[發(fā)明專利]壓電器件、MEMS器件、液體噴射頭以及液體噴射裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810159607.2
• 申請(qǐng)日: 2018-02-26
• 公開（公告）號(hào): CN108656748B
• 公開（公告）日: 2020-03-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 塚原克智;平井榮樹;高部本規(guī);山田大介;松本泰幸;田中秀一
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 精工愛普生株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B41J2/14
• 分類號(hào): B41J2/14;H01L41/047
• 代理公司: 北京金信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11225
• 代理人: 蘇萌萌;權(quán)太白

1.一種壓電器件，其特征在于，具有：

第一基板，其具備壓電體層以及至少一部分層壓在所述壓電體層上的第一配線；以及

第二基板，其具備被施加與所述第一配線不同的電信號(hào)的第二配線，

并且，所述第一配線與所述第二配線對(duì)置，

在所述壓電器件中，

所述第一配線和所述第二配線中的至少一方的配線中的至少一部分被具有絕緣性的保護(hù)層覆蓋，

所述第一基板和所述第二基板經(jīng)由粘接劑而被接合在一起，

所述粘接劑緊貼在所述保護(hù)層的表面。

2.如權(quán)利要求1所述的壓電器件，其特征在于，

所述保護(hù)層由氧化物、氮化物或者樹脂中的任意一種而形成。

3.如權(quán)利要求2所述的壓電器件，其特征在于，

所述保護(hù)層由與所述粘接劑相同種類的樹脂而形成。

4.如權(quán)利要求1至權(quán)利要求3中的任意一項(xiàng)所述的壓電器件，其特征在于，

在至少向所述第一配線或所述第二配線中的任意一方進(jìn)行的電壓施加中，所述第一配線與所述第二配線之間的最大電位差為10V以上。

5.如權(quán)利要求1至權(quán)利要求3中的任意一項(xiàng)所述的壓電器件，其特征在于，

在至少向所述第一配線或所述第二配線中的任意一方進(jìn)行的電壓施加中，被形成在所述第一配線與所述第二配線之間的最大電場(chǎng)強(qiáng)度為1MV/m以上。

6.如權(quán)利要求1至權(quán)利要求3中的任意一項(xiàng)所述的壓電器件，其特征在于，

所述第一配線的端或所述第二配線中的與所述第一配線的端對(duì)置的部分中的至少任意一方被所述保護(hù)層覆蓋。

7.如權(quán)利要求1至權(quán)利要求3中的任意一項(xiàng)所述的壓電器件，其特征在于，

所述第一基板具備被層壓在所述第一配線上的第三配線，

所述第三配線的端或所述第二配線中的與所述第三配線的端對(duì)置的部分中的至少任意一方被所述保護(hù)層覆蓋。

8.一種微機(jī)電系統(tǒng)器件，其特征在于，具備權(quán)利要求1至權(quán)利要求7中的任意一項(xiàng)所述的壓電器件。

9.一種液體噴射頭，其特征在于，具備權(quán)利要求1至權(quán)利要求7中的任意一項(xiàng)所述的壓電器件。

10.一種液體噴射裝置，其特征在于，具備權(quán)利要求9所述的液體噴射頭。