[發明專利]中心環及真空泵

有效

• 申請號: 201810184686.2
• 申請日: 2018-03-06
• 公開（公告）號: CN108626142B
• 公開（公告）日: 2020-09-22
• 發明（設計）人: 清水幸一
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04;F04D29/00
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

本發明的課題是防止中心環的脫落。介于真空腔室與渦輪分子泵之間的中心環(60)包括：環主體(61)，包含嵌合于真空腔室的排氣法蘭的腔室側圓筒部(65)、及嵌合于渦輪分子泵的吸氣法蘭的泵側圓筒部(64)；防塵土侵入用的網(72)，設置在環主體(61)上；以及防脫落構造，防止在使渦輪分子泵的轉子軸從鉛垂方向向垂直方向傾斜的過程中中心環(60)從吸氣法蘭脫落。

技術領域

本發明涉及一種中心環及真空泵。

背景技術

用來對半導體制造裝置或液晶面板制造裝置等真空裝置進行排氣而形成為高真空的渦輪分子泵(turbo molecular pump)，包括交替配置的多段馬達葉片及多段定子葉片。通過使形成有轉子葉片的轉子相對于定子葉片高速旋轉，來排出氣體。

在將渦輪分子泵安裝到半導體制造裝置等的真空腔室內時，有時會在真空腔室側的法蘭與渦輪分子泵的吸氣法蘭之間配置中心環作為密封零件 (參照專利文獻1)。

[現有技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2014-222044號公報

發明內容

[發明所要解決的問題]

當在真空腔室內安裝渦輪分子泵時，在渦輪分子泵的吸氣法蘭上安裝中心環之后，將吸氣法蘭與真空腔室側的法蘭加以結合。真空泵有直立放置安裝在真空腔室內的方式、以及橫臥放置安裝在真空腔室內的方式。當采用橫臥放置安裝的方式時，預先在吸氣法蘭上安裝中心環之后，使真空泵傾斜而安裝到真空腔室內。因此，中心環有可能從吸氣法蘭上脫落。

[解決問題的技術手段]

(1)本發明的一個形態的中心環是介于真空腔室與真空泵之間的中心環，所述中心環包括：環主體，包括嵌合于真空腔室的腔室側嵌合部的第一環嵌合部、以及嵌合于所述真空泵的泵側嵌合部的第二環嵌合部；防塵土侵入構件，設置在環主體上；以及防脫落構造，防止所述中心環從所述真空泵的泵側嵌合部脫落。

(2)在所述中心環中，優選的是，所述環主體是在圓周上的一處切斷部或兩處切斷部經切斷的一個環狀構件或一對環狀構件。

(3)(2)的優選防脫落構造是在所述切斷部處使所述環主體的端面彼此具有間隙而配置。其是使所述環主體的周長縮短相當于所述間隙的長度而構成。

(4)更優選的中心環的環主體包括對沿內徑方向彎曲時的剛性進行調節的缺口部。

(5)在所述中心環中，優選的是，所述防脫落構造只在所述第二環嵌合部，即，只在真空泵側設置。

(6)在所述中心環中，優選的是，所述防脫落構造是將所述真空泵的泵側嵌合部的直徑與所述第二環嵌合部的直徑的尺寸差設為過盈配合與過渡配合中的任一者的構造。

(7)本發明的其它形態的真空泵包括所述中心環、以及包含安裝所述中心環的真空泵側吸氣法蘭的泵主體。

[發明的效果]

根據本發明，中心環不可能從真空泵脫落。

附圖說明

圖1是表示實施方式的真空泵的內部構成的概略剖視圖。

圖2是從真空腔室500側觀察圖1所示的夾具(clamp)1的配置的圖。

圖3(a)是從中心環60的朝向排氣法蘭510的安裝面側觀察中心環60的頂視圖，圖3(b)是圖3(a)的B-B線剖視圖，圖3(c)是圖3(a) 的C-C線剖視圖。

圖4(a)- 圖 4(b) 是說明中心環及吸氣法蘭內周面的外徑尺寸、內徑尺寸的示意圖，圖4(a)是俯視圖，圖4(b)是剖視圖。