[發明專利]磁控濺射卷繞鍍膜機

在審

• 申請號: 201810185267.0
• 申請日: 2018-03-06
• 公開（公告）號: CN108165949A
• 公開（公告）日: 2018-06-15
• 發明（設計）人: 王軍生
• 申請（專利權）人: 廣東中鈦節能科技有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/35
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 舒丁

1.一種磁控濺射卷繞鍍膜機，配合軌道車使用，其特征在于，所述磁控濺射卷繞鍍膜機包括：真空箱、安裝于所述真空箱內的卷繞裝置及兩個鍍膜裝置、安裝于所述真空箱外的若干抽氣裝置；所述卷繞裝置包括滑動安裝于所述真空箱上的支撐框架、安裝于所述支撐框架上的放卷輥、第一張力測量輥、第二張力測量輥、跟蹤機構、收卷輥、若干導向輥及展平輥，所述第一張力測量輥與所述放卷輥相對設置，所述第二張力測量輥位于所述跟蹤機構的一側，所述收卷輥位于所述跟蹤機構的另一側；所述鍍膜裝置包括主框體、局部位于所述主框體內的鍍膜鼓、設于所述主框體內且與所述鍍膜鼓相對設置的若干鍍膜腔室、夾設于相鄰所述鍍膜腔室之間的若干隔離組件、安裝于所述鍍膜腔室內的濺射靶。

2.根據權利要求1所述的磁控濺射卷繞鍍膜機，其特征在于，所述卷繞裝置位于所述鍍膜裝置的上方，兩個所述鍍膜裝置并排設置。

3.根據權利要求2所述的磁控濺射卷繞鍍膜機，其特征在于，所述主框體之間形成中央抽氣通道。

4.根據權利要求1所述的磁控濺射卷繞鍍膜機，其特征在于，所述卷繞裝置還包括安裝于所述支撐框架上的在線監測組件及輔助動力輥，所述在線監測組件位于所述第二張力測量輥遠離所述跟蹤機構的一側，所述輔助動力輥位于所述在線監測組件的遠離所述第二張力測量輥的一側。

5.根據權利要求1所述的磁控濺射卷繞鍍膜機，其特征在于，所述真空箱的內壁上設有若干吊梁軌道及第一低溫盤管，所述吊梁軌道與所述支撐框架連接。

6.根據權利要求5所述的磁控濺射卷繞鍍膜機，其特征在于，所述支撐框架包括滑動安裝于所述吊梁軌道上的墻板、安裝于所述軌道車上的門板、兩端分別與所述墻板、門板連接的第一支撐梁及第二支撐梁。

7.根據權利要求1所述的磁控濺射卷繞鍍膜機，其特征在于，所述鍍膜腔室內安裝有第二低溫盤管。

8.根據權利要求1所述的磁控濺射卷繞鍍膜機，其特征在于，所述隔離組件包括兩塊第一隔離板、傾斜安裝于所述第一隔離板上的第二隔離板、夾設于相鄰所述第二隔離板上的中間柱，相鄰所述第二隔離板呈錐形設置。

9.根據權利要求1所述的磁控濺射卷繞鍍膜機，其特征在于，所述抽氣裝置與所述真空箱、鍍膜腔室一一對應連通。

10.根據權利要求9所述的磁控濺射卷繞鍍膜機，其特征在于，所述抽氣裝置包括分子泵、與所述分子泵連接的管道、安裝于所述管道上的閥門。