[發明專利]帶電粒子源的排放噪聲校正

在審

• 申請號: 201810146111.1
• 申請日: 2018-02-12
• 公開（公告）號: CN108447758A
• 公開（公告）日: 2018-08-24
• 發明（設計）人: A·穆罕默迪-蓋達里;L·米爾;P·C·蒂默杰;G·N·A·范維恩;H·N·斯林格蘭
• 申請（專利權）人: FEI公司
• 主分類號: H01J37/244
• 分類號: H01J37/244;H01J37/26;H01J37/28
• 代理公司: 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205
• 代理人: 鄭勇

1.一種操作帶電粒子顯微鏡的方法，包括：

在樣本架上設置樣本；

使用源來產生受電子束電流波動影響的帶電粒子束；

使用位于所述源和樣本架之間的電子束電流傳感器來攔截一部分電子束，并且產生與電子束的攔截部分的電流成比例的攔截信號，所述電子束電流傳感器包括一布置成使具有相關探針電流的電子束探針通過的孔；

在樣本上掃描所述探針，從而以樣本電流照射樣本，其中停留時間與樣本上的每個掃描位置相關聯；

使用檢測器檢測響應于所述探針的照射而從樣本放射的輻射，并且產生相關聯的檢測器信號；和

使用所述攔截信號作為補償器的輸入，以抑制所述檢測器信號中所述電流波動的影響；其中：

電子束電流傳感器配置為具有朝向源定向的傳感層的半導體器件，其中：

電子束的所述攔截部分的每個帶電粒子在所述傳感層中產生電子/空穴對；

產生的電子被吸引到半導體器件的陽極；和

產生的空穴被吸引到半導體器件的陰極；

從而產生所述攔截信號。

2.根據權利要求1所述的方法，其中：

在源和電子束電流傳感器之間設置電子束覆蓋區域調整元件，該元件包括電子束限定孔；并且

所述元件被配置為對撞擊在電子束電流傳感器上的電子束的直徑進行限定。

3.根據權利要求2所述的方法，其中對所述直徑的限定包括調整設置在所述孔的上游的粒子光學透鏡的激勵。

4.根據權利要求1-3中任一項所述的方法，其中，所述補償器使用所述攔截信號以執行以下動作中的至少一個：

調節所述停留時間；

調整所述檢測器的響應；

執行所述源的占空比調制。

5.根據權利要求1-3中任一項所述的方法，其中：

所述檢測器信號逐像素地合成原始圖像；

所述攔截信號按閃爍映射合成原始圖像；

所述補償器使用所述閃爍映射來執行所述原始圖像的逐像素校正。

6.根據權利要求1-3中任一項所述的方法，其中：

所述電子束電流傳感器是設置在載體上的多個電子束電流傳感器中的一個電子束電流傳感器；和

致動器機構用于以將所述多個電子束電流傳感器中的可選擇的一個電子束電流傳感器移動到所述電子束的路徑中。

7.一種帶電粒子顯微鏡包括：

源，用于產生受電子束電流波動影響的帶電粒子束；

樣本架，用于保持樣本；

位于所述源和樣本架之間的電子束電流傳感器，該電子束電流傳感器配置為攔截一部分電子束，并且產生與電子束的攔截部分的電流成比例的攔截信號，所述電子束電流傳感器包括布置成使具有相關探針電流的電子束探針通過的孔；

照射器，該照射器配置為在樣本上掃描探針，使得所述探針以樣本電流照射樣本并且具有與樣本上的每個掃描位置相關聯的停留時間；

檢測器，用于響應于所述探針的照射而檢測從樣本放射的輻射，并且產生相關聯的檢測器信號；和

可編程控制器，用于自動地控制顯微鏡的給定操作，

其中：

電子束電流傳感器包括具有朝向源定向的傳感層的半導體器件，其配置為使得：

電子束的所述攔截部分的每個帶電粒子在所述傳感層中產生電子/空穴對；

產生的電子被吸引到半導體器件的陽極；和

產生的空穴被吸引到半導體器件的陰極；

從而產生所述攔截信號；以及

所述控制器配置為使用所述攔截信號以抑制所述檢測器信號中所述電流波動的影響。

8.根據權利要求7所述的顯微鏡，其中所述半導體器件包括原位放大器。

9.根據權利要求7或權利要求8所述的顯微鏡，其中所述電子束電流傳感器的所述傳感層被分割或像素化。