[發明專利]一種透明導電薄膜上的圖案制作裝置和方法

在審

• 申請號: 201810138584.7
• 申請日: 2018-02-10
• 公開（公告）號: CN108326416A
• 公開（公告）日: 2018-07-27
• 發明（設計）人: 劉生忠;常遠程;肖鋒偉;朱小寧;馮江山;吳強;朱學杰;楊釗;李云虎;鄧增社
• 申請（專利權）人: 陜西師范大學;陜西煤業化工技術研究院有限責任公司
• 主分類號: B23K26/082
• 分類號: B23K26/082;B23K26/362;B23K26/70
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司 61200
• 代理人: 徐文權

本發明提供一種透明導電薄膜上的圖案制作裝置和方法，方法是根據設計圖案設定的激光劃刻的激光束波長、功率和光斑尺寸，通過掃描振鏡控制激光束按照設計圖案的路線運動，在固定的柔性基底或剛性基底的透明導電薄膜上劃刻設計圖案。裝置包括用于作為激光源的激光器，依次設置在激光器發射光路上的擴束器、透鏡和掃描振鏡，掃描振鏡的輸出端豎直向下照射在待劃刻薄膜樣品上；掃描振鏡用于對射出的激光進行調節，劃刻待劃刻薄膜樣品上圖案。本發明利用透明導電薄膜對特定波長的激光有極強吸收，同時基底材料幾乎不吸收該特定波長激光的特性，以激光劃線的方式，將透明導電薄膜制作成所需要的各種圖案的方法。

技術領域

本發明涉及材料技術領域，具體為一種透明導電薄膜上的圖案制作裝置和方法。

背景技術

隨著信息技術和光電產品的飛躍發展，透明導電材料越來越受到人們的重視與關注，在許多領域具有廣闊的應用前景，如光伏電池和顯示屏等等。透明導電薄膜作為一種日益廣泛應用的重要光電材料，隨著其相關器件制作工藝的復雜化、應用的多樣化、產品的美觀化發展，就需要將原本單一的透明導電薄膜，制作成各種復雜圖案，而激光劃刻技術，因其具有加工精度高，操作性強的特點，從而可實現復雜圖案化工藝需求。但是，現有的激光劃刻系統需要將透明導電薄膜固定在二維平臺，通過二維平臺運動，進行所需圖案的劃刻，其不僅占地面積大，而且運動的精確性不易保證，使得激光劃刻的效果不理想。

發明內容

針對現有技術中存在的問題，本發明提供一種透明導電薄膜上的圖案制作裝置和方法，結構簡單，設計合理，調節方便，體積小巧，操作方便。

本發明是通過以下技術方案來實現：

一種透明導電薄膜上的圖案制作方法，根據設計圖案設定的激光劃刻的激光束波長、功率和光斑尺寸，通過掃描振鏡控制激光束按照設計圖案的路線運動，在固定的柔性基底或剛性基底的透明導電薄膜上劃刻設計圖案。

優選的，所述的激光束波長為300～2000納米。

優選的，所述的透明導電薄膜通過吸收激光劃刻的激光束進行燒蝕后形成刻畫圖案，柔性基底或剛性基底不吸收激光劃刻的激光束。

優選的，透明導電薄膜是摻雜的氧化銦、摻雜的氧化錫和摻雜的氧化鋅的一種或多種的混合物，采用熱蒸發、電子束蒸發、真空濺射、化學氣相沉積或噴涂的方式制備得到。

優選的，透明導電薄膜呈疊層設置形成疊層薄膜。

優選的，所述柔性基底采用PET、聚酰胺、聚碳酸酯、聚乙烯或其他有機材料中的至少一種制成。

優選的，所述剛性基底采用玻璃。

一種透明導電薄膜上的圖案制作裝置，包括用于作為激光源的激光器，依次設置在激光器發射光路上的擴束器、透鏡和掃描振鏡，掃描振鏡的輸出端豎直向下照射在待劃刻薄膜樣品上；掃描振鏡用于對射出的激光進行調節，劃刻待劃刻薄膜樣品上圖案。

優選的，擴束器和透鏡之間的光路上設置有用于光路調整的反射鏡組。

進一步，反射鏡組包括在豎直方向上相對設置的第一反射鏡和第二反射鏡，第一反射鏡的入射光線和第二反射鏡的出射光線平行。

與現有技術相比，本發明具有以下有益的技術效果：

本發明通過在劃刻裝置中引入掃描振鏡，通過掃描振鏡控制激光束運動，在透明導電薄膜上劃刻出所需圖案；利用透明導電薄膜對特定波長的激光有極強吸收，同時基底材料幾乎不吸收該特定波長激光的特性，以激光劃線的方式，將透明導電薄膜制作成所需要的各種圖案的方法。

附圖說明

圖1為本發明所述的裝置布置示意圖。

圖2為本發明所述的激光劃刻結果示意圖。