[發明專利]一種制備硫化鋅膜的方法在審
| 申請號： | 201810141781.4 | 申請日： | 2018-02-11 |
| 公開（公告）號： | CN108330444A | 公開（公告）日： | 2018-07-27 |
| 發明（設計）人： | 余贊;周振烈;羅臻;錢正宇;鐘文;陸強;李俠;杜建軍 | 申請（專利權）人： | 常德金德新材料科技股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/06 | 分類號： | C23C14/06;C23C14/26;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京弘權知識產權代理事務所(普通合伙) 11363 | 代理人： | 逯長明;許偉群 |
| 地址： | 415001 湖南省常德*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 鉬舟 硫化鋅膜 石英管 蒸發槽 制備 硫化鋅 真空倉 平整 蒸發 真空鍍膜機 放卷裝置 均勻性好 牢固連接 排列方式 排列整齊 生產效率 室內空氣 蒸發鍍膜 正負電極 支撐墊 散熱 加裝 申請 平行 送入 | ||
【權利要求書】：
1.一種制備硫化鋅膜的方法，其特征在于，包括以下步驟：
將石英管安裝在蒸發槽內；
將鉬舟平整安裝在石英管上方，使鉬舟與蒸發槽內石英管平行；
將鉬舟與蒸發槽內正負電極座牢固連接在一起；
將硫化鋅放在鉬舟上；將膜放在放卷裝置上進行裝膜；
將膜與蒸發槽送入真空倉中，在真空鍍膜機內進行蒸發鍍膜；
關蒸發降溫，使室內空氣進入真空倉，取膜，得到硫化鋅膜。
2.根據權利要求1所述的制備硫化鋅膜的方法，其特征在于，所述鉬舟的厚度為0.75mm。
3.根據權利要求1所述的制備硫化鋅膜的方法，其特征在于，所述石英管的長度為1.0至1.5cm之間任一數值。
4.根據權利要求1所述的制備硫化鋅膜的方法，其特征在于，所述真空鍍膜機在真空蒸發過程中的工藝參數為：電壓150V、真空鍍膜機速度300～450m/min。
5.根據權利要求1所述的制備硫化鋅膜的方法，其特征在于，所述真空鍍膜機在真空蒸發過程中的真空度為2×10-2Pa。
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