[發明專利]中心環及真空泵

有效

• 申請號: 201810184686.2
• 申請日: 2018-03-06
• 公開（公告）號: CN108626142B
• 公開（公告）日: 2020-09-22
• 發明（設計）人: 清水幸一
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04;F04D29/00
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

1.一種中心環，其是介于真空腔室與真空泵之間的中心環，其特征在于：包括：

環主體，包括嵌合于所述真空腔室的腔室側嵌合部的第一環嵌合部、及嵌合于所述真空泵的泵側嵌合部的第二環嵌合部，所述環主體是在圓周上的一處切斷部或兩處切斷部經切斷的一個環狀構件或一對環狀構件；

防塵土侵入構件，設置在所述環主體上；以及

防脫落構造，是在所述切斷部使所述環主體的端面彼此具有間隙而配置，

所述間隙以下述式（3）表示：

πd-2×ΔC1≦π×（d-Smax）

-2×ΔC1≦-π×Smax

π×Smax≦2×ΔC1

0.5×π×Smax≦ΔC1……（3）

式（3）中，ΔC1是所述間隙；d是第二環嵌合部的直徑；Smax是真空泵的泵側嵌合部的直徑與第二環嵌合部的直徑的尺寸差的最大值。

2.根據權利要求1所述的中心環，其特征在于：

所述環主體的周長縮短了僅相當于所述間隙的長度。

3.根據權利要求1或2所述的中心環，其特征在于：

所述環主體包括對沿內徑方向彎曲時的剛性進行調節的缺口部。

4.根據權利要求1或2所述的中心環，其特征在于：

所述防脫落構造只設置在所述第二環嵌合部。

5.根據權利要求1所述的中心環，其特征在于：

所述防脫落構造是將所述真空泵的泵側嵌合部的直徑與所述第二環嵌合部的直徑的尺寸差設為過盈配合與過渡配合中的任一者的構造。

6.一種真空泵，其特征在于包括：

根據權利要求1至5中任一項所述的中心環；以及

泵主體，包含安裝所述中心環的所述泵側嵌合部即吸氣法蘭。