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[發(fā)明專利]LED器件外延結(jié)構(gòu)及其制作方法在審

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201810181170.2 申請日: 2018-03-06
公開(公告)號: CN108428773A 公開(公告)日: 2018-08-21
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 沈?qū)W如 申請(專利權(quán))人: 澳洋集團(tuán)有限公司
主分類號: H01L33/14 分類號: H01L33/14;H01L33/06;H01L33/32;H01L33/00
代理公司: 蘇州市港澄專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32304 代理人: 馬麗麗
地址: 215600 江蘇省蘇州市*** 國省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 電子阻擋層 阻擋層 外延結(jié)構(gòu) 漸變 空穴 量子阱有源區(qū) 多量子阱層 極化效應(yīng) 量子阱層 依次疊加 約束能力 未摻雜 襯底 減小 制作 申請
【權(quán)利要求書】:

1.一種LED器件外延結(jié)構(gòu),其特征在于,包括依次形成于襯底上的未摻雜的GaN層、n型摻雜的GaN層、多量子阱層、電子阻擋層和p型摻雜的GaN層,所述電子阻擋層包括依次疊加的第一阻擋層和第二阻擋層,所述第一阻擋層為Al組分自下向上漸變增加的AlxGa1-xN層,0<x≤0.15,所述第二阻擋層為Al0.15Ga0.85N層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的LED器件外延結(jié)構(gòu),其特征在于,所述多量子阱層為InGaN/GaN多量子阱層。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的LED器件外延結(jié)構(gòu),其特征在于,所述多量子阱層由2~10對InGaN層與GaN層依次堆疊組成。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的LED器件外延結(jié)構(gòu),其特征在于,所述多量子阱層中每層InGaN層的厚度為6nm,每層GaN層的厚度為10nm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的LED器件外延結(jié)構(gòu),其特征在于,所述n型摻雜的GaN層和多量子阱層之間設(shè)置有應(yīng)力釋放層。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的LED器件外延結(jié)構(gòu),其特征在于,所述應(yīng)力釋放層為超晶格結(jié)構(gòu),所述應(yīng)力釋放層的每個(gè)周期包括InxGa1-xN層和生長在所述InxGa1-xN層之上的GaN層,0<x<y。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的LED器件外延結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第一阻擋層的厚度為15nm。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的LED器件外延結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第二阻擋層的厚度為5nm。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的LED器件外延結(jié)構(gòu),其特征在于,所述襯底為藍(lán)寶石。

10.權(quán)利要求1至9任一所述的LED器件外延結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于,包括:

(1)、提供藍(lán)寶石襯底;

(2)、采用MOCVD設(shè)備,在500℃的溫度下,在藍(lán)寶石襯底上依次生長未摻雜的GaN層和n型摻雜的GaN層;

(3)、在溫度為700℃~800℃生長InGaN/GaN多量子阱層,周期數(shù)為2~10;

(4)、在溫度700℃~900℃,生長電子阻擋層;

(5)、在溫度1000℃,生長p型摻雜的GaN層。

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說明:

1、專利原文基于中國國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計(jì)專利(升級中);

3、專利數(shù)據(jù)每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內(nèi)容包括專利技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖流程工藝圖技術(shù)構(gòu)造圖

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