[發明專利]激光加工裝置及方法

有效

• 申請號: 201810153534.6
• 申請日: 2018-02-22
• 公開（公告）號: CN108500464B
• 公開（公告）日: 2022-04-05
• 發明（設計）人: 嚴泰駿;金鍾明;樸宰顯;白種化
• 申請（專利權）人: AP系統股份有限公司
• 主分類號: B23K26/36
• 分類號: B23K26/36;B23K26/142
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 馬爽;臧建明

1.一種激光加工裝置，其特征在于，包括：

腔室，具有內部空間；

透射窗口，裝設在所述腔室的一側處以設置在激光束的行進路徑上；

平臺，以能夠移動方式裝設在所述腔室中，以使襯底設置在所述激光束的所述行進路徑上；

抽吸單元，裝設在所述透射窗口與所述平臺之間，以及

控制單元，配置成控制所述抽吸單元的操作；

其中所述抽吸單元在所述平臺的移動方向上彼此間隔開且所述激光束的所述行進路徑位于所述抽吸單元之間，且所述控制單元選擇性地操作相對于所述平臺的所述移動方向而言先行的所述抽吸單元。

2.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，所述抽吸單元利用康達效應來控制抽吸力。

3.根據權利要求1或2所述的激光加工裝置，其特征在于，所述平臺以能夠移動方式裝設在與所述激光束的所述行進路徑交叉的方向上，且

所述抽吸單元在與所述激光束的所述行進路徑交叉的所述方向上面對彼此。

4.根據權利要求1或2所述的激光加工裝置，其特征在于，所述抽吸單元包括：

噴嘴，裝設在與所述激光束的所述行進路徑交叉的方向上且具有抽吸孔，所述抽吸孔被朝所述激光束的所述行進路徑界定；以及

放大器，被安裝成在從所述抽吸孔朝所述噴嘴的內部的方向上向所述噴嘴中噴射流體。

5.根據權利要求4所述的激光加工裝置，其特征在于，在所述噴嘴中，在面對所述激光束的所述行進路徑的一個表面中界定有第一抽吸孔，且在面對所述平臺的底表面中界定有第二抽吸孔，且

所述放大器在所述噴嘴的內部沿所述激光束的所述行進路徑彼此間隔開且以接觸方式安裝到所述第一抽吸孔，且在所述放大器中的每一者的朝向所述噴嘴的所述內部的一個表面中界定有狹縫。

6.根據權利要求5所述的激光加工裝置，其特征在于，所述抽吸單元包括：

排放口，安裝到所述噴嘴的與所述第一抽吸孔相對的另一表面；

第一供應口，安裝到所述放大器中的每一者的側表面以供應流體；

第二供應口，安裝到所述排放口以噴射流體；以及

偏轉器，安裝到所述放大器中設置在相對下側處的一個放大器的頂表面上，且與所述放大器中設置在相對上側處的另一放大器的底表面間隔開。

7.根據權利要求5所述的激光加工裝置，其特征在于，所述狹縫在與所述激光束的所述行進路徑交叉的所述方向上穿過所述放大器中的每一者的一個表面，且所述狹縫的內表面中的頂表面與底表面沿所述激光束的所述行進路徑彼此間隔開以分別具有不同的長度。

8.根據權利要求1或2所述的激光加工裝置，其特征在于，還包括：

移除單元，與所述抽吸單元間隔開以面對所述平臺；

排放單元，連接到所述抽吸單元及所述移除單元以施加抽吸力；以及

流體供應單元，連接到所述抽吸單元以供應流體。

9.根據權利要求8所述的激光加工裝置，其特征在于，所述移除單元包括超聲波輸出口及抽吸口，所述超聲波輸出口及所述抽吸口設置在所述移除單元的底表面上。

10.一種激光加工方法，其特征在于，包括：

通過將襯底插入到腔室中而在平臺上制備所述襯底；

在所述平臺在工藝進行方向上移動的同時，對所述襯底輻照激光束；以及

從所述腔室抽出所述襯底，

其中在所述平臺在所述工藝進行方向上移動的同時，執行使用在所述工藝進行方向上彼此間隔開的抽吸單元來抽吸異物，所述激光束的行進路徑位于所述抽吸單元之間，

其中所述使用所述抽吸單元抽吸異物包括：

選擇抽吸方向與在所述腔室中產生的由所述平臺的所述移動造成的空氣流匹配的所述抽吸單元，并接著通過操作所選擇的所述抽吸單元來抽吸異物。