[發明專利]光罩遮擋門及光罩儲存裝置

有效

• 申請號: 201810167806.8
• 申請日: 2018-02-28
• 公開（公告）號: CN108374626B
• 公開（公告）日: 2019-08-20
• 發明（設計）人: 諶騰
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: E06B5/00
• 分類號: E06B5/00;E06B3/46;E06B3/70;A47B81/00
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強

本發明提供一種光罩遮擋門，包括第一遮板和第二遮板，第一遮板和第二遮板設置于光罩柜開口的一側側面，用于遮擋光罩柜中的相鄰的第一光罩和第二光罩的存放位置，從光罩柜中取出第一光罩的方向為第一方向，在第一方向上，第一遮板和第二遮板包括至少部分重合的區域，且第一遮板和第二遮板沿光罩柜開口的側面交錯布置，第一遮板和第二遮板滑動連接，當需要存取第一光罩時，第一遮板向第二遮板的方向移動，當需要存取第二光罩時，第二遮板向第一遮板的方向移動。通過上述設置，使得光罩遮擋門可以打開局部的第一遮板或第二遮板，減小了光罩柜暴露于周圍環境中的空間，降低了灰塵顆粒物進入光罩柜內沉積的風險。本發明還提供了一種光罩儲存裝置。

技術領域

本發明屬于光罩儲存技術領域，尤其涉及一種光罩遮擋門及光罩儲存裝置。

背景技術

光罩柜是用于儲存光罩的裝置，光罩在光罩柜中分多層布置，現有的光罩柜為一側面開口敞亮直接裸露于周圍環境中，長期的放置會造成灰塵顆粒物沉積在光罩表面，造成光罩臟污甚至老化損壞，另外，光罩柜內也會堆積大量的灰塵顆粒物，會間接污染儲存的光罩。

現有的處理灰塵顆粒物的方法為增加一道清洗工序，然而光罩柜內存在死角，很難清洗干凈，而光罩表面的灰塵顆粒物在清洗過程中也極易劃傷光罩，影響光罩的良率。

發明內容

本發明的目的是提供一種光罩遮擋門，能減小了光罩柜暴露于周圍環境中的空間，降低了灰塵顆粒物進入光罩柜內沉積的風險。

為實現本發明的目的，本發明提供了如下的技術方案：

第一方面，本發明提供一種光罩遮擋門，包括第一遮板和第二遮板，所述第一遮板和所述第二遮板設置于光罩柜開口的一側側面，用于遮擋所述光罩柜中的相鄰的第一光罩和第二光罩的存放位置，從所述光罩柜中取出所述第一光罩的方向為第一方向，在所述第一方向上，所述第一遮板和所述第二遮板包括至少部分重合的區域，且所述第一遮板和所述第二遮板沿所述光罩柜開口的側面交錯布置，所述第一遮板和所述第二遮板滑動連接，當需要存取所述第一光罩時，所述第一遮板向所述第二遮板的方向移動，當需要存取所述第二光罩時，所述第二遮板向所述第一遮板的方向移動。

在第一方面的第一種可能的實現方式中，所述第一遮板和所述第二遮板包括多塊，在所述第一方向上，相鄰的所述第一遮板和所述第二遮板包括至少部分重合的區域，且相鄰的所述第一遮板和所述第二遮板沿所述光罩柜開口的側面交錯布置，多塊所述第一遮板在同一平面內，多塊所述第二遮板在同一平面內，所述光罩柜開口的側面包括殼體，多塊所述第一遮板和所述第二遮板與所述殼體緊貼，以封閉所述光罩柜內的空間，一塊所述第一遮板與相鄰的兩塊所述第二遮板滑動連接，一塊所述第二遮板與相鄰的兩塊所述第一遮板滑動連接。

在第一方面的第二種可能的實現方式中，還包括第一立板和第二立板，所述第一遮板和所述第二遮板同側的端部分別設置有第一支撐塊和第二支撐塊，所述第一支撐塊和所述第二支撐塊分別與所述第一立板滑動連接，所述第一遮板和所述第二遮板同側的另一端端部與所述第二立板滑動連接，所述第一立板和所述第二立板用于支撐所述第一遮板和所述第二遮板。

結合第一方面及第一方面的第二種可能的實現方式，在第一方面的第三種可能的實現方式中，還包括驅動機構，所述驅動機構包括第一驅動件、升降軸、第二驅動件和伸縮件，所述升降軸與所述第一驅動件連接，所述伸縮件設置于所述升降軸上，所述第二驅動件與所述伸縮件連接，所述升降軸在所述第一驅動件的驅動作用下在所述第一遮板的移動方向上作升降運動，所述伸縮件在所述第二驅動件的作用下伸出，用于與所述第一支撐塊或所述第二支撐塊連接，以帶動所述第一遮板或所述第二遮板移動。

結合第一方面及第一方面的第三種可能的實現方式，在第一方面的第四種可能的實現方式中，所述伸縮件包括固定桿和伸縮桿，所述固定桿固定在所述升降軸上并與所述第二驅動件連接，所述伸縮桿與所述固定桿為插銷式連接，所述伸縮桿相對所述固定桿向遠離所述第二驅動件的方向伸出。