[發(fā)明專利]標(biāo)注裝置、缺陷檢查系統(tǒng)以及膜制造方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810170417.0
• 申請日: 2018-02-28
• 公開（公告）號: CN108535275A
• 公開（公告）日: 2018-09-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 井村圭太;越野哲史
• 申請（專利權(quán)）人: 住友化學(xué)株式會社
• 主分類號: G01N21/896
• 分類號: G01N21/896
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 劉文海

1.一種標(biāo)注裝置，其能夠通過對光學(xué)膜射出液滴而標(biāo)注信息，其中，

所述標(biāo)注裝置具備：

液滴射出裝置，其具有形成有向所述光學(xué)膜射出所述液滴的射出孔的射出面；以及

遮擋構(gòu)件，其設(shè)置于所述射出面，且能夠遮擋從所述射出孔射出所述液滴時飛濺的飛沫，

在所述遮擋構(gòu)件形成有開口部，該開口部在與所述射出孔對置的位置開口，并且具有遮擋向與所述射出面的法線交叉的方向飛濺的所述飛沫的內(nèi)壁面。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的標(biāo)注裝置，其中，

所述遮擋構(gòu)件具備在與所述射出面的法線平行的方向上具有厚度的遮擋板。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的標(biāo)注裝置，其中，

所述標(biāo)注裝置還具備能夠?qū)⑺稣趽醢骞潭ㄓ谒鲆旱紊涑鲅b置的固定構(gòu)件。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的標(biāo)注裝置，其中，

所述固定構(gòu)件具備：第一壁部，其覆蓋所述液滴射出裝置以及所述遮擋板雙方中的沿與所述射出面的法線交叉的方向配置的側(cè)端部；以及第二壁部，其覆蓋所述遮擋板的與所述射出面相反的一側(cè)的面中的所述開口部的外周的外緣部。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的標(biāo)注裝置，其中，

所述固定構(gòu)件與所述遮擋板一體地形成，并且所述固定構(gòu)件具備側(cè)壁部，該側(cè)壁部覆蓋所述液滴射出裝置中的沿與所述射出面的法線交叉的方向配置的側(cè)端部。

6.根據(jù)權(quán)利要求3至5中任一項(xiàng)所述的標(biāo)注裝置，其中，

所述液滴射出裝置具備能夠射出所述液滴的多個射出頭，

所述遮擋板針對所述多個射出頭而設(shè)置有多個，

所述固定構(gòu)件以能夠?qū)⑺稣趽醢骞潭ㄓ谒龆鄠€射出頭的各個所述射出頭的方式設(shè)置有多個。

7.根據(jù)權(quán)利要求2至6中任一項(xiàng)所述的標(biāo)注裝置，其中，

所述遮擋板與所述射出面抵接。

8.根據(jù)權(quán)利要求2至6中任一項(xiàng)所述的標(biāo)注裝置，其中，

所述遮擋板與所述射出面分離。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的標(biāo)注裝置，其中，

所述開口部的直徑大于所述射出孔的直徑。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的標(biāo)注裝置，其中，

所述遮擋構(gòu)件具備沿與所述射出面的法線平行的方向延伸的筒構(gòu)件。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的標(biāo)注裝置，其中，

所述筒構(gòu)件的內(nèi)徑大于所述射出孔的直徑。

12.根據(jù)權(quán)利要求1至11中任一項(xiàng)所述的標(biāo)注裝置，其中，

在所述開口部中的所述射出面?zhèn)鹊木壊啃纬捎绣F部，該錐部具有以面向所述射出孔的方式相對于所述射出面的法線傾斜的傾斜面。

13.根據(jù)權(quán)利要求1至12中任一項(xiàng)所述的標(biāo)注裝置，其中，

所述液滴射出裝置配置為，在搬運(yùn)長條帶狀的所述光學(xué)膜的期間，隔著所述光學(xué)膜而與同所述光學(xué)膜接觸的引導(dǎo)輥對置，且從所述光學(xué)膜的與同所述引導(dǎo)輥接觸的位置相反的一側(cè)射出所述液滴。

14.一種缺陷檢查系統(tǒng)，其具備：

搬運(yùn)線，其搬運(yùn)長條帶狀的膜；

缺陷檢查裝置，其進(jìn)行由所述搬運(yùn)線搬運(yùn)的膜的缺陷檢查；以及

權(quán)利要求1至13中任一項(xiàng)所述的標(biāo)注裝置，其能夠通過根據(jù)所述缺陷檢查的結(jié)果向缺陷的位置射出液滴而標(biāo)注信息。

15.一種膜制造方法，包括使用權(quán)利要求14所述的缺陷檢查系統(tǒng)來進(jìn)行標(biāo)注的工序。