[發明專利]光罩遮擋門及光罩儲存裝置

有效

• 申請號: 201810167806.8
• 申請日: 2018-02-28
• 公開（公告）號: CN108374626B
• 公開（公告）日: 2019-08-20
• 發明（設計）人: 諶騰
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: E06B5/00
• 分類號: E06B5/00;E06B3/46;E06B3/70;A47B81/00
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強

1.一種光罩遮擋門，其特征在于，包括第一遮板和第二遮板，所述第一遮板和所述第二遮板設置于光罩柜開口的一側側面，用于遮擋所述光罩柜中的相鄰的第一光罩和第二光罩的存放位置，從所述光罩柜中取出所述第一光罩的方向為第一方向，在所述第一方向上，所述第一遮板和所述第二遮板包括至少部分重合的區域，且所述第一遮板和所述第二遮板沿所述光罩柜開口的側面交錯布置，所述第一遮板和所述第二遮板滑動連接，當需要存取所述第一光罩時，所述第一遮板向所述第二遮板的方向移動，當需要存取所述第二光罩時，所述第二遮板向所述第一遮板的方向移動；

還包括驅動機構，所述驅動機構包括第一驅動件、升降軸、第二驅動件和伸縮件，所述升降軸與所述第一驅動件連接，所述伸縮件設置于所述升降軸上，所述第二驅動件與所述伸縮件連接，所述升降軸在所述第一驅動件的驅動作用下在所述第一遮板的移動方向上作升降運動，所述伸縮件在所述第二驅動件的作用下伸出，用于與所述第一遮板或所述第二遮板連接，以帶動所述第一遮板或所述第二遮板移動。

2.如權利要求1所述的光罩遮擋門，其特征在于，所述第一遮板和所述第二遮板包括多塊，在所述第一方向上，相鄰的所述第一遮板和所述第二遮板包括至少部分重合的區域，且相鄰的所述第一遮板和所述第二遮板沿所述光罩柜開口的側面交錯布置，多塊所述第一遮板在同一平面內，多塊所述第二遮板在同一平面內，所述光罩柜開口的側面包括殼體，多塊所述第一遮板和所述第二遮板與所述殼體緊貼，以封閉所述光罩柜內的空間，一塊所述第一遮板與相鄰的兩塊所述第二遮板滑動連接，一塊所述第二遮板與相鄰的兩塊所述第一遮板滑動連接。

3.如權利要求1所述的光罩遮擋門，其特征在于，還包括第一立板和第二立板，所述第一遮板和所述第二遮板同側的端部分別設置有第一支撐塊和第二支撐塊，所述第一支撐塊和所述第二支撐塊分別與所述第一立板滑動連接，所述第一遮板和所述第二遮板同側的另一端端部與所述第二立板滑動連接，所述第一立板和所述第二立板用于支撐所述第一遮板和所述第二遮板。

4.如權利要求3所述的光罩遮擋門，其特征在于，所述伸縮件在所述第二驅動件的作用下伸出，用于與所述第一支撐塊或所述第二支撐塊連接，以帶動所述第一遮板或所述第二遮板移動。

5.如權利要求4所述的光罩遮擋門，其特征在于，所述伸縮件包括固定桿和伸縮桿，所述固定桿固定在所述升降軸上并與所述第二驅動件連接，所述伸縮桿與所述固定桿為插銷式連接，所述伸縮桿相對所述固定桿向遠離所述第二驅動件的方向伸出。

6.如權利要求5所述的光罩遮擋門，其特征在于，所述固定桿設有內部中空的第一軌道，所述伸縮桿設有與所述第一軌道對應的伸縮軸，所述伸縮軸與所述第一軌道滑動連接；或所述伸縮桿設有內部中空的第二軌道，所述固定桿設有與所述第二軌道對應的固定軸，所述固定軸與所述第二軌道滑動連接。

7.如權利要求4所述的光罩遮擋門，其特征在于，還包括控制件和傳感器，所述傳感器設置于所述第一立板上，所述傳感器包括多個發射端和多個接收端，多個所述發射端與多個所述接收端與所述控制件電連接，其中所述接收端包括與所述第一支撐塊平齊的第一接收端，所述發射端包括與所述第一接收端對應的第一發射端，所述第一驅動件和所述第二驅動件與所述控制件電連接，當需要存取所述第一光罩時，所述控制件控制所述第一發射端發射信號至所述第一接收端，同時所述控制件控制所述第一驅動件和所述第二驅動件運行以使所述伸縮件移動至與所述第一接收端平齊的位置，并與所述第一支撐塊連接，以帶動所述第一遮板移動。

8.如權利要求7所述的光罩遮擋門，其特征在于，所述多個發射端間隔設置，所述多個接收端間隔設置，且每個發射端分別與一個接收端對應設置。

9.一種光罩儲存裝置，其特征在于，包括光罩柜和如權利要求1至8中任一所述的光罩遮擋門，所述光罩柜一側面開口，所述光罩遮擋門設置于所述光罩柜的開口的側面。

10.如權利要求9所述的光罩儲存裝置，其特征在于，所述光罩柜內相對的兩側面的內壁上設有突出的多個基座，所述基座上設有用于支撐光罩的支撐針，至少一個所述基座上設有感應傳感器，所述光罩遮擋門包括控制件，所述感應傳感器與所述控制件電連接，所述感應傳感器用于檢測是否有所述光罩存放在所述支撐針上，并將所述光罩的存放情況轉換為電信號傳遞至所述控制件，以使所述控制件判斷是否控制與所述光罩對應的所述光罩遮擋門的遮板移動。