[發明專利]探針卡在線調針維修系統及其方法

在審

• 申請號: 201810184425.0
• 申請日: 2018-03-06
• 公開（公告）號: CN110230989A
• 公開（公告）日: 2019-09-13
• 發明（設計）人: 李茂衫;吳松霖;吳振文
• 申請（專利權）人: 均豪精密工業股份有限公司
• 主分類號: G01B11/16
• 分類號: G01B11/16
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識產權代理有限責任公司 11139
• 代理人: 孫皓晨;侯奇慧

1.一種探針卡在線調針維修方法，該探針卡經一預定時間使用，其特征在于，該探針卡在線調針維修方法的步驟包含有：

擷取第一影像信息，一第一影像擷取單元擷取一探針卡的多個探針的一第一影像信息，并將該第一影像信息提供給一控制單元；

擷取第二影像信息，一第二影像擷取單元擷取該多個探針的一第二影像信息，并將該第二影像信息提供給該控制單元；

找出變形量，該控制單元依據該第一影像信息與該第二影像信息，以找出各探針的變形量。

2.如權利要求1所述的探針卡在線調針維修方法，其特征在于，更具有一判斷變形量是否超出一預定數值的步驟，若否，則該控制單元不動作；若是，則該控制單元發出一警示信號，或者至一清潔程序。

3.如權利要求1所述的探針卡在線調針維修方法，其特征在于，該探針卡移動至一影像擷取位置并等待一產品退出該影像擷取位置，該第一影像擷取單元與該第二影像擷取單元移動至該影像擷取位置而各自以不同軸向對該多個探針的針尖擷取該第一影像信息與該第二影像信息；

于該找出變形量的步驟中，該控制單元依據該多個針尖的第一影像信息與該第二影像信息，以找出各探針的變形量。

4.如權利要求1所述的探針卡在線調針維修方法，其特征在于，該第一影像擷取單元與該第二影像擷取單元設于一基座，該控制單元控制該基座以水平方式移動、垂直方式移動或擺動方式轉動，以使該第一影像擷取單元與該第二影像擷取單元移動至該影像擷取位置。

5.如權利要求2所述的探針卡在線調針維修方法，其特征在于，該清潔程序的步驟包含有：

啟動清針，該探針進行一按壓清潔模塊或一檢測電性的步驟，并將該檢測電性的步驟所檢測的結果回饋給該控制單元，以供該控制單元作判斷；該按壓清潔模塊使該多個探針按壓一清潔模塊，以去除該多個探針的沾黏物，或者該多個探針按壓該清潔模塊，以調整該多個探針；該檢測電性為該探針卡移動至一導電模塊，該多個探針接觸該導電模塊，以偵測該多個探針的導電性；提供負壓給該清潔模塊，以使該負壓吸附該沾黏物；

判斷是否導電性正常，若為否，則再執行該按壓清潔模塊的步驟；若為是，該多個探針完成清潔，該探針卡則完成清針動作；若重復多次該按壓清潔模組織步驟，該多個探針仍未達到正常導電性時，該控制單元產生一警示信號，該重復多次的次數為一設定值。

6.如權利要求2或4所述的探針卡在線調針維修方法，其特征在于，該第一影像信息為該多個探針于一第一軸向的影像；該第二影像信息為該多個探針于一第二軸向的影像。

7.一種探針卡在線調針維修系統，該探針卡經一預定時間使用，其特征在于，該探針卡在線調針維修系統包含有：

一控制單元；

一第一影像擷取單元，其信號連接該控制單元；以及

一第二影像擷取單元，其信號連接該控制單元；

其中，該第一影像擷取單元擷取一探針卡的多個探針的一第一影像信息，并將該第一影像信息提供給該控制單元；該第二影像擷取單元擷取該多個探針的一第二影像信息，并將該第二影像信息提供給該控制單元；該控制單元依據該第一影像信息與該第二影像信息，以找出各探針的變形量。

8.如權利要求7所述的探針卡在線調針維修系統，其特征在于，該第一影像擷取單元與該第二影像擷取單元設于一基座，該控制單元控制該基座以水平方式移動、垂直方式移動或擺動方式轉動，以使該第一影像擷取單元與該第二影像擷取單元移動至該影像擷取位置。

9.如權利要求7所述的探針卡在線調針維修系統，其特征在于，該第一影像擷取單元擷取該多個探針的針尖的該第一影像信息；該第二影像擷取單元擷取該多個針尖的該第二影像信息。

10.如權利要求7所述的探針卡在線調針維修系統，其特征在于，更具有一清潔模塊、一負壓模塊與一導電模塊；該負壓模塊耦接該清潔模塊；該導電模塊相鄰于該清潔模塊；該多個探針按壓該清潔模塊，以去除該多個探針的沾黏物；該負壓模塊提供一負壓給該清潔模塊，以吸附該沾黏物；該多個探針接觸該導電模塊，以偵測該多個探針的導電性；該清潔模塊為一多孔性材質；該負壓模塊耦接該多孔性材質的孔；該導電模塊為一導電材質。