[發明專利]帶電粒子源的排放噪聲校正

在審

• 申請號: 201810146111.1
• 申請日: 2018-02-12
• 公開（公告）號: CN108447758A
• 公開（公告）日: 2018-08-24
• 發明（設計）人: A·穆罕默迪-蓋達里;L·米爾;P·C·蒂默杰;G·N·A·范維恩;H·N·斯林格蘭
• 申請（專利權）人: FEI公司
• 主分類號: H01J37/244
• 分類號: H01J37/244;H01J37/26;H01J37/28
• 代理公司: 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205
• 代理人: 鄭勇

本發明涉及一種操作帶電粒子顯微鏡的方法，包括：?在樣本架上設置樣本；?使用源來產生受束流電流波動影響的帶電粒子束；?使用位于所述源和樣本架之間的電子束電流傳感器來攔截一部分電子束，并且產生與電子束的攔截部分的電流成比例的攔截信號，所述電子束電流傳感器包括布置成使具有相關探針電流的電子束探針穿過的孔；?在樣本上掃描所述探針，從而以樣本電流照射樣本，其中停留時間與樣本上的每個掃描位置相關聯；?使用檢測器檢測響應于所述探針的照射而從樣本放射的輻射，并且產生相關聯的檢測器信號；?使用所述攔截信號作為補償器的輸入，以抑制所述檢測器信號中所述電流波動的影響；其中：?電子束電流傳感器配置為具有朝向源定向的傳感層的半導體器件，其中：■電子束的所述攔截部分的每個帶電粒子在所述傳感層中產生電子/空穴對；■產生的電子被吸引到半導體器件的陽極；■產生的空穴被吸引到半導體器件的陰極；從而產生所述攔截信號。

技術領域

本發明涉及一種操作帶電粒子顯微鏡的方法，該方法包括以下步驟：

-在樣本架上設置樣本；

-使用源來產生受束流電流波動影響的帶電粒子束；

-使用位于所述源和樣本架之間的電子束電流傳感器來攔截一部分電子束，并且產生與電子束的攔截部分的電流成比例的攔截信號，所述電子束電流傳感器包括布置成使具有相關探針電流的電子束探針通過的孔；

-在樣本上掃描所述探針，從而以樣本電流照射樣本，其中停留時間與樣本上的每個掃描位置相關聯；

-使用檢測器檢測響應于所述探針的照射而從樣本放射的輻射，并且產生相關聯的檢測器信號；

-使用所述攔截信號作為補償器的輸入，以抑制所述檢測器信號中所述電流波動的影響。

本發明也涉及可以實施這種方法的帶電粒子顯微鏡。

背景技術

帶電粒子顯微鏡是眾所周知的和用于使微觀物體成像的日益重要的技術，特別是以電子顯微鏡的形式呈現的帶電粒子顯微鏡。歷史上，電子顯微鏡的基本屬性已經演變為許多熟知的裝置種類，如透射電子顯微鏡(TEM)、掃描電子顯微鏡(SEM)和掃描透射電子顯微鏡(STEM)，也演變成各種子類，諸如所謂的“雙電子束”工具(例如FIB-SEM)，“雙電子束”工具附加地使用“加工”聚焦離子束(FIB)，允許支持性的活動，例如，諸如離子銑或離子束誘導沉積(IBID)。更具體地：

-在SEM中，例如，通過掃描電子束對樣本進行的照射，以二次電子、背散射電子、X射線和陰極發光(紅外、可見光和/或紫外光子)的形式從樣本中放射出“輔助”輻射；然后檢測該放射輻射中的一個或多個組成，并將放射輻射中的一個或多個組成用于圖像積累。

-在TEM中，用于照射樣本的電子束被選擇為具有足夠高的能量以穿透樣本(為此，其一般比SEM樣本更薄)；然后可以使用從樣本放射的透射電子來創建圖像。當這種TEM以掃描模式操作(因此變成STEM)時，在照射電子束的掃描運動過程中將會累積所討論的圖像。

例如，有關此處闡述的一些主題的更多信息可以從以下的維基百科鏈接中進行收集：

en.wikipedia.org/wiki/Electron_microscope

en.wikipedia.org/wiki/Scanning_electron_microscope

en.wikipedia.org/wiki/Transmission_electron_microscopy

en.wikipedia.org/wiki/Scanning_transmission_electron_microscopy。