[發明專利]探針卡在線調針維修系統及其方法

在審

• 申請號: 201810184425.0
• 申請日: 2018-03-06
• 公開（公告）號: CN110230989A
• 公開（公告）日: 2019-09-13
• 發明（設計）人: 李茂衫;吳松霖;吳振文
• 申請（專利權）人: 均豪精密工業股份有限公司
• 主分類號: G01B11/16
• 分類號: G01B11/16
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識產權代理有限責任公司 11139
• 代理人: 孫皓晨;侯奇慧

本發明公開了一種探針卡在線調針維修系統及其方法，該探針卡經一預定時間使用，該探針卡在線調針維修方法的步驟包含有：擷取第一影像信息，一第一影像擷取單元擷取一探針卡的多個探針的一第一影像信息，并將該第一影像信息提供給一控制單元；擷取第二影像信息，一第二影像擷取單元擷取該多個探針的一第二影像信息，并將該第二影像信息提供給該控制單元；找出變形量，該控制單元依據該第一影像信息與該第二影像信息，以找出各探針的變形量。

技術領域

本發明涉及一種探針卡在線調針維修系統及其方法，尤指一種利用影像擷取單元擷取探針卡的探針于不同軸向的影像信息，再通過判讀該影像信息，以實時找出探針的變形量。

背景技術

現行的探針測量機臺利用探針卡的探針接觸待測物，再通過所回饋的導電性得知待測物是否異常。但是，于多次測量后，對同一位置產生有重復性錯誤時，此時才會反應探針的位置狀態可能有問題。

當探針的位置狀態可能有問題時，工作人員會將探針卡拆卸下來，以作位置檢測，其耗時且費工。

由于探針測量是通過探針接觸待測物后再進電性測量，其屬破壞性測量，若探針位置有問題而未能及時偵測預防，繼續以破壞性方式測量待測物，可能使位置狀態錯誤的探針扎錯位置，從而對待測物造成不可回復的損壞。

發明內容

有鑒于此，本發明的目的在于提供一種探針卡在線調針維修系統及其方法，其利用影像擷取單元擷取探針卡的探針于不同軸向的影像信息，再通過判讀該影像信息，以實時找出探針的變形量。

本發明的技術手段為一種探針卡在線調針維修方法，該探針卡經一預定時間使用，該探針卡在線調針維修方法的步驟包含有：

擷取第一影像信息，一第一影像擷取單元擷取一探針卡的多個探針的一第一影像信息，并將該第一影像信息提供給一控制單元；

擷取第二影像信息，一第二影像擷取單元擷取該多個探針的一第二影像信息，并將該第二影像信息提供給該控制單元；

找出變形量，該控制單元依據該第一影像信息與該第二影像信息，以找出各探針的變形量。

于一實施例，一判斷變形量是否超出一預定數值的步驟，若否，則該控制單元不動作；若是，則該控制單元發出一警示信號，或者至一清潔程序。

于一實施例，該清潔程序的步驟包含有：

啟動清針，該探針進行一按壓清潔模塊或一檢測電性的步驟，并將該檢測電性的步驟所檢測的結果回饋給該控制單元，以供該控制單元作判斷；該按壓清潔模塊，其使該多個探針按壓一清潔模塊，以去除該多個探針的沾黏物，或者該多個探針按壓該清潔模塊，以調整該多個探針；該檢測電性為該探針卡移動至一導電模塊，該多個探針接觸該導電模塊，以偵測該多個探針的導電性；提供負壓給該清潔模塊，以使該負壓吸附該沾黏物；

判斷是否導電性正常，若為否，則再執行該按壓清潔模塊的步驟；若為是，該多個探針完成清潔，該探針卡則完成清針動作；若重復多次該按壓清潔模組織步驟，該多個探針仍未達到正常導電性時，該控制單元產生一警示信號，該重復多次的次數為一設定值。

本發明還公開了一種探針卡在線調針維修系統，該探針卡經一預定時間使用，該探針卡在線調針維修系統包含有：

一控制單元；

一第一影像擷取單元，其信號連接該控制單元；以及

一第二影像擷取單元，其信號連接該控制單元；

其中，該第一影像擷取單元擷取一探針卡的多個探針的一第一影像信息，并將該第一影像信息提供給該控制單元；該第二影像擷取單元擷取該多個探針的一第二影像信息，并將該第二影像信息提供給該控制單元；該控制單元依據該第一影像信息與該第二影像信息，以找出各探針的變形量。