[發明專利]波長可變干涉濾波器及光學模塊

有效

• 申請號: 201810156107.3
• 申請日: 2018-02-23
• 公開（公告）號: CN108508592B
• 公開（公告）日: 2022-01-14
• 發明（設計）人: 佐野朗
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G02B26/00
• 分類號: G02B26/00;G02B5/28
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 張永明;玉昌峰

本發明涉及波長可變干涉濾波器及光學模塊。波長可變干涉濾波器的特征在于，包括：第一基板，設置有第一反射膜；以及第二基板，具備可動部和保持部，與所述第一反射膜相對的第二反射膜設置于可動部，保持部包圍所述可動部的外周，并將所述可動部保持為能夠在所述第二反射膜的厚度方向上位移，所述可動部在俯視觀察時具有長邊及短邊，所述保持部包括沿所述長邊設置的長邊側保持部和沿所述短邊設置的短邊側保持部，所述短邊側保持部的剛度低于所述長邊側保持部的剛度。

技術領域

本發明涉及波長可變干涉濾波器及光學模塊。

背景技術

目前，已知具有一對反射膜的波長可變干涉濾波器(例如，參照專利文獻1)。

在這種波長可變干涉濾波器中，在設置一方的反射膜的基板上設置有：可動部，設置有反射膜；以及保持部，包圍可動部的外周，并以使可動部能夠位移的方式保持可動部。此外，通過可動部進行位移，一對反射膜間的間隙量變化，由此，透過的光的波長變化。

專利文獻1：日本特開2010-139552號公報

但是，波長可變干涉濾波器例如與接收透過波長可變干涉濾波器的光的受光傳感器等組合使用。因此，在受光傳感器的受光面是長方形或正方形的情況下，與此相應，有時也要使反射膜及可動部的平面形狀為長方形、正方形。但是，在可動部是長方形、正方形的情況下，存在如下問題。

為了不使反射膜撓曲，有必要使可動部在不撓曲的情況下進行位移。

但是，對平板施加厚度方向的力時的撓曲形狀在從該厚度方向觀察的俯視觀察時，與中心部分的距離越長的位置位移量越小，因此，如果將位移量的差的大小作為撓曲量的大小，則在可動部是長方形狀、且保持部的剛度均勻的情況下，可動部的長邊方向的撓曲量大于短邊方向的撓曲量。因此，在反射膜的面內間隙量變得不均勻。

此外，在可動部是長方形、正方形的情況下，保持部中與可動部的角部相接的部分比其它部分更難撓曲。因此，在可動部進行位移時，可動部的角部被保持部拉拽，存在可動部容易撓曲的問題。

進而，在如上所述地可動部發生撓曲時，反射膜也撓曲，從波長可變干涉濾波器輸出的光的波長在反射膜的面內出現偏差，存在波長可變干涉濾波器的精度下降的問題。

發明內容

本發明的目的在于，提供能夠抑制因可動部撓曲而導致波長可變干涉濾波器的精度下降的波長可變干涉濾波器及光學模塊。

本發明的一應用例所涉及的波長可變干涉濾波器，其特征在于，包括：第一基板，設置有第一反射膜；以及第二基板，具備可動部和保持部，與所述第一反射膜相對的第二反射膜設置于所述可動部，所述保持部包圍所述可動部的外周，并保持所述可動部，所述可動部在俯視觀察時具有長邊和短邊，所述保持部包括沿所述長邊設置的長邊側保持部和沿所述短邊設置的短邊側保持部，所述短邊側保持部的剛度低于所述長邊側保持部的剛度。

在本應用例中，短邊側保持部的剛度低于長邊側保持部的剛度。根據該結構，相比短邊側保持部的剛度與長邊側保持部的剛度相同的情況，在可動部進行位移時，短邊側保持部容易撓曲，短邊側保持部拉拽可動部的力變弱。因此，能夠減輕可動部的長邊方向的撓曲。因此，設于可動部的第二反射膜的撓曲也被抑制，能夠抑制輸出波長在面內出現偏差，能夠使波長可變干涉濾波器變得高精度。

在本應用例所涉及的波長可變干涉濾波器中，優選地，所述長邊側保持部構成為，在沿所述長邊的方向上隨著與所述可動部的中心的距離變長而剛度變低。所述長邊側保持部其特征在于，在沿所述長邊的方向上隨著與通過所述可動部的中心的所述長邊的垂線的距離變長而剛度變低。