[發(fā)明專利]光學(xué)感測器及其制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810140509.4
• 申請日: 2018-02-11
• 公開（公告）號: CN110164882B
• 公開（公告）日: 2021-11-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曾漢良;李新輝
• 申請（專利權(quán)）人: 世界先進(jìn)積體電路股份有限公司
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 湯在彥;郭曉宇

本發(fā)明提供一種光學(xué)感測器及其制造方法，光學(xué)感測器包括影像感測陣列、準(zhǔn)直器層以及遮光層；影像感測陣列包括多個(gè)像素；準(zhǔn)直器層設(shè)置在影像感測陣列上，包括對應(yīng)像素的多個(gè)開口以及朝向影像感測陣列的第一面及與第一面相反的第二面；遮光層設(shè)置在開口的側(cè)壁。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明關(guān)于一種光學(xué)感測器及其制造方法，且特別關(guān)于一種具有準(zhǔn)直器的光學(xué)感測器及其制造方法。

背景技術(shù)

現(xiàn)今的行動(dòng)電子裝置(例如手機(jī)、平板電腦、筆記板電腦等)通常配備有使用者辨識系統(tǒng)，用以保護(hù)個(gè)人數(shù)據(jù)安全。由于每個(gè)人的指紋皆不同，因此指紋感測器是一種常見并可靠的使用者辨識系統(tǒng)。

市面上的指紋感測器常使用光學(xué)技術(shù)以感測使用者的指紋，這種基于光學(xué)技術(shù)的指紋感測器通常使用準(zhǔn)直器(collimator)來使入射到感測器的光線平行前進(jìn)。然而，目前所采用的準(zhǔn)直器雖然大致符合需求，但是它們并非在所有方面都令人滿意。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實(shí)施例提供一種光學(xué)感測器，包括影像感測陣列、準(zhǔn)直器層以及遮光層；影像感測陣列包括多個(gè)像素；準(zhǔn)直器層設(shè)置在影像感測陣列上，包括對應(yīng)像素的多個(gè)開口以及朝向影像感測陣列的第一面及與第一面相反的第二面；遮光層設(shè)置在開口的側(cè)壁。

本發(fā)明實(shí)施例亦提供一種制造光學(xué)感測器的方法，包括：提供影像感測陣列，影像感測陣列包括像素；在影像感測陣列上形成準(zhǔn)直器層，其中準(zhǔn)直器層包括對應(yīng)像素的開口；以及在開口的側(cè)壁設(shè)置遮光層。

本發(fā)明實(shí)施例另提供一種制造光學(xué)感測器的方法，包括：提供基板；在基板的正面形成凹槽；在凹槽的側(cè)壁及底部設(shè)置第一遮光層；將基板倒置接合至影像感測陣列，使凹槽朝向影像感測陣列的像素對應(yīng)設(shè)置；以及從基板的背面薄化基板，直到去除凹槽的底部的第一遮光層。

本發(fā)明有益效果在于，可確保入射到光學(xué)感測器中的像素的光線皆是垂直的，可防止像素因接收到不垂直的入射光而造成影像模糊的問題。此外，本發(fā)明使用簡單方式設(shè)置遮光層，可減少工藝所需時(shí)間，達(dá)到降低成本的目的。再者，本發(fā)明通過在準(zhǔn)直器的開口中設(shè)置透明材料，可防止制造時(shí)的灰塵碎屑等進(jìn)入上述開口中。

附圖說明

以下將配合所附圖式詳述本發(fā)明的實(shí)施例。應(yīng)注意的是，依據(jù)在業(yè)界的標(biāo)準(zhǔn)做法，各種特征并未按照比例繪示且僅用以說明例示。事實(shí)上，可能任意地放大或縮小元件的尺寸，以清楚地表現(xiàn)出本發(fā)明的特征。

圖1是根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例繪示的光學(xué)感測裝置對目標(biāo)成像的范例。

圖2是一光學(xué)感測器的示意圖。

圖3是一光學(xué)感測器的示意圖。

圖4是根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例繪示的光學(xué)感測器的示意圖。

圖5是根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例繪示的光學(xué)感測器的示意圖。

圖6是根據(jù)本發(fā)明又一實(shí)施例繪示的光學(xué)感測器的示意圖。

圖7是根據(jù)本發(fā)明又再一實(shí)施例繪示的光學(xué)感測器的示意圖。

圖8是根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例繪示的光學(xué)感測器的示意圖。

圖9A、圖9B及圖9C是根據(jù)本發(fā)明又一實(shí)施例繪示的光學(xué)感測器的示意圖。

圖10A-圖10E為用以說明本發(fā)明一實(shí)施例的制造光學(xué)感測器的方法的一系列剖面圖。

圖11A-圖11H為用以說明本發(fā)明另一實(shí)施例的制造光學(xué)感測器的方法的一系列剖面圖。

附圖標(biāo)號：

100～光學(xué)感測裝置；

102～目標(biāo)；

104～蓋板層；

104A～上表面；