[發明專利]一種制備硫化鋅膜的方法

在審

• 申請號: 201810141781.4
• 申請日: 2018-02-11
• 公開（公告）號: CN108330444A
• 公開（公告）日: 2018-07-27
• 發明（設計）人: 余贊;周振烈;羅臻;錢正宇;鐘文;陸強;李俠;杜建軍
• 申請（專利權）人: 常德金德新材料科技股份有限公司
• 主分類號: C23C14/06
• 分類號: C23C14/06;C23C14/26;C23C14/56
• 代理公司: 北京弘權知識產權代理事務所(普通合伙) 11363
• 代理人: 逯長明;許偉群

本申請涉及一種制備硫化鋅膜的方法，包括以下步驟：將石英管安裝在蒸發槽內；將鉬舟平整安裝在石英管上方，使鉬舟與蒸發槽內石英管平行；將鉬舟與蒸發槽內正負電極座牢固連接在一起；將硫化鋅放在鉬舟上；將膜放在放卷裝置上進行裝膜；將膜與蒸發槽送入真空倉中，在真空鍍膜機內進行蒸發鍍膜；關蒸發降溫，使室內空氣進入真空倉，取膜，得到硫化鋅膜。本申請提出在蒸發槽內加裝石英管，鉬舟平整安裝在石英管上方，石英管墊在鉬舟底部對鉬舟起到散熱和支撐墊平的作用，鉬舟平整放置使得硫化鋅在真空倉中蒸發均勻。采用該方法制備的硫化鋅膜，改變了硫化鋅的排列方式，制得的硫化鋅膜均勻性好、排列整齊，且制備硫化鋅膜的生產效率顯著提高。

技術領域

本申請屬于薄膜制備技術領域，具體涉及一種制備硫化鋅膜的方法。

背景技術

硫化鋅是一種半導體發光材料，由于它同時具有化學性質穩定、含量豐富、無毒環保等優點，目前硫化鋅主要應用在光學鍍膜、光電導體以及光伏器件等諸多領域。硫化鋅有粉末狀、透明或半透明塊狀多晶等形態。塊狀多晶硫化鋅主要用于激光器或飛行器的紅外窗口材料，還被大量應用于真空鍍膜。

目前，硫化鋅膜主要通過熱蒸發制備而成。通常將裝有硫化鋅的鉬舟置于真空室內，在一定的真空度下，通過蒸發源加熱使其蒸發，當蒸發材料的分子平均自由程大于其真空室的線形尺寸，蒸發材料的原子和分子從蒸發源表面逸出后，很少受到其他分子或原子的沖擊與阻礙，可直接到達被鍍的基材表面，由于基片表面溫度較低便凝結到基片表面而形成薄膜。

然而，現有技術中鉬舟在加熱蒸發過程中，鉬舟容易被燒壞，影響硫化鋅膜的均勻性，且生產效率不高。因此，目前需要優化現有技術的工藝參數，以提高制備硫化鋅膜的生產效率。

發明內容

本申請提供了一種制備硫化鋅膜的方法，提高了硫化鋅膜的均勻性和生產效率。

本申請提供了一種制備硫化鋅膜的方法，包括以下步驟：

將石英管安裝在蒸發槽內；

將鉬舟平整安裝在石英管上方，使鉬舟與蒸發槽內石英管平行；

將鉬舟與蒸發槽內正負電極座牢固連接在一起；

將硫化鋅放在鉬舟上；將膜放在放卷裝置上進行裝膜；

將膜與蒸發槽送入真空倉中，在真空鍍膜機內進行蒸發鍍膜；

關蒸發降溫，使室內空氣進入真空倉，取膜，得到硫化鋅膜。

可選的，所述鉬舟的厚度為0.75mm。

可選的，所述石英管的長度為1.0至1.5cm之間任一數值。

可選的，所述真空鍍膜機在真空蒸發過程中的工藝參數為：電壓150V、真空鍍膜機速度300～450m/min。

可選的，所述真空鍍膜機在真空蒸發過程中的真空度為2×10^-2Pa。

由以上技術方案，本申請提供了一種制備硫化鋅膜的方法，石英管放在蒸發槽內，鉬舟平整安裝在石英管上方并與蒸發槽內正負電極座牢固連接在一起，石英管墊在鉬舟底部對鉬舟起到散熱和支撐墊平的作用，鉬舟平整放置使得硫化鋅在真空倉中蒸發均勻，從而改善硫化鋅鍍層的均勻性。采用該方法制備的硫化鋅膜，改變了硫化鋅的排列方式，制得的硫化鋅膜均勻性好、排列整齊，且制備硫化鋅膜的生產效率顯著提高。

附圖說明

為了更清楚地說明本申請的技術方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，對于本領域普通技術人員而言，在不付出創造性勞動性的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本申請提供的一種制備硫化鋅膜的方法流程示意圖。

具體實施方式