[發明專利]旋轉器蓋

在審

• 申請號: 201810181692.2
• 申請日: 2018-03-06
• 公開（公告）號: CN108538752A
• 公開（公告）日: 2018-09-14
• 發明（設計）人: 勞拉·郝勒查克;柴塔尼亞·A·普拉薩德;埃姆雷·庫瓦利奇
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;趙靜

1.一種用于熱處理腔室的蓋，包括：

不透明石英環件，所述不透明石英環件包括：

內邊緣，所述內邊緣具有第一厚度；和

外邊緣，所述外邊緣具有大于所述第一厚度的第二厚度。

2.如權利要求1所述的蓋，其中所述不透明石英環件由硅黑石英制成。

3.如權利要求1所述的蓋，其中所述不透明石英環件進一步具有凹形表面，所述凹形表面在所述內邊緣與所述外邊緣之間。

4.如權利要求3所述的蓋，其中所述環件進一步包括內唇，所述內唇從所述凹形表面徑向向內延伸至所述內邊緣。

5.如權利要求3所述的蓋，其中所述凹形表面在所述環件的所述內唇與底部之間。

6.如權利要求1所述的蓋，其中所述環件具有頂表面，并且其中所述環件的所述頂表面成凹形。

7.一種用于處理基板的設備，包括：

腔室主體，所述腔室主體具有界定內部處理區的側壁和底壁；

基板支撐件，所述基板支撐件設置在所述腔室主體的所述內部處理區中；

環支撐件，所述環支撐件從所述側壁向內延伸；和

蓋，所述蓋設置在所述環支撐件上，其中所述蓋包括不透明石英材料。

8.如權利要求7所述的設備，其中所述不透明石英材料是硅黑石英。

9.如權利要求7所述的設備，其中所述蓋具有環形主體和內唇，所述環形主體具有第三厚度，所述內唇具有小于所述第三厚度的第四厚度，其中所述內唇從所述環形主體徑向向內延伸。

10.如權利要求7所述的設備，其中所述蓋具有外部分和內部分，并且其中所述外部分的厚度大于所述內部分的厚度。

11.如權利要求7所述的設備，其中所述內部分的頂部與所述基板支撐件的頂部在同一平面上。

12.如權利要求11所述的設備，其中所述外部分的頂部與所述基板支撐件的頂部在同一平面上。

13.如權利要求7所述的設備，進一步包括間隙，所述間隙在所述蓋與所述基板支撐件之間。

14.一種用于處理基板的設備，包括：

腔室主體，所述腔室主體具有界定內部處理區的側壁和底壁；

基板支撐件，所述基板支撐件設置在所述腔室主體的所述內部處理區中；

環支撐件，所述環支撐件從所述側壁向內延伸；和

蓋，所述蓋設置在所述環支撐件上，其中所述蓋包括外部分和內部分，其中所述外部分的頂部與所述基板支撐件的頂部在同一平面上，并且其中所述內部分的頂部與所述基板支撐件的頂部在不同平面上。

15.如權利要求14所述的設備，其中所述外部分具有與所述內部分大致相同的厚度。

16.如權利要求14所述的設備，其中所述蓋是環件。

17.如權利要求16所述的設備，其中所述環件是不透明石英材料。

18.如權利要求17所述的設備，其中所述不透明石英材料是硅黑石英。

19.如權利要求14所述的設備，其中所述蓋是不透明石英材料。

20.如權利要求19所述的設備，其中所述不透明石英材料是硅黑石英。