[發(fā)明專利]一種損傷監(jiān)測裝置及系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810149793.1
• 申請日: 2018-02-13
• 公開（公告）號: CN108362771A
• 公開（公告）日: 2018-08-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 白玉庭
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責(zé)任公司
• 主分類號: G01N27/90
• 分類號: G01N27/90;G01N29/09
• 代理公司: 北京同達(dá)信恒知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11291
• 代理人: 郭潤湘

1.一種損傷監(jiān)測裝置，其特征在于，包括：監(jiān)測模塊、信號處理模塊和顯示模塊；其中，

所述監(jiān)測模塊用于在電信號的控制下對待監(jiān)測掩膜版進(jìn)行非接觸式監(jiān)測，并將監(jiān)測到的物理參數(shù)發(fā)送給所述信號處理模塊；

所述信號處理模塊用于接收所述監(jiān)測模塊發(fā)送的所述物理參數(shù)，并根據(jù)所述物理參數(shù)的變化判斷所述待監(jiān)測掩膜版是否出現(xiàn)損傷，得出處理后的數(shù)據(jù)和結(jié)果；

所述顯示模塊用于顯示所述信號處理模塊處理后的數(shù)據(jù)及監(jiān)測結(jié)果。

2.如權(quán)利要求1所述的損傷監(jiān)測裝置，其特征在于，所述監(jiān)測模塊包括：監(jiān)測單元和測量轉(zhuǎn)化單元；

所述監(jiān)測單元用于向所述待監(jiān)測掩膜版發(fā)射電磁波或超聲波，當(dāng)所述待監(jiān)測掩膜版出現(xiàn)損傷時所述監(jiān)測單元的阻抗發(fā)生變化；

所述測量轉(zhuǎn)化單元用于將所述監(jiān)測單元的阻抗發(fā)生的變化轉(zhuǎn)化電壓參數(shù)的變化，并將所述電壓參數(shù)的數(shù)據(jù)發(fā)送給所述信號處理模塊。

3.如權(quán)利要求2所述的損傷監(jiān)測裝置，其特征在于，所述監(jiān)測單元設(shè)置于所述待監(jiān)測掩膜版的待監(jiān)測面的正上方的預(yù)設(shè)距離處。

4.如權(quán)利要求3所述的損傷監(jiān)測裝置，其特征在于，在平行于所述待監(jiān)測掩膜版的平面上所述待監(jiān)測單元按照預(yù)設(shè)規(guī)律移動。

5.如權(quán)利要求2所述的損傷監(jiān)測裝置，其特征在于，所述監(jiān)測單元包括傳感線圈或脈沖反射式超聲波傳感器。

6.如權(quán)利要求3所述的損傷監(jiān)測裝置，其特征在于，所述監(jiān)測單元與所述待監(jiān)測掩膜版之間的距離為15cm～25cm。

7.如權(quán)利要求1所述的損傷監(jiān)測裝置，其特征在于，所述信號處理模塊包括處理器。

8.如權(quán)利要求1-7任一項所述的損傷監(jiān)測裝置，其特征在于，還包括報警模塊；

所述信號處理模塊還用于在處理后的數(shù)據(jù)超出預(yù)設(shè)閾值時向所述報警模塊發(fā)送控制信號；

所述報警模塊用于接收到所述信號處理模塊發(fā)送的所述控制信號后報警。

9.如權(quán)利要求8所述的損傷監(jiān)測裝置，其特征在于，所述報警模塊包括：發(fā)光二極管和蜂鳴器中之一或組合。

10.一種損傷監(jiān)測系統(tǒng)，其特征在于，包括權(quán)利要求1-9任一項所述的損傷監(jiān)測裝置。