[發明專利]一種LED基板烘烤箱及其基板烘烤方法在審
| 申請號: | 201810138218.1 | 申請日: | 2018-02-10 |
| 公開(公告)號: | CN108231634A | 公開(公告)日: | 2018-06-29 |
| 發明(設計)人: | 趙少芹 | 申請(專利權)人: | 六安聯眾工業自動化技術有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/687;H01L33/48 |
| 代理公司: | 六安眾信知識產權代理事務所(普通合伙) 34123 | 代理人: | 熊偉 |
| 地址: | 237000 安徽省六安市*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 基板烘烤 烘烤 烘烤箱 紅外線烘烤 固定裝置 驅動電機 烘烤箱體 固定板 體內 對稱固定 對準基板 調節桿 對基板 旋轉軸 側面 | ||
1.一種LED基板烘烤箱,包括烘烤箱體和LED基板,其特征在于:所述的烘烤箱體內設有紅外線烘烤器和基板烘烤固定裝置,所述的紅外線烘烤器設為兩個對稱固定在烘烤箱體頂端的兩側,所述的紅外線烘烤器對準基板烘烤固定裝置內的LED基板設置,所述的基板烘烤固定裝置包括固定板和驅動電機,所述的驅動電機固定在烘烤箱體內側面,驅動電機通過旋轉軸與固定板一端的調節桿連接。
2.根據權利要求1所述的一種LED基板烘烤箱,其特征在于,所述的固定板是由固定側板和調節桿組成的封閉矩形結構的固定板,所述的固定側板的外側邊對稱設有固定條塊,且固定條塊上均勻的設有多組LED基板固定的固定頂緊頭,固定頂緊頭通過固定連接桿與固定條塊內側壁連接。
3.根據權利要求2所述的一種LED基板烘烤箱,其特征在于,所述的固定條塊的內側面設為向內凹陷的弧狀側面結構。
4.根據權利要求2所述的一種LED基板烘烤箱,其特征在于,所述的固定板兩側的固定側板之間通過多組均勻設置的固定放置條連接,且固定放置條使用的是可伸縮的合金固定放置條。
5.根據權利要求1所述的一種LED基板烘烤箱,其特征在于,所述的調節桿由調節固定桿和調節動桿組成,調節固定桿上的調節滑竿分別嵌設置在調節動桿的調節槽內,所述的調節滑竿的外側壁上設有延伸狀態的拉緊彈黃。
6.根據權利要求1所述的一種LED基板烘烤箱,其特征在于,所述的烘干箱體的底部兩側對稱設有兩個向內凹陷的圓弧形反光板。
7.根據權利要求1所述的一種LED基板烘烤箱,其特征在于,所述的烘烤箱體內側壁上設有均勻厚度高保溫性能的隔熱層。
8.根據權利1—6任意一項一種LED基板烘烤箱的基板烘烤方法,其特征在于,其基板烘烤方法步驟為:
(1)首先將基板放置到烘烤箱體內的固定板上進行固定,通過調節固定板兩端的調節桿長度以針對不同大小的基板進行的固定,然后在驅動電機的帶動下固定板進行緩慢轉動,基板也隨著固定板進行旋轉轉動,最后打開紅外線烘烤器對基板的表面進行烘烤加熱處理。
9.根據權利要求7所述的一種LED基板烘烤箱的基板烘烤方法,其特征在于,所述的烘烤箱體內紅外線烘烤器在對基板進行烘烤加熱處理時的溫度控制在70—90℃,時間控制在12—15min。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





