[發明專利]曝光設備

在審

• 申請號: 201810150964.2
• 申請日: 2018-02-13
• 公開（公告）號: CN108445718A
• 公開（公告）日: 2018-08-24
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 佛山尉達科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種曝光設備，其特征在于，所述曝光設備用于對顯示器件或半導體器件進行曝光處理；

所述曝光設備包括曝光腔室、光源組件、投影組件、承載臺、固定支撐件、支撐框架；

所述光源組件、所述投影組件和所述承載臺均設置于所述曝光腔室內；

所述光源組件用于產生曝光光線，并用于將所產生的所述曝光光線輸出至所述投影組件；

所述承載臺用于承載待進行曝光處理的顯示器件或半導體器件；

所述支撐框架的基端部連接固定支撐件，并且所述支撐框架的末端部連接所述光源組件；

所述支撐框架包括第一移動框架、第二移動框架以及具有正交的第一樞軸、第二樞軸的轉動構件；

所述支撐框架包括第一活動部至第七活動部以及第一鎖定構件至第七鎖定構件，所述第一鎖定構件至所述第七鎖定構件分別用于將所述第一活動部至所述第七活動部鎖定；

所述固定支撐件由三個支撐柱構成，三個所述支撐柱彼此間隔預定距離并平行布置，三個所述支撐柱通過聯接桿彼此連接，兩個所述支撐柱的所述聯接桿相互連接，所述聯接桿連接所述支撐柱。

2.根據權利要求1所述的曝光設備，其特征在于，在所述支撐框架中，所述第一移動框架的基端部分連接到所述固定支撐件的一個所述支撐柱，所述第二移動框架的基端部分連接到所述第一移動框架的遠端部，所述轉動構件的基座與所述第二移動框架的前端部連接。

3.根據權利要求1所述的曝光設備，其特征在于，所述支撐框架包括第一臂體、第二臂體和第三臂體。

4.根據權利要求3所述的曝光設備，其特征在于，所述第一臂體和所述第二臂體均形成為矩形框架形狀。

5.根據權利要求4所述的曝光設備，其特征在于，所述第二移動框架設置有構造為平行連桿構件的所述第三臂體。

6.根據權利要求5所述的曝光設備，其特征在于，所述第三臂體由第一水平桿和第二水平桿連接。

7.根據權利要求6所述的曝光設備，其特征在于，所述第一水平桿、所述第二水平桿以及設置在所述第一水平桿、所述第二水平桿的端部之間的第一垂直桿、第二垂直桿形成為平行四邊形形狀。

8.根據權利要求3所述的曝光設備，其特征在于，所述支撐框架還包括活動軸，所述活動軸構成用于使所述第一臂體在水平方向上樞轉的所述第一活動部。

9.根據權利要求8所述的曝光設備，其特征在于，所述第一鎖定構件設置于所述活動軸中。

10.根據權利要求1所述的曝光設備，其特征在于，所述支撐框架的所述第一活動部至所述第七活動部用于調整所述光源組件的位置和/或姿勢。