[發(fā)明專利]一種透明導(dǎo)電薄膜上的圖案制作裝置和方法

在審

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• 申請日: 2018-02-10
• 公開（公告）號: CN108326416A
• 公開（公告）日: 2018-07-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉生忠;常遠程;肖鋒偉;朱小寧;馮江山;吳強;朱學(xué)杰;楊釗;李云虎;鄧增社
• 申請（專利權(quán)）人: 陜西師范大學(xué);陜西煤業(yè)化工技術(shù)研究院有限責(zé)任公司
• 主分類號: B23K26/082
• 分類號: B23K26/082;B23K26/362;B23K26/70
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 61200
• 代理人: 徐文權(quán)

1.一種透明導(dǎo)電薄膜上的圖案制作方法，其特征在于，根據(jù)設(shè)計圖案設(shè)定的激光劃刻的激光束波長、功率和光斑尺寸，通過掃描振鏡控制激光束按照設(shè)計圖案的路線運動，在固定的柔性基底或剛性基底的透明導(dǎo)電薄膜上劃刻設(shè)計圖案。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種透明導(dǎo)電薄膜上的圖案制作方法，其特征在于，所述的激光束波長為300～2000納米。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種透明導(dǎo)電薄膜上的圖案制作方法，其特征在于，所述的透明導(dǎo)電薄膜通過吸收激光劃刻的激光束進行燒蝕后形成刻畫圖案，柔性基底或剛性基底不吸收激光劃刻的激光束。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種透明導(dǎo)電薄膜上的圖案制作方法，其特征在于，透明導(dǎo)電薄膜是摻雜的氧化銦、摻雜的氧化錫和摻雜的氧化鋅的一種或多種的混合物，采用熱蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)、真空濺射、化學(xué)氣相沉積或噴涂的方式制備得到。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的一種透明導(dǎo)電薄膜上的圖案制作方法，其特征在于，透明導(dǎo)電薄膜呈疊層設(shè)置形成疊層薄膜。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種透明導(dǎo)電薄膜上的圖案制作方法，其特征在于，所述柔性基底采用PET、聚酰胺、聚碳酸酯、聚乙烯或其他有機材料中的至少一種制成。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種透明導(dǎo)電薄膜上的圖案制作方法，其特征在于，所述剛性基底采用玻璃。

8.一種透明導(dǎo)電薄膜上的圖案制作裝置，其特征在于，包括用于作為激光源的激光器(1)，依次設(shè)置在激光器(1)發(fā)射光路上的擴束器(2)、透鏡(4)和掃描振鏡(5)，掃描振鏡(5)的輸出端豎直向下照射在待劃刻薄膜樣品(7)上；掃描振鏡(5)用于對射出的激光進行調(diào)節(jié)，劃刻待劃刻薄膜樣品(7)上圖案。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種透明導(dǎo)電薄膜上的圖案制作裝置，其特征在于，擴束器(2)和透鏡(4)之間的光路上設(shè)置有用于光路調(diào)整的反射鏡組。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種透明導(dǎo)電薄膜上的圖案制作裝置，其特征在于，反射鏡組包括在豎直方向上相對設(shè)置的第一反射鏡(3)和第二反射鏡(4)，第一反射鏡(3)的入射光線和第二反射鏡(4)的出射光線平行。