(shè)于所述主框體內(nèi)且與所述鍍膜鼓相對(duì)設(shè)置的若干鍍膜腔室、夾設(shè)于相鄰所述鍍膜腔室之間的若干隔離組件、安裝于所述鍍膜腔室內(nèi)的濺射靶。

上述磁控濺射卷繞鍍膜機(jī)，包括真空箱、安裝于真空箱內(nèi)的卷繞裝置及兩個(gè)鍍膜裝置、安裝于真空箱外的若干抽氣裝置，使用時(shí)卷繞裝置配合軌道車使用。由于真空箱一體構(gòu)成，八邊形真空箱的上部采用大的斜邊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，有效增加真空箱的頂部承壓能力，同時(shí)也有效減少真空箱的容積，空間占用小且便于抽真空。由于鍍膜裝置上設(shè)有若干鍍膜腔室，每個(gè)鍍膜腔室相對(duì)獨(dú)立，便于每個(gè)濺射靶進(jìn)行良好的鍍膜，隔離組件使相鄰鍍膜腔室實(shí)現(xiàn)隔離，使的每組濺射都能互不干擾進(jìn)行，避免氣體相互干擾影響鍍膜質(zhì)量，鍍膜質(zhì)量高。通過(guò)第一張力測(cè)量輥、第二張力測(cè)量輥及跟蹤機(jī)構(gòu)的設(shè)置，可以保證柔性基材的輸送的穩(wěn)定性，及時(shí)調(diào)整，保證鍍膜的質(zhì)量。由于卷繞裝置和兩個(gè)鍍膜裝置都位于真空箱內(nèi)，使柔性基材的走膜路徑更加簡(jiǎn)便，從而便于各個(gè)部件的排布安裝，便于使用和維護(hù)。