[發明專利]硅棒多線切割設備及方法、硅棒轉運系統

在審

• 申請號: 201810136989.7
• 申請日: 2018-02-09
• 公開（公告）號: CN110126109A
• 公開（公告）日: 2019-08-16
• 發明（設計）人: 盧建偉;潘雪明
• 申請（專利權）人: 浙江集英精密機器有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/00;B28D7/04
• 代理公司: 浙江杭州金通專利事務所有限公司 33100
• 代理人: 王麗丹

1.一種硅棒多線切割設備，其特征在于，包括：

工作臺，依序設有等待區、第一切割區以及第二切割區；

硅棒轉換裝置，設于所述工作臺上，包括：轉換工作臺，設有多個硅棒承載臺；轉換驅動機構，用于驅動所述轉換工作臺作轉換運動以令所述多個硅棒承載臺在等待區、第一切割區以及第二切割區之間轉換；以及

線切割裝置，設有與所述第一切割區對應的至少一第一線切割單元和與所述第二切割區對應的至少一第二線切割單元；所述至少一第一線切割單元用于對所述硅棒轉換裝置中對應于第一切割區的硅棒承載臺所承載的待切割硅棒進行開方切割，所述至少一第二線切割單元用于對所述硅棒轉換裝置中對應于第二切割區的硅棒承載臺所承載的已開方硅棒進行倒角切割。

2.根據權利要求1所述的硅棒多線切割設備，其特征在于，所述轉換驅動機構包括：

轉動軸，連接于所述轉換工作臺；以及

轉動驅動源，與所述轉動軸相連，用于驅動所述轉動軸轉動以帶動所述轉換工作臺轉動。

3.根據權利要求1所述的硅棒多線切割設備，其特征在于，所述線切割裝置包括：

線切割支座，所述線切割支座上設有至少一第一線切割單元和至少一第二線切割單元；以及

升降機構，用于驅動所述線切割支座作升降運動。

4.根據權利要求1所述的硅棒多線切割設備，其特征在于，所述線切割裝置包括：

第一線切割支座，所述第一線切割支座上設有至少一第一線切割單元；

第一升降機構，用于驅動所述第一線切割支座作升降運動；

第二線切割支座，所述第二線切割支座上設有至少一第二線切割單元；以及

第二升降機構，用于驅動所述第二線切割支座作升降運動。

5.根據權利要求1所述的硅棒多線切割設備，其特征在于，還包括臨設于所述硅棒轉換裝置的硅棒裝卸裝置，包括：

換向載具，設有工件夾具；以及

換向驅動機構，用于驅動所述換向載具作換向運動以令所述工件夾具夾持待切割硅棒并將待切割硅棒由裝卸區轉運至對應于等待區的硅棒承載臺，或，夾持對應于等待區的硅棒承載臺上的已倒角硅棒并將已倒角硅棒由等待區轉運至裝卸區。

6.根據權利要求1所述的硅棒多線切割設備，其特征在于，還包括設于所述硅棒承載臺周邊的邊皮頂托機構。

7.根據權利要求6所述的硅棒多線切割設備，其特征在于，所述邊皮頂托機構包括：

活動承托件；以及

鎖定控制件，用于在活動承托件抵靠于待切割硅棒的底部時將所述活動承托件控制在鎖定狀態。

8.根據權利要求1所述的硅棒多線切割設備，其特征在于，還包括邊皮卸料裝置，用于將所述至少一第一線切割單元對所述待切割硅棒進行開方切割后產生的邊皮予以卸料。

9.根據權利要求8所述的硅棒多線切割設備，其特征在于，所述邊皮卸料裝置包括：錯開機構，用于驅動邊皮和已開方硅棒發生相對升降位移，使得所述邊皮的頂端突出于所述已開方硅棒。

10.根據權利要求9所述的硅棒多線切割設備，其特征在于，所述邊皮卸料裝置還包括：夾持轉運機構，用于夾持住所述邊皮的頂端后并拉升所述邊皮以脫離所述已開方硅棒以及將所述邊皮轉運至邊皮卸料區。