[發明專利]一種硒鍺鎵鋇多晶的合成方法和硒鍺鎵鋇單晶的生長方法有效
| 申請號: | 201810141666.7 | 申請日: | 2018-02-11 |
| 公開(公告)號: | CN110144624B | 公開(公告)日: | 2020-09-08 |
| 發明(設計)人: | 姚吉勇;郭揚武;李壯;羅曉宇 | 申請(專利權)人: | 中國科學院理化技術研究所 |
| 主分類號: | G02F1/355 | 分類號: | G02F1/355;C30B29/46;C30B28/02;C30B11/00 |
| 代理公司: | 北京方安思達知識產權代理有限公司 11472 | 代理人: | 陳琳琳;張紅生 |
| 地址: | 100190 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 硒鍺鎵鋇 多晶 合成 方法 硒鍺鎵鋇單晶 生長 | ||
1.一種硒鍺鎵鋇多晶的合成方法,所述合成方法包括以下步驟:
1)用王水浸泡石英管和盛料用的PBN小舟,然后清洗,烘干;按照摩爾比Ba:Ga:Ge:Se=1:2:1:6稱量單質原料Ba、Ga、Ge和Se,單質Se另外過量0.5-1.5%;
2)將單質原料Ba、Ga、Ge以1:2:1的摩爾比混合放置于PBN小舟中,把小舟放置到石英管的封閉端,把單質Se放置在石英管的另一端;將石英管抽真空10-4Pa~10-6Pa,再用氫氧火焰熔封,然后放入水平雙溫區管式電阻爐中,電阻爐依次分為高溫區、梯度區和低溫區,PBN小舟位于高溫區,Se位于低溫區,小舟與Se之間為梯度區;
3)首先使高溫區的溫度升至t1=1000~1050℃,同時使低溫區溫度升至t2=700~800℃,保溫70~100h,此為第一階段;然后維持高溫區溫度不變,將低溫區的溫度升高至t2’=t1+(10~20)℃,保溫10~30h,此為第二階段;最后整個電阻爐的溫度以10~20℃/h速度降至室溫,得到硒鍺鎵鋇多晶;
步驟3)第一階段中,高溫區的升溫速度為60~80℃/h,低溫區的升溫速度為50~70℃/h。
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