[發明專利]波長可變干涉濾波器及光學模塊

有效

• 申請號: 201810156107.3
• 申請日: 2018-02-23
• 公開（公告）號: CN108508592B
• 公開（公告）日: 2022-01-14
• 發明（設計）人: 佐野朗
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G02B26/00
• 分類號: G02B26/00;G02B5/28
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 張永明;玉昌峰

1.一種波長可變干涉濾波器，其特征在于，包括：

第一基板，設置有第一反射膜；以及

第二基板，所述第二基板具備可動部和保持部，與所述第一反射膜相對的第二反射膜設置于所述可動部，所述保持部包圍所述可動部的外周，并保持所述可動部，

所述可動部在俯視觀察時具有長邊和短邊，

所述保持部包括沿所述長邊設置的長邊側保持部和沿所述短邊設置的短邊側保持部，

所述短邊側保持部的剛度低于所述長邊側保持部的剛度，

所述保持部還包括角保持部，在所述俯視觀察時，所述角保持部配置于所述長邊側保持部與所述短邊側保持部之間，

所述角保持部的剛度低于所述長邊側保持部及所述短邊側保持部的剛度，

所述保持部還包括從所述角保持部的外周緣的局部突出的突出保持部。

2.根據權利要求1所述的波長可變干涉濾波器，其特征在于，

所述長邊側保持部在沿所述長邊的方向上隨著與通過所述可動部的中心的所述長邊的垂線的距離變長而剛度變低。

3.根據權利要求1所述的波長可變干涉濾波器，其特征在于，

所述長邊側保持部在沿所述可動部的長軸的方向上隨著與通過所述可動部的中心的所述長軸的垂線的距離變長而剛度變低。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的波長可變干涉濾波器，其特征在于，

所述短邊側保持部在沿所述短邊的方向上隨著與通過所述可動部的中心的所述短邊的垂線的距離變長而剛度變低。

5.根據權利要求1所述的波長可變干涉濾波器，其特征在于，

所述短邊側保持部在沿所述可動部的短軸的方向上隨著與通過所述可動部的中心的所述短軸的垂線的距離變長而剛度變低。

6.根據權利要求1所述的波長可變干涉濾波器，其特征在于，

在所述俯視觀察時，所述角保持部配置于由沿所述長邊的一對線和沿所述短邊的一對線包圍的區域，所述沿所述長邊的一對線分別與所述長邊側保持部的在所述可動部一側的外周緣和所述長邊側保持部的與所述可動部相反一側的外周緣相接，所述沿所述短邊的一對線分別與所述短邊側保持部的在所述可動部一側的外周緣和所述短邊側保持部的與所述可動部相反一側的外周緣相接。

7.根據權利要求1所述的波長可變干涉濾波器，其特征在于，

所述短邊側保持部的厚度小于所述長邊側保持部的厚度。

8.根據權利要求1所述的波長可變干涉濾波器，其特征在于，

所述短邊側保持部在沿所述長邊的方向上的長度大于所述長邊側保持部在沿所述短邊的方向上的長度。

9.根據權利要求1所述的波長可變干涉濾波器，其特征在于，

在所述保持部中形成有多個孔，

所述短邊側保持部中每單位面積的所述孔的開口面積大于所述長邊側保持部中每單位面積的所述孔的開口面積。

10.一種波長可變干涉濾波器，其特征在于，具備：

第一基板，設置有第一反射膜；以及

第二基板，所述第二基板具備可動部和保持部，與所述第一反射膜相對的第二反射膜設置于所述可動部，所述保持部包圍所述可動部的外周，并保持所述可動部，

所述可動部在俯視觀察時具有沿第一方向的第一邊以及沿與所述第一方向交叉的第二方向的第二邊，

所述保持部包括：

第一保持部，沿所述第一邊而設置；

第二保持部，沿所述第二邊而設置；

角保持部，在所述俯視觀察時，由沿所述第一方向的一對線和沿所述第二方向的一對線包圍，所述沿所述第一方向的一對線分別與所述第一保持部的在所述可動部一側的外周緣和所述第一保持部的與所述可動部相反一側的外周緣相接，所述沿所述第二方向的一對線分別與所述第二保持部的在所述可動部一側的外周緣和所述第二保持部的與所述可動部相反一側的外周緣相接；以及

突出保持部，從所述角保持部的外周緣的局部突出。