[發明專利]液滴排出裝置、液滴排出方法、程序和計算機存儲介質

有效

• 申請號: 201810181769.6
• 申請日: 2018-03-06
• 公開（公告）號: CN108568382B
• 公開（公告）日: 2022-05-06
• 發明（設計）人: 宮崎文宏;宮崎一仁;相良典秀;吉富濟;尾上幸太朗
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: B05C5/02
• 分類號: B05C5/02;B05C11/10;B05C13/02
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

本發明提供液滴排出裝置、液滴排出方法、程序和計算機存儲介質。在向工件排出功能液的液滴來進行描繪的液滴排出裝置中，使從液滴排出頭向工件去的液滴的著液精度提高。液滴排出裝置(1)包括：載置工件(W)的工作臺(40)；向載置于工作臺(40)的工件(W)排出液滴的液滴排出頭(24)；使工作臺(40)在主掃描方向Y軸方向上移動的Y軸直線電動機(13)；檢測托架標記(25)的位置的位置檢測器(72)；和控制部(150)，其計算由位置檢測器(7)檢測的檢測位置和托架標記(25)的基準位置的在主掃描方向的位置偏離量，基于該位置偏離量，對液滴排出頭(24)的液滴的排出時機進行修正。

技術領域

本發明涉及對工件排出功能液的液滴來進行描繪的液滴排出裝置，使用該液滴排出裝置的液滴排出方法、程序和計算機存儲介質。

背景技術

在現有技術中，作為使用功能液對工件進行描繪的裝置，已知將該功能液以液滴來排出的噴射方式的液滴排出裝置。液滴排出裝置廣泛應用在制造例如有機EL裝置、濾波片、液晶顯示裝置、等離子顯示器(PDP裝置)、電子發射裝置(FED裝置、SED裝置)等的電光裝置(平板顯示器：FPD)時等。

例如專利文獻1中記載的液滴排出裝置包括：排出功能液的液滴的功能液滴排出頭(液滴排出頭)；搭載有工件的工作站(工作臺)；和沿導向用的一對支承座延伸的方向(主掃描方向)使工作臺移動的移動機構(直線電動機)。然后，利用工作臺相對液滴排出頭使工件相對地移動，并且從液滴排出頭對在工件上預先形成的隔堤排出功能液，由此進行對工件的描繪。

另外，在液滴排出裝置的描繪動作中，使工件相對液滴排出頭在主掃描方向上往復運動并適當地在與主掃描方向正交的副掃描方向上移動。通過這樣的描繪動作，對工件整面進行描繪。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2010－198028號公報

發明內容

發明想要解決的技術問題

在上述的液滴排出裝置中，在啟動該液滴排出裝置時，對從液滴排出頭排出的液滴在工件著液時的著液位置進行調節。具體而言，使液滴著液在位置調節用的工件，測定該著液位置，計算測定的著液位置與目標位置的位置偏離量。然后，基于該位置偏離量，對例如液滴排出頭的液滴的排出時機進行修正，還對工作臺與液滴排出頭的在主掃描方向和副掃描方向上的相對的移動進行修正。

但是，如此在啟動液滴排出裝置時進行了著液位置的調節后，由于例如液滴排出裝置的部件、例如具有多個液滴排出頭的托架的溫度變化或者隨時間變化等的要因，有時液滴排出頭與工件上的隔堤的位置關系發生變化。在上述情況下，工件上的液滴的著液位置也發生偏移。

另外，近年來，通過液滴排出裝置制造的電視等的產品，大型、高清晰(例如4K、8K)的成為主流，與工件的大型化對應的液滴排出裝置也大型化。因此，成為不能無視由上述的要因導致的液滴排出頭與隔堤的位置偏離即著液位置的位置偏離的情況。但是，由于像素尺寸的影響，該位置偏離的允許范圍也能夠縮小在例如±2μm以下。

因此，在如液滴排出裝置那樣需要進行精密控制的裝置中，要求能夠穩健地對應環境變化的著液位置的位置修正的技術。但是在現有技術中，在這樣的精密臺中，不能適當地修正上述的相對位置。

本發明是鑒于上述問題而作成的，其目的在于在向工件排出功能液的液滴來進行描繪的液滴排出裝置中，使從該液滴排出頭向工件去的液滴的著液精度提高。

用于解決技術問題的技術方案