[發(fā)明專利]層疊線圈部件的制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810140255.6
• 申請日: 2018-02-11
• 公開（公告）號: CN108428544B
• 公開（公告）日: 2021-09-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 石間雄也;近藤真一;青木俊二;松山靖;尾根澤勇介;東基
• 申請（專利權(quán)）人: TDK株式會社
• 主分類號: H01F41/04
• 分類號: H01F41/04;H01F27/28;H01F17/00;H05K1/16;H05K3/46
• 代理公司: 北京尚誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦

本發(fā)明涉及一種層疊線圈部件的制造方法，其中，是具備素體和在素體內(nèi)構(gòu)成線圈的導(dǎo)體的層疊線圈部件的制造方法，所述制造方法包括：通過光刻法在第一基材上形成包含導(dǎo)體的構(gòu)成材料的導(dǎo)體圖案的工序；通過光刻法在第二基材上形成包含素體的構(gòu)成材料且去除了與導(dǎo)體圖案的形狀對應(yīng)的形狀的素體圖案的工序；通過將導(dǎo)體圖案及素體圖案反復(fù)轉(zhuǎn)印于支撐體上而將導(dǎo)體圖案及素體圖案在規(guī)定方向上層疊的工序；和對通過層疊的工序而得到的層疊體進行熱處理的工序。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明的一方面涉及一種層疊線圈部件的制造方法。

背景技術(shù)

已知有具備素體和在素體內(nèi)構(gòu)成線圈的導(dǎo)體的層疊線圈部件(例如，參照日本特開2001-307937號公報)。該層疊線圈部件的制造方法包括：通過利用印刷法在載體膜上形成內(nèi)部電極膏層，并且在其周圍形成陶瓷生片層而準備復(fù)合片的工序；和將準備好的多個復(fù)合片轉(zhuǎn)印于陶瓷生片并層疊的工序。

發(fā)明內(nèi)容

在上述的制造方法中，內(nèi)部電極膏層及陶瓷生片層不相互重疊。因此，與將設(shè)置有導(dǎo)體圖案的陶瓷生片層疊的現(xiàn)有的制造方法相比，能夠抑制內(nèi)部電極膏層、即導(dǎo)體圖案的層疊偏移及坍塌。導(dǎo)體圖案的層疊偏移是指在層疊方向上相鄰的導(dǎo)體圖案在與層疊方向正交的方向上相互偏離而層疊的現(xiàn)象。導(dǎo)體圖案的坍塌是指導(dǎo)體圖案在層疊方向上坍塌的現(xiàn)象。

本發(fā)明的一方面提供一種能夠進一步抑制導(dǎo)體圖案的層疊偏移及坍塌的層疊線圈部件的制造方法。

本發(fā)明者們對能夠進一步抑制導(dǎo)體圖案的層疊偏移及坍塌的層疊線圈部件的制造方法進行了調(diào)查研究。其結(jié)果，本發(fā)明者們發(fā)現(xiàn)了如下事實。即，根據(jù)印刷法，即使要在基材上將導(dǎo)體圖案設(shè)置為截面矩形形狀，導(dǎo)體圖案在基材側(cè)也容易成為在寬度方向上拓展的形狀。由此，可能發(fā)生導(dǎo)體圖案的層疊偏移及坍塌。

因此，本發(fā)明的一方面所涉及的層疊線圈部件的制造方法是具備素體和在素體內(nèi)構(gòu)成線圈的導(dǎo)體的層疊線圈部件的制造方法，并且包括：通過光刻法在第一基材上形成包含導(dǎo)體的構(gòu)成材料的導(dǎo)體圖案的工序；通過光刻法在第二基材上形成包含素體的構(gòu)成材料且去除了與導(dǎo)體圖案的形狀對應(yīng)的形狀的素體圖案的工序；通過將導(dǎo)體圖案及素體圖案反復(fù)轉(zhuǎn)印于支撐體上而將導(dǎo)體圖案及素體圖案在規(guī)定方向上層疊的工序；和對通過層疊的工序而得到的層疊體進行熱處理的工序。

在該層疊線圈部件的制造方法中，導(dǎo)體圖案和素體圖案在各自的基材上形成之后，反復(fù)轉(zhuǎn)印于支撐體上并層疊。在素體圖案中，去除了與導(dǎo)體圖案的形狀對應(yīng)的形狀。因此，素體圖案及導(dǎo)體圖案不相互重疊，能夠抑制導(dǎo)體圖案的層疊偏移及坍塌。進而，導(dǎo)體圖案及素體圖案均通過光刻法形成。因此，與通過印刷法形成的情況相比，能夠使導(dǎo)體圖案的截面形狀接近矩形。關(guān)于素體圖案，與導(dǎo)體圖案對應(yīng)也能夠高精度地形成。其結(jié)果，能夠進一步抑制導(dǎo)體圖案的層疊偏移及坍塌。

本發(fā)明的一方面所涉及的層疊線圈部件的制造方法中，在形成導(dǎo)體圖案的工序中，也可以形成在規(guī)定方向上重疊時至少一部分重疊的一對導(dǎo)體圖案。在層疊的工序中，也可以將一對導(dǎo)體圖案以在規(guī)定方向上相鄰的方式層疊。在該情況下，不通過通孔也能夠?qū)?dǎo)體圖案彼此連接。

本發(fā)明的一方面所涉及的層疊線圈部件的制造方法中，在形成導(dǎo)體圖案的工序中，也可以形成在規(guī)定方向上重疊時全部重疊的一對導(dǎo)體圖案。在層疊的工序中，也可以將一對導(dǎo)體圖案以在規(guī)定方向上相鄰的方式層疊。在該情況下，能夠提高導(dǎo)體的長寬比，并且提高線圈的Q值(品質(zhì)因數(shù)，quality factor)。

本發(fā)明的一方面所涉及的層疊線圈部件的制造方法也可以還包括在第三基材上形成包含素體的構(gòu)成材料的素體形成層的工序。在層疊的工序中，也可以通過將素體形成層轉(zhuǎn)印于支撐體上后，反復(fù)轉(zhuǎn)印導(dǎo)體圖案及素體圖案，進一步轉(zhuǎn)印素體形成層，由此在規(guī)定方向上層疊素體形成層、導(dǎo)體圖案及素體圖案。在該情況下，能夠制造規(guī)定方向上的兩端部由素體構(gòu)成的層疊線圈部件。