[發(fā)明專利]壓電器件、MEMS器件、液體噴射頭以及液體噴射裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810159607.2
• 申請(qǐng)日: 2018-02-26
• 公開（公告）號(hào): CN108656748B
• 公開（公告）日: 2020-03-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 塚原克智;平井榮樹;高部本規(guī);山田大介;松本泰幸;田中秀一
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 精工愛普生株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B41J2/14
• 分類號(hào): B41J2/14;H01L41/047
• 代理公司: 北京金信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11225
• 代理人: 蘇萌萌;權(quán)太白

本發(fā)明提供一種在抑制大型化的同時(shí)抑制了對(duì)置的配線間的短路的壓電器件、MEMS器件、液體噴射頭以及液體噴出裝置。壓電器件(致動(dòng)器單元14)具有：第一基板(壓力室形成基板29、振動(dòng)板31)，其具備壓電體層(38)以及至少一部分層壓在壓電體層(38)上的第一配線(上電極層39)；以及第二基板(密封板33)，其具備被施加與第一配線(上電極層39)不同的電信號(hào)的第二配線(下表面?zhèn)扰渚€47)，第一配線(上電極層39)與第二配線(下表面?zhèn)扰渚€47)以隔開間隔的方式對(duì)置，所述壓電器件(致動(dòng)器單元14)的特征在于，第一配線(上電極層39)和第二配線(下表面?zhèn)扰渚€47)中的至少一方的配線中的至少一部分被具有絕緣性的保護(hù)層(55)覆蓋。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種具備第一基板和第二基板且被形成在各個(gè)基板上的配線被對(duì)置配置的壓電器件、MEMS器件、液體噴射頭以及液體噴射裝置。

背景技術(shù)

具備壓電器件的MEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微機(jī)電系統(tǒng))器件被應(yīng)用在各種裝置中，其中，所述壓電器件具有壓電元件。例如，作為MEMS器件的一種的液體噴射頭，通過使所述壓電元件發(fā)生變形而使壓力室內(nèi)的液體隨著該變形而產(chǎn)生壓力變動(dòng)，從而從噴嘴噴射出(噴出)液滴。此外，作為搭載有這樣的液體噴射頭的液體噴射裝置，除了以噴墨式打印機(jī)或噴墨式繪圖儀等為代表的圖像記錄裝置之外，還被應(yīng)用在各種制造裝置中。例如，被應(yīng)用在對(duì)液晶顯示器等的濾色器進(jìn)行制造的顯示器制造裝置、形成有機(jī)EL(Electro Luminescence：電致發(fā)光)顯示器或FED(面發(fā)光顯示器)等的電極的電極形成裝置、制造生物芯片(生物化學(xué)元件)的芯片制造裝置中。并且，通過圖像記錄裝置用的記錄頭而噴射液狀的油墨，并通過顯示器制造裝置用的顏色材料噴射頭而噴射R(Red，紅色)、G(Green，綠色)、B(Blue，藍(lán)色)的各個(gè)顏色材料的溶液。此外，通過電極形成裝置用的電極材噴射頭而噴射液狀的電極材料，并通過生物芯片制造裝置用的生物體有機(jī)物噴射頭而噴射生物體有機(jī)物的溶液。

此外，作為液體噴射頭，具有如下的噴射頭，即，具備形成有壓電元件及從壓電元件起而延伸的配線(例如，獨(dú)立電極)的一個(gè)基板(例如，液室基板)和以相對(duì)于該基板而空開間隔的方式配置的另一個(gè)基板(例如，驅(qū)動(dòng)元件)，并且使一個(gè)基板的配線與另一個(gè)基板的端子連接(例如，參照專利文獻(xiàn)1)的噴射頭。此外，近年來(lái)，開發(fā)出了在另一個(gè)基板的一個(gè)基板側(cè)的面上形成各種配線的噴射頭。

在如上文所述那樣的一個(gè)基板以及另一個(gè)基板這雙方上均形成有配線的結(jié)構(gòu)中，存在如下的情況，即，一個(gè)基板的配線與另一個(gè)基板的配線對(duì)置，并向兩個(gè)配線施加不同的電信號(hào)。在這種情況下，當(dāng)形成有專利文獻(xiàn)1所公開的那種露出于相對(duì)置的基板側(cè)的配線時(shí)，有可能會(huì)在一個(gè)基板的配線與另一個(gè)基板的配線之間放電從而導(dǎo)致兩者發(fā)生短路(short)。雖然為了對(duì)相對(duì)置的配線間的短路進(jìn)行抑制而考慮到擴(kuò)大一個(gè)基板與另一個(gè)基板的間隔，但是在該情況下會(huì)使液體噴射頭大型化。此外，雖然也考慮到以使一個(gè)基板的配線與另一個(gè)基板的配線不對(duì)置的方式而對(duì)配線進(jìn)行布局，但是設(shè)計(jì)的自由度受到限制，從而在該情況下也有可能導(dǎo)致液體噴射頭大型化。

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2012-171149號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是鑒于這種情況而完成的發(fā)明，其目的在于提供一種在抑制大型化的同時(shí)抑制了相對(duì)置的配線之間的短路的壓電器件、MEMS器件、液體噴射頭以及液體噴射裝置。

本發(fā)明的壓電器件是為了達(dá)成上述目的而提出的，本發(fā)明的壓電器件具有：第一基板，其具備壓電體層以及至少一部分層壓在所述壓電體層上的第一配線；以及第二基板，其具備被施加與所述第一配線不同的電信號(hào)的第二配線，并且，所述第一配線與所述第二配線對(duì)置，所述壓電器件的特征在于，所述第一配線和所述第二配線中的至少一方的配線中的至少一部分被具有絕緣性的保護(hù)層覆蓋。