[發(fā)明專利]激光加工裝置及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810153534.6
• 申請日: 2018-02-22
• 公開（公告）號: CN108500464B
• 公開（公告）日: 2022-04-05
• 發(fā)明（設計）人: 嚴泰駿;金鍾明;樸宰顯;白種化
• 申請（專利權）人: AP系統(tǒng)股份有限公司
• 主分類號: B23K26/36
• 分類號: B23K26/36;B23K26/142
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 馬爽;臧建明

提供一種激光加工裝置及一種激光加工方法。所述激光加工裝置包括：腔室，具有內部空間；透射窗口，裝設在所述腔室的一側處以設置在激光束的行進路徑上；平臺，以能夠移動方式裝設在所述腔室中，以使襯底設置在所述激光束的所述行進路徑上；以及抽吸單元，裝設在所述透射窗口與所述平臺之間。所述激光加工方法包括：在所述平臺在工藝進行方向上移動的同時，使用所述抽吸單元根據(jù)在所述腔室中產生的空氣流來抽吸異物；以及對所述襯底輻照激光束。所述激光加工裝置及方法可抑制或防止由異物造成的污染。

技術領域

本公開涉及一種激光加工裝置及方法，且更具體來說涉及一種可抑制或防止由異物造成的污染的激光加工裝置及方法。

背景技術

作為下一代顯示器，柔性顯示器薄、輕、且抗沖擊。此外，柔性顯示器可具有各種形狀，原因是其可在不損失功能的條件下彎曲或折疊。

由于用于制造柔性顯示器的襯底(例如，聚酰亞胺(polyimide，PI)膜)難于處置，因此為在其中PI膜被固定到載體玻璃上的狀態(tài)中制造所述柔性顯示器，會在所述PI膜上堆疊各種組件或薄膜，且接著將所述載體玻璃與所述PI膜分離。

典型的激光剝離(laser lift off，LLO)工藝是使用準分子激光束(excimerlaser beam)來分離形成在襯底上的薄膜的工藝。通過執(zhí)行以上工藝，可在制造柔性顯示器的工藝中將PI膜與所述載體玻璃分離。

盡管執(zhí)行激光剝離工藝，然而在輻照準分子激光束來分離薄膜或組件的間歇期會產生大量煙霧，所述大量煙霧是因由激光束造成的熱量與襯底之間的化學反應而形成的副產物。所述大量煙霧在襯底上方流動且附著到光學透鏡或附著到支撐所述襯底的平臺。

在現(xiàn)有技術中，在工藝期間產生的煙霧是通過裝設在準分子激光束的行進路徑周圍的抽吸單元來抽吸。典型的抽吸單元連接至吹風機以接收抽吸力且經(jīng)由口(port)來抽吸煙霧。通過上述結構，抽吸單元可能無法充分地確保抽吸流動速率及抽吸橫截面積，且由于壓力從吹風機向口逐漸減小而可能無法順利地執(zhí)行排放。

具體來說，在執(zhí)行所述工藝的同時，由于襯底在被平臺支撐的同時快速移動，因此抽吸單元必須在短時間期間處置襯底的寬泛領域內的大的流動速率值。然而，典型的抽吸單元可能無法充分地抽吸及移除由于上述結構性限制而從襯底產生的大量煙霧。

在以下專利文獻中闡述本發(fā)明的背景技術。

[現(xiàn)有技術文獻]

[專利文獻]

(專利文獻1)KR10-2009-0089161A

(專利文獻2)KR10-2009-0105423A

(專利文獻3)KR10-2011-0111209A

發(fā)明內容

本發(fā)明公開的實施例提供一種可利用在腔室中產生的空氣流來順利地抽吸異物的激光加工裝置及方法。

本發(fā)明公開的實施例還提供一種可利用康達效應(Coanda effect)來有效地抽吸異物的激光加工裝置及方法。

本發(fā)明公開的實施例還提供一種可抑制或防止由異物造成的污染的激光加工裝置及方法。

根據(jù)示例性實施例，一種激光加工裝置包括：腔室，具有內部空間；透射窗口，裝設在所述腔室的一側處以設置在激光束的行進路徑上；平臺，以能夠移動方式裝設在所述腔室中，以使襯底設置在所述激光束的所述行進路徑上；以及抽吸單元，裝設在所述透射窗口與所述平臺之間。所述抽吸單元在所述平臺的移動方向上彼此間隔開且所述激光束的所述行進路徑位于所述抽吸單元之間。

在示例性實施例中，所述抽吸單元可利用康達效應來控制抽吸力。