[發明專利]層疊線圈部件的制造方法

有效

• 申請號: 201810140255.6
• 申請日: 2018-02-11
• 公開（公告）號: CN108428544B
• 公開（公告）日: 2021-09-21
• 發明（設計）人: 石間雄也;近藤真一;青木俊二;松山靖;尾根澤勇介;東基
• 申請（專利權）人: TDK株式會社
• 主分類號: H01F41/04
• 分類號: H01F41/04;H01F27/28;H01F17/00;H05K1/16;H05K3/46
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦

1.一種層疊線圈部件的制造方法，其中，

是具備素體、通過多個外部電極層層疊而構成的外部電極、和在所述素體內構成線圈的導體的層疊線圈部件的制造方法，

所述制造方法包括：

通過光刻法在第一基材上形成包含所述外部電極和所述導體的構成材料和感光性材料，并且成為所述外部電極和所述導體的導體圖案的工序；

通過光刻法在第二基材上形成包含所述素體的構成材料和感光性材料且去除了與所述導體圖案的形狀對應的形狀的素體圖案的工序；

通過將所述導體圖案及所述素體圖案反復轉印于支撐體上而將所述導體圖案及所述素體圖案在規定方向上層疊的工序；和

對通過所述層疊的工序而得到的層疊體進行熱處理的工序，

在形成所述導體圖案的工序中，形成分別具有在所述規定方向上重疊時相互重疊的第一部分和以不相互重疊的方式延伸的第二部分的一對第一導體圖案，

在所述層疊的工序中，將所述一對第一導體圖案以在所述規定方向上相鄰的方式層疊。

2.根據權利要求1所述的層疊線圈部件的制造方法，其中，

在形成所述導體圖案的工序中，形成在所述規定方向上重疊時全部重疊的一對第二導體圖案，

在所述層疊的工序中，將所述一對第二導體圖案以在所述規定方向上相鄰的方式層疊。

3.根據權利要求1所述的層疊線圈部件的制造方法，其中，

還包括在第三基材上形成包含所述素體的構成材料的素體形成層的工序，

在所述層疊的工序中，將所述素體形成層轉印于所述支撐體上之后，反復轉印所述導體圖案及所述素體圖案，進一步轉印所述素體形成層，由此，在所述規定方向上層疊所述素體形成層、所述導體圖案及所述素體圖案。

4.根據權利要求1～3中任一項所述的層疊線圈部件的制造方法，其中，

從所述規定方向來看，所述層疊線圈部件在所述線圈的內側還具備磁芯部，

在形成所述素體圖案的工序中，形成進一步去除了與所述磁芯部的形狀對應的形狀的所述素體圖案。

5.根據權利要求4所述的層疊線圈部件的制造方法，其中，

還包括通過光刻法在第四基材上形成包含所述磁芯部的構成材料的磁芯部圖案的工序，

在所述層疊的工序中，通過將所述磁芯部圖案與所述導體圖案及所述素體圖案一同反復轉印于支撐體上，將所述磁芯部圖案與所述導體圖案及所述素體圖案一同在規定方向上層疊。

6.根據權利要求1～3中任一項所述的層疊線圈部件的制造方法，其中，

所述層疊線圈部件還具備在所述規定方向上配置于所述導體間的間隔物，

還包括通過光刻法在第五基材上形成包含所述間隔物的構成材料的間隔物圖案的工序，

在形成所述素體圖案的工序中，形成進一步去除了與所述間隔物圖案的形狀對應的形狀的所述素體圖案，

在所述層疊的工序中，通過將所述間隔物圖案與所述導體圖案及所述素體圖案一同反復轉印于所述支撐體上，將所述間隔物圖案與所述導體圖案及所述素體圖案一同在所述規定方向上層疊。

7.根據權利要求1～3中任一項所述的層疊線圈部件的制造方法，其中，

在所述層疊的工序中，在轉印了所述導體圖案后，轉印所述素體圖案。