[發明專利]薄膜晶體管、陣列基板、顯示面板及其制備方法、終端

有效

• 申請號: 201810164121.8
• 申請日: 2018-02-27
• 公開（公告）號: CN108365013B
• 公開（公告）日: 2021-03-02
• 發明（設計）人: 虞曉江
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: H01L29/786
• 分類號: H01L29/786;H01L21/336;H01L27/12
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強

本發明提供一種薄膜晶體管，所述薄膜晶體管包括基板、位于所述基板上的有源層和柵極以及設于所述柵極和所述有源層之間的柵極絕緣層，其中，所述柵極的周緣設有朝向所述有源層突出的尖角部。本發明還提供一種陣列基板、顯示面板和終端，包括上述薄膜晶體管。本發明所述陣列基板和所述顯示面板利用柵極的尖角部與有源層之間產生的靜電擊穿來形成靜電釋放，從而保護邊緣區域內的線路和元器件免受靜電擊傷。本發明還提供一種顯示面板的制備方法，用于制備上述顯示面板。

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，特別涉及一種薄膜晶體管、陣列基板、顯示面板及其制備方法、終端。

背景技術

低溫多晶硅(Low Temperature Poly-Silicon，LIPS)面板因其高遷移率、高分辨率、結構簡單以及高穩定性的特點，被廣泛研究用于開發照明產品以及面板行業中。其中，Iphone 7手機、LG G5手機以及Kindle Fire Hdx平板電腦等現有電子產品均使用LTPS面板。

然而，由于LTPS制造過程復雜，制造過程易受靜電(ESD，Electro-Staticdischarge)的影響，靜電的存在會使顯示面板產生故障乃至損壞，嚴重影響顯示面板的壽命，因此增強LTPS面板的抗靜電能力至關重要。

發明內容

本發明的目的在于提供一種薄膜晶體管，用于制備顯示面板，防止顯示面板受靜電擊傷，提升顯示面板良率，降低制造成本。

本發明還提供一種陣列基板、顯示面板、終端和顯示面板的制備方法。

本發明所述薄膜晶體管包括基板、位于所述基板上的有源層和柵極以及設于所述柵極和所述有源層之間的柵極絕緣層，其中，所述柵極的周緣設有朝向所述有源層突出的尖角部。

其中，所述有源層朝向所述柵極的表面包括第一區域和朝向所述柵極凸出所述第一區域的第二區域，所述尖角部對應于所述第一區域和所述第二區域的連接處。

其中，所述基板包括襯底基板和位于所述襯底基板上的遮光層，所述遮光層與所述第二區域相對應。

其中，所述柵極絕緣層背離所述有源層的表面包括第三區域和朝向所述柵極凸出所述第三區域的第四區域，所述第四區域與所述第二區域相對應，所述第三區域與所述第一區域相對應。

其中，所述基板包括覆蓋所述襯底基板和所述遮光層的緩沖絕緣層，所述緩沖絕緣層背離所述遮光層的表面包括第五區域和背離所述遮光層凸出所述第五區域的第六區域，所述第六區域與所述遮光層相對應。

其中，所述柵極絕緣層的厚度在100nm以下。

本發明所述陣列基板包括上述薄膜晶體管。

本發明所述顯示面板包括上述陣列基板。

本發明所述終端包括上述顯示面板。

本發明所述顯示面板的制備方法，用于制備上述顯示面板，包括：

提供一基板；

在所述基板上形成有源層；

在所述有源層上形成柵極絕緣層；

在所述柵極絕緣層上形成柵極，其中，所述柵極的周緣設有朝向所述有源層突出的尖角部。

本發明所述薄膜晶體管位于所述顯示面板的顯示區域的外圍和顯示區域外，所述薄膜晶體管包括具有多個尖角部的柵極，所述尖角部在遭遇靜電時如避雷針一般易引起尖端放電，且遮光層的特定圖形設計，使得有源層形成高低起伏，所述有源層與所述尖角部之間形成下坡角，由于極薄的柵極絕緣層以及下坡角的共同作用，柵極與有源層之間極易被靜電擊穿而形成靜電釋放，從而保護了顯示面板邊緣區域內的正常線路和元器件免受靜電干擾。

附圖說明